公开(公告)号：JP2011155302A

公开(公告)日：2011-08-11

申请号：JP2011103027

申请日：2011-05-02

Applicant: Kla-Tencor Corp ,  ケーエルエー−テンカー コーポレイション

Inventor： MIEHER WALTER D ,  LEVY ADY ,  GOLOVANEVSKY BORIS ,  FRIEDMANN MICHAEL ,  SMITH IAN ,  ADEL MICHAEL ,  FABRIKANT ANATOLY ,  BEVIS CHRISTOPHER F ,  FIELDEN JOHN ,  BAREKET NOAH ,  GROSS KENNETH P ,  ZALICKI PIOTR ,  WACK DAN ,  DECECCO PAOLA ,  GHINOVKER MARK ,  MOSHE BARUCH ,  KNOLL NOAM

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00

CPC classification number: G03F9/7088 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/213 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F7/70683 ,  G03F9/7049 ,  G03F9/7084

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of determining an overlay error between two layers of a multiple layer sample. SOLUTION: For a plurality of periodic targets that each have a first structure formed from a first layer and a second structure formed from a second layer of the sample, an optical system is employed to thereby measure an optical signal from each of the periodic targets. There are predefined offsets between the first and second structures. An overlay error between the first and second structures is determined by analyzing the measured optical signals from the periodic targets using a scatterometry overlay technique based on the predefined offsets. The optical system includes any one or more of a reflectometric system, polarimetric system, imaging system, interferometric system and/or scan angle system. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种确定多层样品的两层之间的覆盖误差的方法。 解决方案：对于每个具有由第一层形成的第一结构和由第二层样品形成的第二结构的多个周期性目标，采用光学系统，从而测量来自每个 定期目标。 在第一和第二结构之间有预定义的偏移。 通过使用基于预定义的偏移的散射测量覆盖技术来分析来自周期性目标的所测量的光信号来确定第一和第二结构之间的重叠误差。 光学系统包括反射测量系统，偏振系统，成像系统，干涉系统和/或扫描角度系统中的任何一个或多个。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

公开(公告)号：DE112016005450T5

公开(公告)日：2018-08-23

申请号：DE112016005450

申请日：2016-11-29

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： SHCHEMELININ ANATOLY ,  BEZEL ILYA V ,  GROSS KENNETH P

IPC: G01J5/48 ,  G01J5/08 ,  G02B27/14

Abstract: Verfahren und Systeme zur Durchführung von berührungslosen Temperaturmessungen von optischen Elementen mit langwelligem Infrarotlicht werden hierin beschrieben. Die zu vermessenden optischen Elemente weisen ein geringes Emissionsvermögen gegenüber langwelligem Infrarotlicht auf und sind häufig für langwelliges Infrarotlicht stark reflektierend oder hochgradig durchlässig. Gemäß einem Aspekt ist eine Materialbeschichtung mit hohem Emissionsvermögen, geringer Reflektivität und geringer Transmission bei langwelligen IR-Wellenlängen über ausgewählten Bereichen von einem oder mehreren optischen Elementen eines Metrologie- oder Inspektionssystems angeordnet. Die Positionen der Materialbeschichtung liegen außerhalb des direkten Strahlengangs des primären Messlichts, das von dem Metrologie- oder Inspektionssystem verwendet wird, um Messungen einer Probe durchzuführen. Temperaturmessungen der vorderen und hinteren Oberflächen eines IR-transparenten optischen Elements werden mit einer einzigen IR-Kamera durchgeführt. Temperaturmessungen werden durch mehrere optische Elemente in einem Strahlengang eines primären Messstrahls durchgeführt.

