公开(公告)号：DE112016000310T5

公开(公告)日：2017-10-05

申请号：DE112016000310

申请日：2016-01-08

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA V ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  GROSS KENNETH P ,  SOLARZ RICHARD ,  WILSON LAUREN ,  YADAV RAHUL ,  WITTENBERG JOSHUA ,  CHIMMALGI ANANT ,  LUI XIUMEI ,  BRUGUIER BROOKE

IPC: H01J65/04

Abstract: Ein System zum Bilden eines lasergestützten Plasmas umfasst ein Gasbehälterelement, eine Beleuchtungsquelle, die konfiguriert ist, um ein Pumplicht zu erzeugen, und ein Kollektorelement. Das Gasbehälterelement ist so konfiguriert, dass es ein Volumen eines Gasgemischs aufnimmt. Das Kollektorelement ist so konfiguriert, dass es das Pumplicht von der Pumpquelle in das Volumen des in dem Gasbehälterelement enthaltenen Gasgemischs fokussiert, um ein Plasma innerhalb des Gasgemischvolumens zu erzeugen, das Breitbandstrahlung emittiert. Das Gasgemisch filtert eine oder mehrere ausgewählte Wellenlängen der vom Plasma emittierten Strahlung.

公开(公告)号：DE112015002079T5

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：DE112015002079

申请日：2015-04-30

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： CHIMMALGI ANANT ,  WILSON LAUREN ,  PANZER MATTHEW ,  BEZEL ILYA V

IPC: H01J61/02

Abstract: Eine lasergestützte Plasmalichtquelle beinhaltet eine Plasmalampe, die dazu ausgebildet ist, ein Gasvolumen einzuschließen und Beleuchtung von einem Pumplaser zu empfangen, um ein Plasma zu erzeugen. Die Plasmalampe beinhaltet einen oder mehrere transparente Bereiche, welche für Beleuchtung von dem Pumplaser und zumindest einen Teil der vom Plasma emittierten Breitbandstrahlung transparent sind. Der eine oder die mehreren transparenten Bereiche sind aus einem transparenten Material gebildet, welches einen erhöhten Hydroxidgehalt über 700 ppm hat.

公开(公告)号：DE112015001498T5

公开(公告)日：2017-01-05

申请号：DE112015001498

申请日：2015-03-27

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： DELGADO GILDARDO ,  WILSON LAUREN ,  CHIMMALGI ANANT ,  BEZEL ILYA ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  DERSTINE MATTHEW W

IPC: H01J65/04

Abstract: Eine offene Plasmalampe enthält einen Hohlraumabschnitt. Ein Gaseinlass und Gasauslass des Hohlraumabschnitts sind angeordnet, um Gas durch den Hohlraumabschnitt fließen zu lassen. Die Plasmalampe weist auch eine Gasversorgungsanordnung auf, die fluide mit dem Gaseinlass des Hohlraumabschnitts gekoppelt und konfiguriert ist, Gas zu einem inneren Volumen des Hohlraumabschnitts zu liefern. Die Plasmalampe umfasst auch eine Düsenanordnung, die fluide mit dem Gasauslass des Hohlraumabschnitts gekoppelt ist. Die Düsenanordnung und Hohlraumabschnitt sind derart angeordnet, dass ein Volumen des Gases von einer Pumpquelle eine Beleuchtung zum Pumpen empfängt, wobei das mittels Licht aufrechterhaltene Plasma eine Breitbandstrahlung emittiert. Die Düsenanordnung ist konfiguriert, um eine konvektive Gasströmung aus dem Inneren des Hohlraumabschnitts zu einem Bereich außerhalb der Hohlraumabschnitt bereitzustellen, so dass ein Teil des aufrechterhaltenen Plasmas aus dem Hohlraumabschnitt durch den Gasstrom entfernt wird.

公开(公告)号：EP2890930A4

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：EP13832549

申请日：2013-08-28

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： WANG JINCHENG ,  CHIMMALGI ANANT ,  PATIL RAJEEV ,  KIM ERIK ,  BRUNNER RUDOLF ,  GIANG QUANG ,  WILSON LAUREN ,  GROSS KENNETH P ,  BEZEL ILYA ,  LASFARGUES CEDRIC ,  SCOTT DANIEL ,  VORA YOUNUS ,  DERSTINE MATTHEW

IPC: F21V29/503 ,  F21V19/00 ,  F21V29/60

CPC classification number: F28C3/04 ,  F21V19/00 ,  F21V29/02 ,  F21V29/503 ,  F21V29/60

Abstract: A fluid input manifold distributes injected fluid around the body of a bulb to cool the bulb below a threshold. The injected fluid also distributes heat more evenly along the surface of the bulb to reduce thermal stress. The fluid input manifold may comprise one or more airfoils to direct a substantially laminar fluid flow along the surface of the bulb or it may comprise a plurality of fluid injection nozzles oriented to produce a substantially laminar fluid flow. An output portion may be configured to facilitate fluid flow along the surface of the bulb by allowing injected fluid to easily escape after absorbing heat from the bulb or by applying negative pressure to actively draw injected fluid along the surface of the bulb and away.

Abstract translation: 一种流体输入歧管喷射配给流体围绕灯泡的主体冷却到低于阈值的灯泡。 注入的流体因此沿所述灯泡的表面更均匀地分布热量，以减少热应力。 所述流体输入歧管可以包括一个或多个翼型件以沿着灯泡的表面的基本层流流动，或者它可包括定向成产生基本上层流流动的流体喷射喷嘴的复数。 的输出部分可以被配置成通过允许注入的流体，以吸收来自灯泡热后容易逃脱或通过施加负压，以积极绘制注入的流体沿着灯泡和远离的表面以便沿着灯泡的表面的流体流动。