公开(公告)号：WO2010151466A3

公开(公告)日：2011-11-17

申请号：PCT/US2010038790

申请日：2010-06-16

Applicant: MKS INSTR INC ,  NAGARKATTI SIDDHARTH ,  TIAN FENG ,  LAM DAVID ,  RASHID ABDUL ,  BENZERROUK SOUHEIL ,  BYSTRYAK ILYA ,  MENZER DAVID ,  SCHUSS JACK J ,  AMBROSINA JESSE E

Inventor： NAGARKATTI SIDDHARTH ,  TIAN FENG ,  LAM DAVID ,  RASHID ABDUL ,  BENZERROUK SOUHEIL ,  BYSTRYAK ILYA ,  MENZER DAVID ,  SCHUSS JACK J ,  AMBROSINA JESSE E

IPC: H02J17/00

CPC classification number: H03K5/01 ,  H03F3/189 ,  H03F3/217 ,  H03F2200/105 ,  H03F2200/375 ,  H03F2200/387 ,  H03G3/3047

Abstract: A method for controlling pulsed power that includes measuring a first pulse of power from a power amplifier to obtain data. The method also includes generating a first signal to adjust a second pulse of delivered power, the first signal correlated to the data to minimize a power difference between a power set point and a substantially stable portion of the second pulse. The method also includes generating a second signal to adjust the second pulse of delivered power, the second signal correlated to the data to minimize an amplitude difference between a peak of the second pulse and the substantially stable portion of the second pulse.

Abstract translation: 一种用于控制脉冲功率的方法，包括从功率放大器测量第一功率脉冲以获得数据。 该方法还包括产生第一信号以调整输出功率的第二脉冲，第一信号与数据相关，以最小化功率设定点与第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差。 该方法还包括产生第二信号以调整传递功率的第二脉冲，第二信号与数据相关，以最小化第二脉冲的峰值与第二脉冲的基本上稳定的部分之间的幅度差异。

公开(公告)号：DE112009004435B4

公开(公告)日：2021-04-22

申请号：DE112009004435

申请日：2009-04-13

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： BENZERROUK SOUHEIL ,  NAGARKATTI SIDDHARTH P ,  COWE ANDREW ,  SHAJII ALI ,  AMBROSINA JESSE E ,  TRAN KEN ,  CHEN XING

IPC: H01J37/32

Abstract: Verfahren zum Zünden eines Plasmas in einem reaktiven Gasgenerator, umfassend:Bereitstellen von Energie aus einer Zündstromversorgung für eine Plasmazündschaltung;Messen eines Vorzündsignals der Plasmazündschaltung;Einstellen des einstellbaren Vorzündsteuersignals während eines Zündintervalls,wobei ein Zündintervall eine Zeitdauer ist, in welcher erwartet wird, dass das Plasma zündet undEinstellen der Energie für die Plasmazündschaltung auf der Grundlage des gemessenen Vorzündsignals und eines einstellbaren Vorzündsteuersignals..

公开(公告)号：DE112009004435T5

公开(公告)日：2012-08-09

申请号：DE112009004435

申请日：2009-04-13

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： BENZERROUK SOUHEIL ,  NAGARKATTI SIDDHARTH P ,  COWE ANDREW ,  SHAJII ALI ,  AMBROSINA JESSE E ,  TRAN KEN ,  CHEN XING

IPC: H01J37/32

Abstract: Es werden Verfahren und Vorrichtungen, einschließlich von Computerprogrammprodukten, zum Zünden und/oder Aufrechterhalten eines Plasmas in einem reaktiven Gasgenerator beschrieben. Einer Plasmazündschaltung wird Energie von einer Zündstromversorgung bereitgestellt. Es wird ein Vorzündsignal der Plasmazündschaltung gemessen. Die Energie, die für die Plasmazündschaltung bereitgestellt wird, wird auf der Grundlage des gemessenen Vorzündsignals und eines einstellbaren Vorzündsteuersignals eingestellt. Das einstellbare Vorzündsteuersignal wird eingestellt, nachdem ein Zeitintervall abgelaufen ist.

公开(公告)号：GB2479702A

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：GB201114777

申请日：2009-04-13

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： BENZERROUK SOUHEIL ,  NAGARKATTI SIDDHARTH P ,  COWE ANDREW ,  SHAJII ALI ,  AMBROSINA JESSE E ,  TRAN KEN ,  CHEN XING

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/24

Abstract: Described are methods and apparatuses, including computer program products, for igniting and/or sustaining a plasma in a reactive gas generator. Power is provided from an ignition power supply to a plasma ignition circuit. A pre-ignition signal of the plasma ignition circuit is measured. The power provided to the plasma ignition circuit is adjusted based on the measured pre-ignition signal and an adjustable pre-ignition control signal. The adjustable pre-ignition control signal is adjusted after a period of time has elapsed.

