公开(公告)号：DE112016000310T5

公开(公告)日：2017-10-05

申请号：DE112016000310

申请日：2016-01-08

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA V ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  GROSS KENNETH P ,  SOLARZ RICHARD ,  WILSON LAUREN ,  YADAV RAHUL ,  WITTENBERG JOSHUA ,  CHIMMALGI ANANT ,  LUI XIUMEI ,  BRUGUIER BROOKE

IPC: H01J65/04

Abstract: Ein System zum Bilden eines lasergestützten Plasmas umfasst ein Gasbehälterelement, eine Beleuchtungsquelle, die konfiguriert ist, um ein Pumplicht zu erzeugen, und ein Kollektorelement. Das Gasbehälterelement ist so konfiguriert, dass es ein Volumen eines Gasgemischs aufnimmt. Das Kollektorelement ist so konfiguriert, dass es das Pumplicht von der Pumpquelle in das Volumen des in dem Gasbehälterelement enthaltenen Gasgemischs fokussiert, um ein Plasma innerhalb des Gasgemischvolumens zu erzeugen, das Breitbandstrahlung emittiert. Das Gasgemisch filtert eine oder mehrere ausgewählte Wellenlängen der vom Plasma emittierten Strahlung.