DETECTEUR DE MATIERE BIOLOGIQUE OU CHIMIQUE ET MATRICE DE DETECTEURS CORRESPONDANTE

    公开(公告)号:FR2952183A1

    公开(公告)日:2011-05-06

    申请号:FR0957688

    申请日:2009-10-30

    Abstract: L'invention concerne un détecteur de matière biologique ou chimique, comprenant un transistor MOS dont la région de canal (30) est insérée entre des grilles isolées supérieure (32) et inférieure (25), la grille isolée supérieure comprenant une couche de détection adaptée à générer une charge à l'interface de la grille isolée supérieure et de son isolant de grille, l'épaisseur de l'isolant de grille supérieure (34) étant inférieure à l'épaisseur de l'isolant de grille inférieure (23) .

    8.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE602007004139D1

    公开(公告)日:2010-02-25

    申请号:DE602007004139

    申请日:2007-03-16

    Abstract: The method involves forming an intermediate semiconductor layer (6) above a substrate (2), where the layer contains an alloy of silicon and germanium. Source, drain and insulated gate regions (11,12,9) of a MOS transistor are formed above the semiconductor layer. The semiconductor layer is oxidized from a lower surface of the layer for increasing concentration of germanium in a channel of the transistor.

    9.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:FR2897202B1

    公开(公告)日:2008-09-12

    申请号:FR0601137

    申请日:2006-02-08

    Abstract: The process involves depositing a layer made of silicon-germanium, on an active zone of a silicon substrate (Si). A gate region (5) is formed above a mono-crystalline silicon layer. The silicon-germanium is etched to form a tunnel under the gate region, and a dielectric, e.g. nitride and oxide mixture, layer is filled in the tunnel. The dielectric layer is laterally etched to subsist a dielectric zone under the region. A metal, e.g. platinum and erbium, is deposited at the location of source and drain regions to fill an etched zone of the dielectric layer. An independent claim is also included for a Schottky barrier metal oxide semiconductor (SBMOS) transistor.

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