公开(公告)号：FR2989518A1

公开(公告)日：2013-10-18

申请号：FR1253424

申请日：2012-04-13

Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 ,  ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： ROY FRANCOIS ,  BROUSSOUS LUCILE ,  MICHELOT JULIEN ,  ODDOU JEAN-PIERRE

IPC: H01L27/146 ,  H01L21/463

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur d'image, comprenant les étapes successives suivantes : former des colonnes (38) en un matériau semiconducteur ; former un ou plusieurs pixels à une première extrémité de chacune des colonnes (38) ; et déformer la structure de telle sorte que les deuxièmes extrémités de chacune des colonnes se rapprochent ou s'écartent pour former une surface en forme de calotte polyédrique.

公开(公告)号：FR3073319A1

公开(公告)日：2019-05-10

申请号：FR1760543

申请日：2017-11-09

Applicant: ST MICROELECTRONICS GRENOBLE 2 ,  ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS ,  ST MICROELECTRONICS ROUSSET

Inventor： ARNAUD FRANCK ,  GALPIN DAVID ,  ZOLL STEPHANE ,  HINSINGER OLIVIER ,  FAVENNEC LAURENT ,  ODDOU JEAN-PIERRE ,  BROUSSOUS LUCILE ,  BOIVIN PHILIPPE ,  WEBER OLIVIER ,  BRUN PHILIPPE ,  MORIN PIERRE

IPC: H01L21/822 ,  G11C13/02

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'une puce électronique comportant des points mémoire à matériau à changement de phase (134) et des transistors (110, 112), comprenant : a) former les transistors et des premiers et deuxièmes vias (120B, 120A) s'étendant depuis des bornes (122A, 122B) des transistors et atteignant une même hauteur ; b) former un premier niveau de métal comprenant des premières pistes d'interconnexion (202) en contact avec les premiers vias (120B) ; c) former des éléments de chauffage (132) des matériaux à changement de phase sur les deuxièmes vias (120A) ; d) former les matériaux à changement de phase (134) sur les éléments de chauffage (132) ; et e) former un deuxième niveau de métal comprenant des deuxièmes pistes d'interconnexion et situé au-dessus des matériaux à changement de phase, et former des troisièmes vias (204) s'étendant des matériaux à changement de phase jusqu'aux deuxièmes pistes.