公开(公告)号：DE112015001623T5

公开(公告)日：2017-02-09

申请号：DE112015001623

申请日：2015-04-01

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： SHCHEMELININ ANATOLY ,  SOLARZ RICHARD ,  BEZEL ILYA ,  OH SEBAEK ,  DERSTINE MATTHEW

IPC: H01J63/08 ,  H01J61/28

Abstract: Eine lasergestützte Plasmalichtquelle zum transversalen Plasmapumpen beinhaltet eine Pumpquelle, die dazu ausgebildet ist, Pumpbeleuchtung zu erzeugen, eines oder mehrere optische Elemente zur Beleuchtung und eine Gaseinschlussstruktur, welche dazu ausgebildet ist, ein Gasvolumen einzuschließen. Das eine oder die mehreren optischen Elemente zur Beleuchtung sind dazu ausgebildet, ein Plasma innerhalb des Gasvolumens der Gaseinschlussstruktur aufrechtzuerhalten, indem sie Pumpbeleuchtung entlang eines Pumpstrahlengangs zu einem oder mehreren Brennflecken innerhalb des Gasvolumens richten. Das eine oder die mehreren optischen Sammelelemente sind dazu ausgebildet, vom Plasma emittierte Breitbandstrahlung entlang eines Sammelstrahlengangs zu sammeln. Ferner sind die optischen Elemente zur Beleuchtung dazu ausgebildet, den Pumpstrahlengang derart festzulegen, dass Pumpbeleuchtung entlang einer Richtung transversal zu einer Fortpflanzungsrichtung des emittierten Breitbandlichts des Sammelstrahlengangs auf das Plasma trifft, so dass die Pumpbeleuchtung im Wesentlichen von der emittierten Breitbandstrahlung entkoppelt ist.

公开(公告)号：DE112016000310T5

公开(公告)日：2017-10-05

申请号：DE112016000310

申请日：2016-01-08

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA V ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  GROSS KENNETH P ,  SOLARZ RICHARD ,  WILSON LAUREN ,  YADAV RAHUL ,  WITTENBERG JOSHUA ,  CHIMMALGI ANANT ,  LUI XIUMEI ,  BRUGUIER BROOKE

IPC: H01J65/04

Abstract: Ein System zum Bilden eines lasergestützten Plasmas umfasst ein Gasbehälterelement, eine Beleuchtungsquelle, die konfiguriert ist, um ein Pumplicht zu erzeugen, und ein Kollektorelement. Das Gasbehälterelement ist so konfiguriert, dass es ein Volumen eines Gasgemischs aufnimmt. Das Kollektorelement ist so konfiguriert, dass es das Pumplicht von der Pumpquelle in das Volumen des in dem Gasbehälterelement enthaltenen Gasgemischs fokussiert, um ein Plasma innerhalb des Gasgemischvolumens zu erzeugen, das Breitbandstrahlung emittiert. Das Gasgemisch filtert eine oder mehrere ausgewählte Wellenlängen der vom Plasma emittierten Strahlung.

公开(公告)号：EP2780679A4

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：EP12850675

申请日：2012-11-13

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： SOLARZ RICHARD

IPC: G01K11/20 ,  G01N21/66 ,  G01N21/71 ,  H01L21/66 ,  H01L33/32 ,  H01L33/44 ,  H05B33/10

CPC classification number: G01R31/44 ,  G01N21/66 ,  G01N21/71 ,  H01L33/32 ,  H01L33/44 ,  H05B33/10