Halbleitervorrichtungen, Bonddraht und Verfahren zur Herstellung eines Bonddrahts

    公开(公告)号:DE102012103157B4

    公开(公告)日:2025-03-27

    申请号:DE102012103157

    申请日:2012-04-12

    Abstract: Halbleitervorrichtung (100), umfassend:einen Halbleiterchip (1);eine Kontaktstelle (2) des Halbleiterchips (1);eine erste Schicht (3), die über der Kontaktstelle (2) liegt, wobei die erste Schicht (3) ein Material umfasst, das aus der Gruppe gewählt ist, die aus Niob und einer Niob und Tantal umfassenden Legierung besteht, wobei ein Volumenprozentwert oder ein Gewichtsprozentwert des einen aus Niob und einer Niob und Tantal umfassenden Legierung in der ersten Schicht (3) größer als 50 Prozent eines Gesamtvolumens oder eines Gesamtgewichts der ersten Schicht (3) ist; undein Anschlusselement (8a, 8b; 15), das elektrisch mit der Kontaktstelle (2) gekoppelt ist, wobei das Anschlusselement einen Bonddraht (8a, 8b) oder einen Clip (15) umfasst, wobei das Anschlusselement in direktem Kontakt mit der Kontaktstelle (2) und/oder der ersten Schicht (3) steht.

    Verfahren zum Ausbilden eines Halbleiterpackage

    公开(公告)号:DE102013102786B4

    公开(公告)日:2020-09-10

    申请号:DE102013102786

    申请日:2013-03-19

    Abstract: Verfahren zum Ausbilden eines Halbleiterpackage, wobei das Verfahren Folgendes aufweist:• Platzieren eines ersten Die (110), der eine Vorderseite des ersten Die (110) und eine Rückseite des ersten Die (110) aufweist, und eines zweiten Die (130), der eine Vorderseite des zweiten Die (130) und eine Rückseite des zweiten Die (130) aufweist, über einem Träger (10) derart, dass die Vorderseiten der Dies (110, 130) dem Träger (10) zugewandt sind, wobei der erste Die (110) eine andere Art von Die als der zweite Die (130) ist;• Platzieren einer Halbleitersäule (50) bei dem ersten und dem zweiten Die (110, 130) über dem Träger (10);• Einbetten des ersten und des zweiten Die (110, 130) und der Halbleitersäule (50) in ein Kapselungsmittel (90), das einen rekonstituierten Wafer (75) bildet, der eine Vorderseite (95) des rekonstituierten Wafers (75) und eine Rückseite (85) des rekonstituierten Wafers (75) aufweist;• Trennen des rekonstituierten Wafers (75) von dem Träger (10), um die Vorderseite (95) des rekonstituierten Wafers (75) zu exponieren;• als nächstes Verdünnen des rekonstituierten Wafers (75) von der Rückseite (85) des rekonstituierten Trägers (10) aus, um die Rückseite des ersten Die (110) und eine Oberfläche der Halbleitersäule (50) zu exponieren, wobei der erste Die (110) eine größere vertikale Höhe (H1) als der zweite Die (130) aufweist, so dass das Verdünnen die Rückseite des ersten Die (110) exponiert, aber nicht den zweiten Die (130);• Entfernen der Halbleitersäule (50) zum Ausbilden einer Durchöffnung (55) nach dem Verdünnen und• als nächstes Ausbilden einer rückseitigen leitenden Schicht (160, 180) auf der Rückseite (85) des rekonstituierten Wafers (75) und innerhalb der Durchöffnung (55), wobei die rückseitige leitende Schicht (160, 180) den ersten Die (110) kontaktiert und wobei der zweite Die (130) durch einen ersten Abschnitt des Kapselungsmittels (90) von der rückseitigen leitenden Schicht (160, 180) getrennt ist.