公开(公告)号：DE112016000310T5

公开(公告)日：2017-10-05

申请号：DE112016000310

申请日：2016-01-08

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA V ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  GROSS KENNETH P ,  SOLARZ RICHARD ,  WILSON LAUREN ,  YADAV RAHUL ,  WITTENBERG JOSHUA ,  CHIMMALGI ANANT ,  LUI XIUMEI ,  BRUGUIER BROOKE

IPC: H01J65/04

Abstract: Ein System zum Bilden eines lasergestützten Plasmas umfasst ein Gasbehälterelement, eine Beleuchtungsquelle, die konfiguriert ist, um ein Pumplicht zu erzeugen, und ein Kollektorelement. Das Gasbehälterelement ist so konfiguriert, dass es ein Volumen eines Gasgemischs aufnimmt. Das Kollektorelement ist so konfiguriert, dass es das Pumplicht von der Pumpquelle in das Volumen des in dem Gasbehälterelement enthaltenen Gasgemischs fokussiert, um ein Plasma innerhalb des Gasgemischvolumens zu erzeugen, das Breitbandstrahlung emittiert. Das Gasgemisch filtert eine oder mehrere ausgewählte Wellenlängen der vom Plasma emittierten Strahlung.

公开(公告)号：DE112014001747B4

公开(公告)日：2022-07-28

申请号：DE112014001747

申请日：2014-03-28

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA V ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  DERSTINE MATTHEW W ,  GROSS KENNETH P ,  SHORTT DAVID W ,  ZHAO WEI ,  CHIMMALGI ANANT ,  WANG JINCHENG

IPC: H01J65/04 ,  H01J65/00 ,  H05H1/24

Abstract: Vorrichtung (100) zur Steuerung einer Konvektionsströmung in einem lichtgestützten Plasma umfassend:• eine Beleuchtungsquelle (112), die konfiguriert ist, um Beleuchtung (114) zu erzeugen;• eine Plasmazelle (104), die einen Kolben (105) umfasst, um ein Gasvolumen (103) zu enthalten;• ein Kollektorelement (102), das angeordnet ist, um die Beleuchtung (114) aus der Beleuchtungsquelle (112) in das Gasvolumen (103) zu fokussieren, um ein Plasma (106) innerhalb des im Kolben enthaltenen Gasvolumens (103) zu erzeugen, wobei ein Teil der Plasmazelle (104) in einem konkaven Bereich (109) des Kollektorelements (102) angeordnet ist, und wobei das Kollektorelement (102) eine Öffnung (108) enthält, durch welche Öffnung sich ein Teil der Plasmazelle erstreckt, damit ein Teil einer Plasmafahne (107) sich zu einem Bereich (110) außerhalb des konkaven Bereichs (109) des Kollektorelements (102) ausbreitet;• ein außenliegendes Plasmasteuerelement (128), welches im Bereich (110) außerhalb des konkaven Bereichs (109) des Kollektorelements (102) platziert ist, wobei das außenliegende Plasmasteuerelement (128) wenigstens eine Struktur beinhaltet, die innerhalb des Plasmakolbens (105) angeordnet ist oder die außerhalb des Plasmakolbens (105) angeordnet ist;• wobei das außenliegende Plasmasteuerelement (128) ein außenliegendes Konvektionssteuerelement umfasst, wobei das außenliegende Konvektionssteuerelement innerhalb des Plasmakolbens (105) platziert und dazu angeordnet ist, Konvektionsströme innerhalb des Plasmakolbens (105) zu steuern.

公开(公告)号：WO0250509A3

公开(公告)日：2002-12-12

申请号：PCT/US0149259

申请日：2001-12-18

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： ZHAO GUOHENG ,  GROSS KENNETH P ,  SMEDT RODNEY ,  NIKOONAHAD MEHRDAD

IPC: G01B11/00 ,  G01J4/00

CPC classification number: G01N21/21 ,  G01B11/00 ,  G01N21/4788 ,  G01N21/956

Abstract: A periodic structure (32) is illuminated by polychromatic electromagnetic radiation (20). Radiation from the structure is collected and divided into two rays having different polarization states. The two rays (46, 48) are detected from which one or more parameters of the periodic structure may be derived. In another embodiment, when the periodic structure is illuminated by a polychromatic electromagnetic radiation, the collected radiation from the structure is passed through a polarization element having a polarization plane. The element and the polychromatic beam are controlled so that the polarization plane of the element are at two or more different orientations with respect to the plane of incidence of the polychromatic beam.

