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公开(公告)号：KR20210009283A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：KR20200086784
申请日：2020-07-14
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： ANZINGER SEBASTIAN , BRETTHAUER CHRISTIAN , FUELDNER MARC
Abstract: 본개시내용은오디오및 초음파범위에서동작가능한 MEMS 사운드트랜스듀서소자(100)에관한것이다. MEMS 사운드트랜스듀서소자(100)는, 특히, 제1 전극구조체(101) 및제1 전극구조체(101)로부터이격된제2 전극구조체(102)를포함하고, 제1 전극구조체(101)의도전성재료는복수의전기적으로격리된전극세그먼트들(111, 112)을포함하고, 제1 전극구조체(101) 및제2 전극구조체(102)는오디오사운드트랜스듀서로서동작가능하다. 제1 전극구조체(101)의복수의전기적으로격리된전극세그먼트들(111, 112)의제1 서브세트(11)는, 제2 전극구조체(102)와함께, 초음파또는오디오방출기로서동작가능하고, 제1 전극구조체(101)의복수의전기적으로격리된전극세그먼트들(111, 112)의제2 서브세트(12)는, 제2 전극구조체(102)와함께, 초음파또는오디오수신기로서동작가능하다.
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公开(公告)号：WO2004036952A3
公开(公告)日：2005-01-20
申请号：PCT/EP0311204
申请日：2003-10-09
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG , DEHE ALFONS , BARZEN STEFAN , FUELDNER MARC
Inventor： DEHE ALFONS , BARZEN STEFAN , FUELDNER MARC
CPC classification number: B81C1/0096 , B81B3/001 , B81B2201/0257 , B81C1/00158 , H04R19/005 , H04R31/003 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/4908
Abstract: The invention relates to a method for producing a membrane (120) used for a component, for example for a microphone. The inventive method consists in deposing a counter electrode (104) on a substrate (100), said counter electrode (104) comprising a sacrificial layer arranged on a surface opposite to said substrate (100). The side of the sacrificial layer which is opposite to the counter electrode (104) is structured in such a way that a plurality of slots is formed thereon and one or several anti-adherent elements and one or several corrugation grooves are defined. Afterwards, a membraneous material is deposed on the structured side in such a way that the membrane (120) provided with one or several corrugation grooves (124) or with one or several anti-adherent elements is formed.
Abstract translation: 在制造用于装置Z的膜（120）的方法。 如麦克风，基板（100），首先提供在其上的对置电极（104）被布置。 0berfläche面对从衬底（100）的距离对置电极（104）是一个牺牲层。 从牺牲层的表面背对对置电极（104）被图案化以形成多个凹部的在所述表面以同时限定一个或多个抗粘合剂元件和一个或多个Korrugationsrillen。 随后，将膜材料沉积在牺牲层的结构化表面上。 然后，在牺牲层被去除以形成所述膜（120），所述一个或多个Korrugationsrillen（124）和一种或多种抗粘元件（126）。
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公开(公告)号：DE102015122781B4
公开(公告)日：2021-09-23
申请号：DE102015122781
申请日：2015-12-23
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： BARZEN STEFAN , BROCKMEIER ANDRE , FRIZA WOLFGANG , FUELDNER MARC , PINDL STEPHAN
Abstract: Kondensatormikrophon (100), umfassend:eine Membran (304); eine erste perforierte Rückplatte (306);eine zweite perforierte Rückplatte (802), die auf einer Seite der Membran angeordnet ist, die einer Seite der Membran, auf der die erste perforierte Rückplatte angeordnet ist, entgegengesetzt ist;ein Gehäuse aufweisend eine Schallöffnung, wobei das Gehäuse um die Membran, die erste perforierte Rückplatte und die zweite perforierte Rückplatte herum bereitgestellt ist;eine erste Isolierschicht, die auf einer, der Membran (304) zugewandten ersten Seite der ersten Rückplatte (306) angeordnet ist, und eine zweite Isolierschicht, die auf einer zweiten Seite der ersten Rückplatte (306) angeordnet ist, die der ersten Seite der ersten Rückplatte (120) entgegengesetzt ist;eine dritte Isolierschicht, die auf einer, der Membran (304) zugewandten ersten Seite der zweiten Rückplatte angeordnet ist, und eine vierte Isolierschicht, die auf einer zweiten Seite der zweiten Rückplatte angeordnet ist, die der ersten Seite der zweiten Rückplatte entgegengesetzt ist;wobei weitere Isolierschichten auf jeder äußeren Wand von mindestens einem aus einer Vielzahl an Perforationslöchern in der ersten perforierten Rückplatte (306) angeordnet sind und mindestens einen jeweiligen Abschnitt jeder äußeren Wand, der der Membran am nächsten ist, abdecken; undwobei Isoliermaterial auf jeder äußeren Wand von mindestens einem aus einer Vielzahl an Perforationslöchern in der zweiten perforierten Rückplatte angeordnet ist undmindestens einen jeweiligen Abschnitt jeder äußeren Wand, der der Membran am nächsten ist, abdeckt.
