公开(公告)号：DE102014103557A1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：DE102014103557

申请日：2014-03-14

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： BEHRENDT ANDREAS ,  WALTER THOMAS

IPC: G03F7/26 ,  H01L21/027

Abstract: Vorrichtungen und Verfahren werden bereitgestellt, in denen ein Photolack auf ein Substrat aufgebracht wird und mindestens einige Bereiche des Photolacks getrocknet werden, bevor ein Substrat von einem Substratträger entfernt wird.

公开(公告)号：DE102013111292A1

公开(公告)日：2014-04-17

申请号：DE102013111292

申请日：2013-10-14

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： FORSTER MAGDALENA ,  GOLLER BERNHARD ,  HIRSCHLER JOACHIM ,  SCHMUT KATHARINA ,  SCHWEIZER PHILEMON ,  SORGER MICHAEL ,  STERNAD MICHAEL ,  WALTER THOMAS

IPC: H01M4/02 ,  H01M4/04

Abstract: Eine Batterieelektrode (300) gemäß diversen Ausführungsformen kann Folgendes umfassen: ein Substrat (310), das eine Oberfläche (312a, 312b, 314a) umfasst, die so konfiguriert ist, dass sie einem ionenführenden Elektrolyten (308) gegenüberliegt; und eine erste das Diffusionsvermögen ändernde Region (397) auf einem ersten Teil (310a) der Oberfläche (312a, 312b, 314a), wobei die erste das Diffusionsvermögen ändernde Region (397) so konfiguriert ist, dass die Diffusion von Ionen, die von dem Elektrolyten (308) geführt werden, in das Substrat (310) ändert, und wobei ein zweiter Teil (310b) des Substrats (310) frei von der ersten das Diffusionsvermögen ändernden Region (397) ist.

公开(公告)号：DE102014103557B4

公开(公告)日：2020-12-10

申请号：DE102014103557

申请日：2014-03-14

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： BEHRENDT ANDREAS ,  WALTER THOMAS

IPC: G03F7/26 ,  H01L21/027

Abstract: Vorrichtung, umfassend:einen Substratträger (27);eine Photolackaufbringvorrichtung (21), die eingerichtet ist, einen Photolack auf ein Substrat (210) auf dem Substratträger (27) aufzubringen;eine Trocknungsvorrichtung (23; 30), die eingerichtet ist, mindestens einige Bereiche des Photolacks auf dem Substrat (210) zu trocknen, während das Substrat (210) sich auf dem Substratträger (27) befindet; undeine Greifvorrichtung (26), die eingerichtet ist, ein Entfernen des Substrats (210) von dem Substratträger (27) nach dem Trocknen durchzuführen, wobei die Greifvorrichtung (26) an Angriffsbereichen der mindestens einigen Bereiche an das Substrat greift, während getrockneter Photolack an den Angriffsbereichen verbleibt.