公开(公告)号：FR3018389A1

公开(公告)日：2015-09-11

申请号：FR1451833

申请日：2014-03-06

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA ,  ST MICROELECTRONICS CROLLES 2

Inventor： TRIOUX EMILIE ,  ANCEY PASCAL ,  MONFRAY STEPHANE ,  SKOTNICKI THOMAS ,  BASROUR SKANDAR ,  MURALT PAUL

IPC: H01L21/203 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/27

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication de lamelles bistables (13) de courbures différentes, chaque lamelle comprenant plusieurs portions de couches de matériaux (15, 17, 19, 21), dans lequel au moins une portion de couche particulière est déposée par un procédé de pulvérisation sous plasma dans des conditions différentes pour chacune des lamelles.

公开(公告)号：FR3018389B1

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：FR1451833

申请日：2014-03-06

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA ,  STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS

Inventor： TRIOUX EMILIE ,  ANCEY PASCAL ,  MONFRAY STEPHANE ,  SKOTNICKI THOMAS ,  BASROUR SKANDAR ,  MURALT PAUL

IPC: H01L21/203 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/27