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公开(公告)号:DE102014209556A1
公开(公告)日:2014-12-04
申请号:DE102014209556
申请日:2014-05-20
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HIRSCHLER JOACHIM , SCHMID JOHANN
IPC: G09F9/00
Abstract: Es wird eine Anzeigevorrichtung bereitgestellt. Die Anzeigevorrichtung umfasst eine Anzeige, die mehrere Pixel umfasst, die in einer Anzeigeebene angeordnet sind. Die Anzeigevorrichtung ist dazu konfiguriert, eine virtuelle Ebene zu bestimmen, auf der ein weitsichtiger Benutzer der Anzeigevorrichtung, der die Anzeige ansieht, scharf sieht. Des Weiteren ist die Anzeigevorrichtung dazu konfiguriert, eine erste zusammenhängende Gruppe von Pixeln der Anzeige zu bestimmen, die sich innerhalb eines ersten optischen Wegs von einem ersten virtuellen Pixel der virtuellen Ebene zu einem Auge des weitsichtigen Benutzers befinden, und eine zweite zusammenhängende Gruppe von Pixeln der Anzeige zu bestimmen, die sich innerhalb eines zweiten optischen Wegs von einem zweiten virtuellen Pixel der virtuellen Ebene zu dem Auge des weitsichtigen Benutzers befinden.
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公开(公告)号:DE102013200761B4
公开(公告)日:2014-07-10
申请号:DE102013200761
申请日:2013-01-18
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: ENGELHARDT MANFRED , HIRSCHLER JOACHIM , RÖSNER MICHAEL
IPC: H01L21/784 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/312 , H01L21/56 , H01L21/67
Abstract: Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements, wobei das Verfahren Folgendes aufweist: Ausbilden eines Grabens von einer oberen Oberfläche eines Substrats, das ein Bauelementgebiet neben der oberen Oberfläche aufweist, zu einer gegenüberliegenden unteren Oberfläche, wobei der Graben Seitenwände des Bauelementgebiets umgibt; Füllen des Grabens mit einem Kleber; Ausbilden einer Kleberschicht über der oberen Oberfläche des Substrats und dem gefüllten Graben, wobei ein Klebermaterial des Klebers von einem Klebermaterial der Kleberschicht verschieden ist; Anbringen eines Trägers mit der Kleberschicht; Verdünnen des Substrats von der unteren Oberfläche, um mindestens einen Abschnitt des Klebers und eine hintere Oberfläche des Bauelementgebiets zu exponieren; Entfernen der Kleberschicht mittels eines ersten Ätzschritts; und Ätzen des Klebers, um eine Seitenwand des Bauelementgebiets zu exponieren mittels eines nachfolgenden zweiten Ätzschritts.
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公开(公告)号:DE102015119413A8
公开(公告)日:2016-07-21
申请号:DE102015119413
申请日:2015-11-11
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HEINRICI MARKUS , HIRSCHLER JOACHIM , MISCHITZ MARTIN , ROESNER MICHAEL , STRANZL GUDRUN , ZGAGA MARTIN
IPC: H01L21/283
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公开(公告)号:DE102013109375B4
公开(公告)日:2016-07-14
申请号:DE102013109375
申请日:2013-08-29
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HIRSCHLER JOACHIM , STRANZL GUDRUN
IPC: H01L21/308 , H01L21/768 , H01L23/31
Abstract: Verfahren (200) zum Verarbeiten eines Wafers, wobei das Verfahren Folgendes enthält: Ausbilden einer Passivierung über dem Wafer (202); Ausbilden einer Schutzschicht über mindestens einer Oberfläche der Passivierung (204), welche vom Wafer weggekehrt ist, wobei die Schutzschicht ein Material enthält, das selektiv zu einem Material der Passivierung ätzbar ist; Ausbilden einer Maskenschicht über mindestens einer Oberfläche der Schutzschicht (206), welche vom Wafer weggekehrt ist, wobei die Maskenschicht ein Material enthält, das selektiv zum Material der Schutzschicht ätzbar ist; Ätzen des Wafers unter Benutzung der Maskenschicht als Maske (208); nach dem Ätzen des Wafers, selektives Ätzen des Materials der Maskenschicht zum Entfernen der Maskenschicht von der Schutzschicht (210); und nach dem selektiven Ätzen des Materials der Maskenschicht, selektives Ätzen des Materials der Schutzschicht zum Entfernen der Schutzschicht von der Passivierung (212).
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公开(公告)号:DE102013111292A1
公开(公告)日:2014-04-17
申请号:DE102013111292
申请日:2013-10-14
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: FORSTER MAGDALENA , GOLLER BERNHARD , HIRSCHLER JOACHIM , SCHMUT KATHARINA , SCHWEIZER PHILEMON , SORGER MICHAEL , STERNAD MICHAEL , WALTER THOMAS
Abstract: Eine Batterieelektrode (300) gemäß diversen Ausführungsformen kann Folgendes umfassen: ein Substrat (310), das eine Oberfläche (312a, 312b, 314a) umfasst, die so konfiguriert ist, dass sie einem ionenführenden Elektrolyten (308) gegenüberliegt; und eine erste das Diffusionsvermögen ändernde Region (397) auf einem ersten Teil (310a) der Oberfläche (312a, 312b, 314a), wobei die erste das Diffusionsvermögen ändernde Region (397) so konfiguriert ist, dass die Diffusion von Ionen, die von dem Elektrolyten (308) geführt werden, in das Substrat (310) ändert, und wobei ein zweiter Teil (310b) des Substrats (310) frei von der ersten das Diffusionsvermögen ändernden Region (397) ist.