    Leistungs-Halbleitervorrichtung und Verfahren zum Verbessern der Zuverlässigkeit einer Leistungs-Halbleitervorrichtung

    公开(公告)号:DE102011053955B4

    公开(公告)日:2019-07-25

    申请号:DE102011053955

    申请日:2011-09-27

    Abstract: Leistungs-Halbleitervorrichtung, umfassend:einen Halbleiterchip (102) mit einer vertikalen Struktur;eine Metallisierungsschicht (104), die Kupfer enthält, der auf der gesamten Rückseiten-Oberfläche (103) des Halbleiterchips (102) angeordnet ist;eine Legierungsschicht (106) zum Vermindern der Bildung von Intermetallphasen undHohlräume beim Anbringen eines elektrisch leitenden Chipträgers oder eines elektrisch leitenden Gehäuserahmens durch zinnhaltigen Lötwerkstoff (114), wobei die Legierungsschicht (106) eine Zink-Kupfer-Legierung enthält, und wobei die Legierungsschicht (106) auf der Metallisierungsschicht (104) durch galvanische Ablagerung angeordnet ist; undwobei die Legierungsschicht (106) eine äußerste Schicht der Leistungs-Halbleitervorrichtung bildet, bevor diese mit einem elektrisch leitenden Chipträger (112) oder einem elektrisch leitenden Gehäuserahmen (112) verbunden wird, wobei die Metallisierungsschicht (104) zwischen dem Halbleiterchip (102) und der Legierungsschicht (106) angeordnet ist;wobei die Legierungsschicht (106) einen Legierungsanteil von etwa 20 Gew.-% Zink aufweist;wobei die Legierungsschicht (106) eine Dicke im Bereich von etwa 1 bis etwa 5 Mikrometer hat;einen elektrisch leitenden Chipträger (112) oder einen elektrisch leitenden Gehäuserahmen (112) angebracht durch zinnhaltigen Lötwerkstoff (114) an der Legierungsschicht (106), womit eine elektrische Verbindung zur Verfügung gestellt wird zwischen Chipträger oder Gehäuserahmen und Halbleiterchip (102), wobei eine Grenzfläche zwischen dem zinnhaltigen Lötwerkstoff (114) und der Legierungsschicht (106) gebildet ist.

    EINGEBETTETER IC-BAUSTEIN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES EINGEBETTETEN IC-BAUSTEINS

    公开(公告)号:DE102013107593A1

    公开(公告)日:2014-01-23

    申请号:DE102013107593

    申请日:2013-07-17

    Abstract: Es wird ein eingebetteter IC-Baustein (760) bereitgestellt, der Folgendes enthält: mindestens einen Chip (306), der über einem Chipträger (308) angeordnet ist, wobei der mindestens eine Chip (306) mehrere Chipkontaktinseln (312) enthält; Verkapselungsmaterial (304), das über dem Chipträger (308) und mindestens teilweise um den mindestens einen Chip (306) herum ausgebildet ist; mehrere elektrische Zwischenverbindungen (326), die durch das Verkapselungsmaterial (304) hindurch ausgebildet sind, wobei jede elektrische Zwischenverbindung (326) elektrisch mit einer Chipkontaktinsel (312) verbunden ist; und eine Struktur (332), die zwischen den elektrischen Zwischenverbindungen (326) des eingebetteten IC-Bausteins (760) ausgebildet ist, wobei die Struktur (332) die Kriechstromfestigkeit zwischen den elektrischen Zwischenverbindungen (326) erhöht.

    Ein Schaltkreisgehäuse, ein elektronisches Schaltkreisgehäuse und Verfahren zum Verkapseln eines elektronischen Schaltkreises

    公开(公告)号:DE102013102893A1

    公开(公告)日:2013-09-26

    申请号:DE102013102893

    申请日:2013-03-21

    Abstract: Ein Schaltkreisgehäuse wird bereitgestellt, das Schaltkreisgehäuse aufweisend: einen elektronischen Schaltkreis; einen Metallblock neben dem elektronischen Schaltkreis; eine erste Metallschichtstruktur elektrisch kontaktiert mit mindestens einem ersten Kontakt auf einer ersten Seite des elektronischen Schaltkreises; eine zweite Metallschichtstruktur elektrisch kontaktiert mit mindestens einem zweiten Kontakt auf einer zweiten Seite des elektronischen Schaltkreises, wobei die zweite Seite gegenüberliegend der ersten Seite ist; wobei der Metallblock elektrisch kontaktiert ist mit der ersten Metallschichtstruktur und der zweiten Metallschichtstruktur mittels eines elektrisch leitfähigen Mediums; und wobei das elektrisch leitfähige Medium ein Material verschieden von dem Material der ersten und der zweiten Metallschichtstruktur oder eine Materialstruktur verschieden von dem Material der ersten und der zweiten Metallschichtstruktur aufweist.

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