Abstract:
Eine integrierte Schaltungsanordnung zum Steuern und Messen von elektrischem Strom wird bereitgestellt. Die integrierte Schaltungsanordnung weist eine Haupttransistoranordnung auf, die zum Steuern eines Hauptstroms konfiguriert ist, und eine Vielzahl von Messtransistoranordnungen, die zum Steuern eines kombinierten Messstroms konfiguriert sind. Die Haupttransistoranordnung und die Vielzahl von Messtransistoranordnungen sind mit einem gemeinsamen Gate-Knoten verbunden. Der Einschaltwiderstand der Haupttransistoranordnung ist niedriger als ein kombinierter Einschaltwiderstand der Vielzahl von Messtransistoranordnungen. Die Messtransistoranordnungen sind über zumindest einen Abschnitt der integrierten Schaltung verteilt, um einen Einfluss von zumindest einer lokalen Eigenschaft der integrierten Schaltungsanordnung auf den kombinierten Messstrom zu reduzieren.
Abstract:
Eine integrierte Schaltung (IC) -Struktur kann eine oder mehrere auf Graben basierte Halbleitervorrichtungen, z. B. Feldeffekttransistoren (Trench-FETs), mit einem vorderseitigen Drain-Kontakt enthalten. Jede Halbleiteranordnung kann eine Epitaxieschicht, einen dotierten Source-Bereich in der Epitaxieschicht, einen mit dem Source-Bereich gekoppelten vorderseitigen Source-Kontakt, ein in einem Graben in der Epitaxieschicht ausgebildetes Poly-Gate und einen sich durch den Poly-Gate-Graben erstreckenden und vom Poly-Gate isolierten vorderseitigen Drain-Kontakt umfassen. Die Anordnung kann einen Driftbereich vom Schnittpunkt der Oberfläche des Poly-Gates / des unteren Source-Bereichs zum vorderseitigen Drain-Kontakt definieren. Der Driftbereich kann sich innerhalb der Epitaxieschicht befinden, ohne sich in ein darunter liegendes Grundsubstrat oder eine Übergangsschicht zu erstrecken. Die Tiefe des vorderseitigen Drain-Kontakts kann gewählt werden, um die Durchbruchspannung der jeweiligen Anordnung zu beeinflussen. Zusätzlich können die vorderseitigen Drain-Kontakte ermöglichen, dass die IC-Struktur flip-chipmontiert oder gepackt wird.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zum Ausbilden eines Dünnschichtwiderstands (TFR) in einer integrierten Schaltungs- (IC-) Vorrichtung bereitgestellt. Ein TFR-Film wird über einer IC-Struktur, die IC-Elemente und IC-Elementkontakte beinhaltet, ausgebildet und getempert. Über dem TFR-Film wird eine Oxiddeckschicht ausgebildet, die während eines TFR-Ätzens des TFR-Films als Hartmaske wirkt, um ein TFR-Element zu definieren, was die Verwendung einer Fotomaske eliminieren und dadurch das Entfernen von Fotomaskenpolymer nach dem Ätzen eliminieren kann. TFR-Kantenabstandshalter können über Seitenkanten des TFR-Elements ausgebildet werden, um solche TFR-Elementkanten zu isolieren. TFR-Kontaktöffnungen werden in die Oxiddeckschicht über dem TFR-Element geätzt, und eine Metallschicht wird über der IC-Struktur ausgebildet und erstreckt sich in die TFR-Kontaktöffnungen, um Metallkontakte zu den IC-Elementkontakten und dem TFR-Element auszubilden.
Abstract:
At least one N-well implant having a different doping level is formed in a silicon substrate (202; 402) by first creating a "zero" layer (222) by etching the substrate with an alignment target (220) for aligning future process masks thereto. This alignment target is outside of any active device area. By using at least one N-well (204b; 404a) implant having a different doping level in combination with the substrate, a graded junction in the drift area (204b, 204a; 404a, 402) of a metal oxide semiconductor (MOS) field effect transistor (FET) can be created and a pseudo LDD structure may be realized thereby.
Abstract:
A method for manufacturing a Power Metal - Oxide - Semiconductor Field-Effect-Transistor (MOSFET) has the steps of: implanting a base region (150) of the Power MOSFET within an epitaxial layer (130) of a semiconductor chip comprising an insulated gate structure (180), implanting a source link region (162) on one side of the gate through a first mask (180, 210) defining a first window, wherein the first mask is partially formed by an edge of the gate structure, the source link extending from a surface into the epitaxial layer and having a width defined by the first window, subsequently forming a spacer (230) extending from the edge of the gate (structure) which defines the first window and forming a second mask (230, 240) which is partially formed by the spacer, and implanting a source region (160) through the second mask.
Abstract:
A vertical diffused metal oxide semiconductor (DMOS) field-effect transistor (FET), has a cell structure with a substrate (115); an epitaxial layer or well (110) of the first conductivity type on the substrate; first and second base regions (120, 125) of the second conductivity type arranged within the epitaxial layer or well and spaced apart by a predefined distance; first and second source regions (130) of a first conductivity type arranged within the first and second base region, respectively; a gate structure (140,145) insulated from the epitaxial layer or well by an insulation layer and arranged above the region between the first and second base regions and covering at least partly the first and second base region, wherein the gate structure comprises first (140) and second (145) gates being spaced apart wherein each gate covers a respective portion of the base region.
Abstract:
A method for manufacturing a Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor (MOSFET) has the step of implanting a base region of said MOSFET within an epitaxial layer of a semiconductor chip comprising an insulated gate structure used as a masking element, wherein the implant beam is angled with respect to a vertical axis of the semiconductor chip such that the base region extends sufficiently under the gate to form a Power-MOSFET.
Abstract:
A method for producing a power field effect transistor (FET) device having a low series resistance between the drain and source when switched on has the steps of: forming vertical power FET in a semiconductor die; and back-grinding the semiconductor die to thickness of less than or equal to about 100 µm (4 mils) or less.