公开(公告)号：DE10066053A1

公开(公告)日：2002-06-27

申请号：DE10066053

申请日：2000-12-08

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： WEBER HANS ,  AHLERS DIRK ,  STENGL JENS-PEER ,  DEBOY GERALD ,  WILLMEROTH ARMIN ,  RUEB MICHAEL ,  CUADRON MARION MIGUEL

IPC: H01L21/336 ,  H01L29/06 ,  H01L29/10 ,  H01L29/78 ,  H01L29/739

公开(公告)号：DE10066053B4

公开(公告)日：2006-03-30

申请号：DE10066053

申请日：2000-12-08

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： WEBER HANS ,  AHLERS DIRK ,  STENGL JENS-PEER ,  DEBOY GERALD ,  WILLMEROTH ARMIN ,  RUEB MICHAEL ,  CUADRON MARION MIGUEL

IPC: H01L29/06 ,  H01L21/336 ,  H01L29/10 ,  H01L29/739 ,  H01L29/78