Abstract translation: 周期性结构（32）被多色电磁辐射（20）照射。 收集来自结构的辐射并将其分成具有不同偏振状态的两条光线。 检测两条射线（46,48），从中可以导出周期性结构的一个或多个参数。 在另一个实施例中，当周期性结构被多色电磁辐射照射时，来自该结构的收集的辐射穿过具有偏振面的偏振元件。 元件和多色光束受到控制，使得元件的偏振面相对于多色光束的入射面处于两个或更多个不同的取向。

公开(公告)号：WO2011106227A3

公开(公告)日：2011-12-08

申请号：PCT/US2011025198

申请日：2011-02-17

Applicant: KLA TENCOR CORP ,  GROSS KENNETH P ,  CHUANG YUNG-HO ,  FIELDEN JOHN

Inventor： GROSS KENNETH P ,  CHUANG YUNG-HO ,  FIELDEN JOHN

IPC: H01J65/00 ,  H01J61/16 ,  H01J61/30

CPC classification number: H01J61/302 ,  H01J61/025 ,  H01J61/16 ,  H01J61/54 ,  H01J61/86 ,  H01J65/04 ,  H01J65/042 ,  H01J65/06

Abstract: A cell for a vacuum ultraviolet plasma light source, the cell having a closed sapphire tube containing at least one noble gas. Such a cell does not have a metal housing, metal-to-metal seals, or any other metal flanges or components, except for the electrodes (in some embodiments). In this manner, the cell is kept to a relatively small size, and exhibits a more uniform heating of the gas and cell than can be readily achieved with a hybridized metal/window cell design. These designs generally result in higher plasma temperatures (a brighter light source), shorter wavelength output, and lower optical noise due to fewer gas convection currents created between the hotter plasma regions and surrounding colder gases. These cells provide a greater amount of output with wavelengths in the vacuum ultraviolet range than do quartz or fused silica cells. These cells also produce continuous spectral emission well into the infrared range, making them a broadband light source.

Abstract translation: 一种用于真空紫外等离子体光源的电池，该电池具有包含至少一种惰性气体的封闭的蓝宝石管。 除了电极（在一些实施例中）之外，这种电池不具有金属外壳，金属对金属密封件或任何其他金属凸缘或部件。 以这种方式，电池保持相对较小的尺寸，并且比用杂交金属/窗口电池设计容易实现的气体和电池表现出更均匀的加热。 这些设计通常导致较高的等离子体温度（较亮的光源），较短的波长输出以及较低的光学噪声，这是由于在较热的等离子体区域和周围较冷的气体之间产生较少的气体对流电流。 与石英或熔融石英单元相比，这些单元在真空紫外线范围内提供更多的输出波长。 这些电池还可以在红外范围内产生连续的光谱发射，使其成为宽带光源。

公开(公告)号：DE112014001747T5

公开(公告)日：2015-12-17

申请号：DE112014001747

申请日：2014-03-28

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA V ,  DERSTINE MATTHEW W ,  GROSS KENNETH P ,  SHORTT DAVID W ,  ZHAO WEI ,  CHIMMALGI ANANT ,  WANG JINCHENG ,  SHCHEMELININ ANATOLY

IPC: H01J61/02

Abstract: Eine Vorrichtung zur Steuerung einer Konvektionsströmung in einem lichtgestützten Plasma umfasst eine Beleuchtungsquelle, die konfiguriert ist, um Beleuchtung zu erzeugen, eine Plasmazelle, die einen Kolben zum Einschluss eines Gasvolumens umfasst, ein Kollektorelement, das angebracht ist, um Beleuchtung aus der Beleuchtungsquelle in das Gasvolumen zu fokussieren, um ein Plasma innerhalb des Gasvolumens, das im Kolben enthalten ist, zu erzeugen. Außerdem ist die Plasmazelle innerhalb eines konkaven Bereichs des Kollektorelements angeordnet, wobei das Kollektorelement eine Öffnung umfasst, damit ein Teil einer Plasmafahne sich zu einem Bereich außerhalb des konkaven Bereichs des Kollektorelements ausbreitet.

