Verfahren und Vorrichtung zum Heizen von Halbleitermaterial

    公开(公告)号:DE102010033943A1

    公开(公告)日:2012-02-16

    申请号:DE102010033943

    申请日:2010-08-11

    Inventor: SCHMID CHRISTIAN

    Abstract: Es wird ein Verfahren zum Heizen von Halbleitermaterial (2) angegeben, bei dem ein Halbleitermaterial mit zumindest einem dotierten Halbleiterbereich (21, 22) relativ zu einer Induktoranordnung (3) positioniert wird und ein Wechselstrom in die Induktoranordnung (3) eingeprägt wird, so dass in dem dotierten Halbleiterbereich (21, 22) ein elektrischer Strom induziert wird. Weiterhin wird eine Vorrichtung zum Heizen von Halbleitermaterial angegeben.

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