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公开(公告)号：DE102015122781A1
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：DE102015122781
申请日：2015-12-23
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： BARZEN STEFAN , BROCKMEIER ANDRE , FRIZA WOLFGANG , FUELDNER MARC , PINDL STEPHAN
Abstract: Ein Kondensatormikrophon (100) kann ein Gehäuse, eine Membran (110) und eine erste Rückplatte (120) umfassen, wobei eine erste Isolierschicht auf einer, der Membran (110) zugewandten ersten Seite der ersten Rückplatte (120) angeordnet sein kann, und eine zweite Isolierschicht auf einer zweiten Seite der ersten Rückplatte (120) angeordnet sein kann, die der ersten Seite der ersten Rückplatte (120) entgegengesetzt ist. Eine weitere Isolierschicht kann auf einer Seitenwand von mindestens einem aus einer Vielzahl von Perforationslöchern in der ersten Rückplatte (120) angeordnet sein. Jede leitfähige Oberfläche der ersten Rückplatte (120) kann mit Isoliermaterial bedeckt sein.
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公开(公告)号：DE102006055147B4
公开(公告)日：2011-01-27
申请号：DE102006055147
申请日：2006-11-22
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , BARZEN STEFAN , FUELDNER MARC
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：DE102009016487A1
公开(公告)日：2010-01-14
申请号：DE102009016487
申请日：2009-04-06
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： FUELDNER MARC , DEHE ALFONS
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公开(公告)号：DE102014109908A1
公开(公告)日：2015-01-22
申请号：DE102014109908
申请日：2014-07-15
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： BARZEN STEFAN , FUELDNER MARC , JENKNER CHRISTIAN , WIESBAUER ANDREAS
Abstract: ZUSAMMENFASSUNG DER OFFENBARUNG Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist eine Vorrichtung mit mikroelektromechanischem System (MEMS) eine erste Platte auf, eine zweite Platte, die oberhalb der ersten Platte angeordnet ist, und eine erste bewegliche Platte, die zwischen der ersten Platte und der zweiten Platte angeordnet ist. Die MEMS-Vorrichtung weist ferner eine zweite bewegliche Platte auf, die zwischen der ersten beweglichen Platte und der zweiten Platte angeordnet ist.
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公开(公告)号：DE102006055147A1
公开(公告)日：2008-05-08
申请号：DE102006055147
申请日：2006-11-22
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , BARZEN STEFAN , FUELDNER MARC
Abstract: For manufacturing a sound transducer structure, membrane support material is applied on a first main surface of a membrane carrier material and membrane material is applied in a sound transducing region and an edge region on a surface of the membrane support material. In addition, counter electrode support material is applied on a surface of the membrane material and recesses are formed in the sound transducing region of the membrane material. Counter electrode material is applied to the counter electrode support material and membrane carrier material and membrane support material are removed in the sound transducing region to the membrane material.
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公开(公告)号：DE10247487A1
公开(公告)日：2004-05-06
申请号：DE10247487
申请日：2002-10-11
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , FUELDNER MARC , BARZEN STEFAN
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公开(公告)号：DE102016122805A1
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：DE102016122805
申请日：2016-11-25
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： WIESBAUER ANDREAS , BACH ELMAR , FUELDNER MARC
Abstract: Ein System und Verfahren für sensorunterstützte Mikrofone enthält einen Verstärker mit einem Eingang, der konfiguriert ist, an einen Wandler gekoppelt zu werden, und einem Ausgang, der an eine Analogschnittstelle gekoppelt ist, um ein gewandeltes elektrisches Signal von dem Wandler auszugeben, einen Datenbus, der konfiguriert ist, an einen Umgebungssensor gekoppelt zu werden, eine Kalibrierungsparameter-Speicherschaltung, die an den Datenbus gekoppelt ist, wobei die Kalibrierungsparameter-Speicherschaltung Kalibrierungsdaten umfasst, die eine Empfindlichkeit des Wandlers mit Umgebungsmessungen, die von dem Umgebungssensor bereitgestellt werden, in Beziehung setzen, und eine Digitalschnittstelle, die an den Datenbus gekoppelt ist und konfiguriert ist, die Kalibrierungsdaten und die Umgebungsmessungen auszugeben.
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