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公开(公告)号:DE102013109375A1
公开(公告)日:2014-03-06
申请号:DE102013109375
申请日:2013-08-29
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HIRSCHLER JOACHIM , STRANZL GUDRUN
IPC: H01L21/308 , H01L21/283 , H01L21/768 , H01L23/31
Abstract: Ein Verfahren (200) zum Verarbeiten eines Wafers gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann Folgendes enthalten: Ausbilden einer Passivierung über dem Wafer (202); Ausbilden einer Schutzschicht über mindestens einer Oberfläche der Passivierung (204), die vom Wafer weggekehrt ist, wobei die Schutzschicht ein Material enthält, das selektiv zu einem Material der Passivierung ätzbar ist; Ausbilden einer Maskenschicht über mindestens einer Oberfläche der Schutzschicht (206), die vom Wafer weggekehrt ist, wobei die Maskenschicht ein Material enthält, das selektiv zum Material der Schutzschicht ätzbar ist; Ätzen des Wafers unter Benutzung der Maskenschicht als Maske (208); nach dem Ätzen des Wafers, selektives Ätzen des Materials der Maskenschicht (210) zum Entfernen der Maskenschicht von der Schutzschicht; und nach dem selektiven Ätzen des Materials der Maskenschicht, selektives Ätzen des Materials der Schutzschicht (212) zum Entfernen der Schutzschicht von der Passivierung.
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公开(公告)号:DE102021118992A1
公开(公告)日:2022-02-24
申请号:DE102021118992
申请日:2021-07-22
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: NAPETSCHNIG EVELYN , ERBERT CHRISTOFFER , RUPP THOMAS , SCHÄFFER CARSTEN , HIRSCHLER JOACHIM , BRANDENBURG JENS , ZISCHANG JULIA , HUMBEL OLIVER
Abstract: Vorgeschlagen wird eine Halbleitervorrichtung (100). Die Halbleitervorrichtung (100) enthält eine Verdrahtungs-Metallschichtstruktur (102). Die Halbleitervorrichtung (100) enthält ferner eine direkt auf der Verdrahtungs-Metallschichtstruktur (102) angeordnete Dielektrikumsschichtstruktur (104). Die Halbleitervorrichtung (100) enthält überdies eine zumindest teilweise direkt auf der Dielektrikumsschichtstruktur (104) angeordnete Bondingpad-Metallschichtstruktur (106). Eine Schichtdicke (td) der Dielektrikumsschichtstruktur (104) reicht von 1% bis 30% einer Schichtdicke (tw) der Verdrahtungs-Metallschichtstruktur (102). Die Verdrahtungs-Metallschichtstruktur (102) und die Bondingpad-Metallschichtstruktur (106) sind durch Öffnungen (108) in der Dielektrikumsschichtstruktur (104) elektrisch verbunden.
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公开(公告)号:DE102014106339A1
公开(公告)日:2014-11-13
申请号:DE102014106339
申请日:2014-05-07
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: DENIFL GÜNTER , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , HIRSCHLER JOACHIM , KAHN MARKUS , KÜNLE MATTHIAS , MAURER DANIEL , MÖNNICH ROLAND , SCHÖNHERR HELMUT
Abstract: Kohlenstoffschichten mit reduziertem Wasserstoffgehalt können durch Auswahl entsprechender Verarbeitungsparameter mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung abgeschieden werden. Solche Kohlenstoffschichten können einer Hochtemperaturbearbeitung unterzogen werden, ohne eine übermäßige Schrumpfung zu zeigen.
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公开(公告)号:DE102013200761A1
公开(公告)日:2013-07-25
申请号:DE102013200761
申请日:2013-01-18
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: ENGELHARDT MANFRED , HIRSCHLER JOACHIM , ROESNER MICHAEL
IPC: H01L21/784 , H01L21/3065 , H01L21/312 , H01L21/56
Abstract: Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beinhaltet ein Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements das Ausbilden eines Grabens von einer oberen Oberfläche eines Substrats mit einem Bauelementgebiet. Das Bauelementgebiet befindet sich neben der oberen Oberfläche als eine gegenüberliegende untere Oberfläche. Der Graben umgibt die Seitenwände des Bauelementgebiets. Der Graben wird mit einem Kleber gefüllt. Eine Kleberschicht wird über der oberen Oberfläche des Substrats ausgebildet. Ein Träger wird mit der Kleberschicht angebracht. Das Substrat wird von der unteren Oberfläche aus verdünnt, um mindestens einen Abschnitt des Klebers und eine hintere Oberfläche des Bauelementgebiets zu exponieren. Die Kleberschicht wird entfernt und Kleber wird geätzt, um eine Seitenwand des Bauelementgebiets zu exponieren.
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公开(公告)号:DE102015104476A1
公开(公告)日:2015-10-01
申请号:DE102015104476
申请日:2015-03-25
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: ENGELHARDT MANFRED , HIRSCHLER JOACHIM , RÖSNER MICHAEL , SCHMID JOHANN , STRANZL GUDRUN
Abstract: Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beinhaltet ein Verfahren zum Ausbilden eines Halbleiterbauelements das Anbringen eines Substrats (100) an einem Träger (20) mithilfe einer haftfähigen Komponente (10) und das Ausbilden eines Grabens (170) durch das Substrat (100), um die haftfähige Komponente (10) freizulegen. Wenigstens ein Teil der haftfähigen Komponente (10) wird geätzt, und eine Metallschicht (60) wird über Seitenwänden des Grabens (170) ausgebildet.
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