ALD-Beschichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben einer ALD-Beschichtungsanlage

    公开(公告)号:DE102014100832A1

    公开(公告)日:2015-07-30

    申请号:DE102014100832

    申请日:2014-01-24

    Abstract: Es wird eine ALD-Beschichtungsanlage (100) mit einem Vorratsbehälter (1) für ein metallorganisches Ausgangsmaterial (6), einem Zwischenbehälter (5) für eine Teilmenge (12) des metallorganischen Ausgangsmaterials (6) angegeben, wobei der Zwischenbehälter (5) eine Vorrichtung (2) zum Aufheizen des metallorganischen Ausgangsmaterials (6) aufweist, der Zwischenbehälter (5) über ein erstes Mehrwegeventil (10) dem Vorratsbehälter (1) nachgeordnet ist, und der Zwischenbehälter (5) über ein zweites Mehrwegeventil (20) mit einer Prozesskammer (7) und über ein drittes Mehrwegeventil (30) mit einer Auffangkammer (8) verbunden ist.

    ORGANISCHES OPTOELEKTRONISCHES BAUTEIL UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG

    公开(公告)号:DE102011079101A1

    公开(公告)日:2013-01-17

    申请号:DE102011079101

    申请日:2011-07-13

    Inventor: BAISL RICHARD

    Abstract: Organisches optoelektronisches Bauteil und Verfahren zu dessen Herstellung Eine Ausführungsform der Erfindung beschreibt ein organisches optoelektronisches Bauteil (1), umfassend: – ein Substrat (5), – eine erste Elektrode (6), die auf dem Substrat (5) angeordnet ist, – eine zweite Elektrode (8), – einen organischen Schichtenstapel (7), der zumindest eine organische aktive Schicht umfasst und zwischen erster und zweiter Elektrode (6, 8) angeordnet ist, und – eine zumindest im Strahlengang (20) des Bauteils angeordnete erste UV-Strahlung absorbierende Schicht (10), die ein Metalloxid umfasst und die für sichtbares Licht transparent ist.

    Element zur Stabilisierung eines optoelektronischen Bauelements, Verfahren zur Herstellung eines Elements und optoelektronisches Bauelement

    公开(公告)号:DE102012220586A1

    公开(公告)日:2014-05-15

    申请号:DE102012220586

    申请日:2012-11-12

    Abstract: Es wird ein Element (1) zur Stabilisierung eines optoelektronischen Bauelements (7) angegeben, wobei das Element (1) einen Grundkörper (1C) aufweist, wobei der Grundkörper (1C) aus einem Glas besteht oder zumindest ein Glas aufweist und wobei der Grundkörper (1C) eine erste und eine zweite Oberfläche (1A, 1B) aufweist. Die erste und die zweite Oberfläche (1A, 1B) liegen einander gegenüber und erstrecken sich jeweils entlang einer lateralen Haupterstreckungsrichtung des Elements (1), wobei zumindest an einer der Oberflächen (1A, 1B) eine Schutzschicht (2A, 2B) ausgebildet ist und wobei die Schutzschicht (2A, 2B) derart ausgebildet und angeordnet ist, dass in dem Grundkörper (1C) vorhandene Risse (3) durch ein Material der Schutzschicht (2A, 2B) aufgefüllt sind. Ferner wird ein Verfahren zur Herstellung eines Elements (1) zur Stabilisierung eines optoelektronischen Bauelements (7) angegeben. Ferner wird ein optoelektronisches Bauelement (7) angegeben.

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