公开(公告)号：AU3965402A

公开(公告)日：2002-07-01

申请号：AU3965402

申请日：2001-12-18

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： ZHAO GUOHENG ,  GROSS KENNETH P ,  SMEDT RODNEY ,  NIKOONAHAD MEHRDAD

IPC: G01B11/00

Abstract: A periodic structure is illuminated by polychromatic electromagnetic radiation. Radiation from the structure is collected and divided into two rays having different polarization states. The two rays are detected from which one or more parameters of the periodic structure may be derived. In another embodiment, when the periodic structure is illuminated by a polychromatic electromagnetic radiation, the collected radiation from the structure is passed through a polarization element having a polarization plane. The element and the polychromatic beam are controlled so that the polarization plane of the element are at two or more different orientations with respect to the plane of incidence of the polychromatic beam. Radiation that has passed through the element is detected when the plane of polarization is at the two or more positions so that one or more parameters of the periodic structure may be derived from the detected signals. At least one of the orientations of the plane of polarization is substantially stationary when the detection takes place. To have as small a footprint as possible, one employs an optical device that includes a first element directing a polychromatic beam of electromagnetic radiation to the structure and a second optical element collecting radiation from the structure where the two elements form an integral unit or are attached together to form an integrated unit. To reduce the footprint, the measurement instrument and the wafer are both moved. In one embodiment, both the apparatus and the wafer undergo translational motion transverse to each other. In a different arrangement, one of the two motions is translational and the other is rotational. Any one of the above-described embodiments may be included in an integrated processing and detection apparatus which also includes a processing system processing the sample, where the processing system is responsive to the output of any one of the above embodiments for adjusting a processing parameter.

公开(公告)号：EP2890930A4

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：EP13832549

申请日：2013-08-28

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： WANG JINCHENG ,  CHIMMALGI ANANT ,  PATIL RAJEEV ,  KIM ERIK ,  BRUNNER RUDOLF ,  GIANG QUANG ,  WILSON LAUREN ,  GROSS KENNETH P ,  BEZEL ILYA ,  LASFARGUES CEDRIC ,  SCOTT DANIEL ,  VORA YOUNUS ,  DERSTINE MATTHEW

IPC: F21V29/503 ,  F21V19/00 ,  F21V29/60

CPC classification number: F28C3/04 ,  F21V19/00 ,  F21V29/02 ,  F21V29/503 ,  F21V29/60

Abstract: A fluid input manifold distributes injected fluid around the body of a bulb to cool the bulb below a threshold. The injected fluid also distributes heat more evenly along the surface of the bulb to reduce thermal stress. The fluid input manifold may comprise one or more airfoils to direct a substantially laminar fluid flow along the surface of the bulb or it may comprise a plurality of fluid injection nozzles oriented to produce a substantially laminar fluid flow. An output portion may be configured to facilitate fluid flow along the surface of the bulb by allowing injected fluid to easily escape after absorbing heat from the bulb or by applying negative pressure to actively draw injected fluid along the surface of the bulb and away.

Abstract translation: 一种流体输入歧管喷射配给流体围绕灯泡的主体冷却到低于阈值的灯泡。 注入的流体因此沿所述灯泡的表面更均匀地分布热量，以减少热应力。 所述流体输入歧管可以包括一个或多个翼型件以沿着灯泡的表面的基本层流流动，或者它可包括定向成产生基本上层流流动的流体喷射喷嘴的复数。 的输出部分可以被配置成通过允许注入的流体，以吸收来自灯泡热后容易逃脱或通过施加负压，以积极绘制注入的流体沿着灯泡和远离的表面以便沿着灯泡的表面的流体流动。