公开(公告)号：GB2487829A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：GB201201091

申请日：2010-06-16

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： NAGARKATTI SIDDHARTH P ,  TIAN FENG ,  LAM DAVID ,  RASHID ABDUL ,  BENZERROUK SOUHEIL ,  MENZER DAVID ,  SCHUSS JACK J ,  AMBROSINA JESSE E ,  BYSTRYAK ILYA

IPC: G05F1/66

Abstract: A method for controlling pulsed power that includes measuring a first pulse of power from a power amplifier to obtain data. The method also includes generating a first signal to adjust a second pulse of delivered power, the first signal correlated to the data to minimize a power difference between a power set point and a substantially stable portion of the second pulse. The method also includes generating a second signal to adjust the second pulse of delivered power, the second signal correlated to the data to minimize an amplitude difference between a peak of the second pulse and the substantially stable portion of the second pulse.

公开(公告)号：SG176979A1

公开(公告)日：2012-02-28

申请号：SG2011095833

申请日：2010-06-16

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： NAGARKATTI SIDDHARTH ,  TIAN FENG ,  LAM DAVID ,  RASHID ABDUL ,  BENZERROUK SOUHEIL ,  BYSTRYAK ILYA ,  MENZER DAVID ,  SCHUSS JACK J ,  AMBROSINA JESSE E

Abstract: A method for controlling pulsed power that includes measuring a first pulse of power from a power amplifier to obtain data. The method also includes generating a first signal to adjust a second pulse of delivered power, the first signal correlated to the data to minimize a power difference between a power set point and a substantially stable portion of the second pulse. The method also includes generating a second signal to adjust the second pulse of delivered power, the second signal correlated to the data to minimize an amplitude difference between a peak of the second pulse and the substantially stable portion of the second pulse.

公开(公告)号：GB2479702B

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：GB201114777

申请日：2009-04-13

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： BENZERROUK SOUHEIL ,  NAGARKATTI SIDDHARTH P ,  COWE ANDREW ,  SHAJII ALI ,  AMBROSINA JESSE E ,  TRAN KEN ,  CHEN XING

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/24

Abstract: Described are methods and apparatuses, including computer program products, for igniting and/or sustaining a plasma in a reactive gas generator. Power is provided from an ignition power supply to a plasma ignition circuit. A pre-ignition signal of the plasma ignition circuit is measured. The power provided to the plasma ignition circuit is adjusted based on the measured pre-ignition signal and an adjustable pre-ignition control signal. The adjustable pre-ignition control signal is adjusted after a period of time has elapsed.

公开(公告)号：DE112010002708T5

公开(公告)日：2012-07-05

申请号：DE112010002708

申请日：2010-06-16

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： TIAN FENG ,  LAM DAVID ,  SCHUSS JACK J ,  NAGARKATTI SIDDHARTH ,  RASHID ABDUL ,  BENZERROUK SOUHEIL ,  BYSTRYAK ILYA ,  MENZER DAVID ,  AMBROSINA JESSE E

IPC: H02J17/00

Abstract: Ein Verfahren zur Steuerung einer gepulsten Leistung (Pulsleistung), das ein Messen eines ersten Pulses von einem Leistungsverstärker umfasst, um Daten zu gewinnen. Das Verfahren enthält auch das Erzeugen eines ersten Signals, um einen zweiten Puls der abgegebenen Leistung anzupassen, wobei das erste Signal mit den Daten korreliert ist, um einen Leistungsunterschied zwischen einem Leistungssollwert und einem im Wesentlichen stabilen Teil des zweiten Pulses zu minimieren. Das Verfahren umfasst auch ein Erzeugen eines zweiten Signals, um den zweiten Puls der abgegebenen Leistung anzupassen, wobei das zweite Signal mit den Daten korreliert ist, um einen Amplitudenunterschied zwischen einem Peak des zweiten Pulses und dem im Wesentlichen stabilen Teil des zweiten Pulses zu minimieren.

公开(公告)号：SG173883A1

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：SG2011062056

申请日：2009-04-13

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： BENZERROUK SOUHEIL ,  NAGARKATTI SIDDHARTH P ,  COWE ANDREW ,  SHAJII ALI ,  AMBROSINA JESSE E ,  TRAN KEN ,  CHEN XING

Abstract: Described are methods and apparatuses, including computer program products, for igniting and/or sustaining a plasma in a reactive gas generator. Power is provided from an ignition power supply to a plasma ignition circuit. A pre-ignition signal of the plasma ignition circuit is measured. The power provided to the plasma ignition circuit is adjusted based on the measured pre-ignition signal and an adjustable pre-ignition control signal. The adjustable pre-ignition control signal is adjusted after a period of time has elapsed.