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公开(公告)号：CN114763878B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202110057327.2
申请日：2021-01-15
Applicant: 中国科学院微电子研究所 , 真芯(北京)半导体有限责任公司
Abstract: 本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种泄漏检测件、气体管路、制造设备以及管道泄漏检测方法，该泄漏检测件用于检测管道，包括固定部和检测部，固定部用于与管道以可拆卸连接的方式连接，管道中通入气体，检测部设置在固定部上，通过检测部与气体接触的化学反应确定管道发生泄漏。根据发明实施例的泄漏检测件，通过检测部与气体接触时，发生化学反应确定管道泄漏，将微小的变化转变为肉眼可以观察到的变化，弥补了通过压力检测的方式检测范围有限的缺点，响应时间短，灵敏度高，检测成本低。确定管道出现泄漏后，对管道进行及时的维修，使气体能够完全被导入反应室中并在工件表面发生反应，进而保证集成电路产品的生产过程和品质。
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公开(公告)号：CN117038445A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202210468605.8
申请日：2022-04-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所 , 真芯(北京)半导体有限责任公司
IPC: H01L21/3105 , H01L21/311 , H10B12/00
Abstract: 本发明涉及半导体器件中BL位线的制备方法及得到的半导体器件。半导体器件中BL位线的制备方法，包括：在BL蚀刻图案上依次沉积有第一层SiN膜、第二层SiO2薄膜和第三层SiN膜，对所述第三层SiN膜进行蚀刻，所述蚀刻包括：先对SiN膜进行等离子处理，再进行蚀刻；其中，所述等离子处理采用惰性气体等离子。本发明通过等离子处理缩短了蚀刻时长，减少了SiN膜蚀刻对SiO2薄膜的损伤，有利于改善器件质量。
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公开(公告)号：CN117012602A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202210460331.8
申请日：2022-04-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所 , 真芯(北京)半导体有限责任公司
Abstract: 本发明提供的一种等离子发生装置、半导体器件清洗装置及原位清洁方法，涉及半导体技术领域，包括：等离子体产生室；微波施加装置，微波施加装置装配在等离子体产生室上；第一管线，第一管线与等离子体产生室连通，用于向等离子体产生室中通入反应气体；第二管线，第二管线与等离子体产生室连通，用于向等离子体产生室中通入含氟气体。在上述技术方案中，当该等离子体产生室内通入含氟气体以反应消除掉Si3N4膜层或者活性气体以后，此时该等离子体产生室内产生的等离子体便不会存在Si3N4膜层或者活性气体的颗粒，当将此时产生的等离子体通入随后的工艺室中，对其内部的晶圆进行清洗时，就可以避免现有技术中Si3N4膜层或者活性气体的颗粒对晶圆形成的污染。
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公开(公告)号：CN114657643B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202011549164.1
申请日：2020-12-24
Applicant: 中国科学院微电子研究所 , 真芯(北京)半导体有限责任公司
Abstract: 本申请属于半导体制造技术领域，具体涉及一种晶片处理设备。本申请的晶片处理设备包括反应室、连通管和挡板，连通管设于反应室的外部，用于连通反应室的内部与真空抽气装置，挡板设于连通管的内部，用于对流经连通管的部分气流进行遮挡，挡板上设有至少一个贯穿挡板的通气口。根据本申请的晶片处理设备，通过在挡板上设置通气口并通过挡板对流经连通管的部分气流进行遮挡，能够有效地减少抽气过程中的气流流量，从而减少反应室内反应气体的充入量，增加反应气体在反应室内的停留时间，降低生产成本。
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公开(公告)号：CN111564442B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202010280451.0
申请日：2020-04-10
Applicant: 中国科学院微电子研究所 , 真芯(北京)半导体有限责任公司
IPC: H10B12/00
Abstract: 本申请涉及半导体技术领域，具体涉及一种半导体结构，包括：半导体衬底，于所述半导体衬底中设置第一沟槽以及第二沟槽；所述第二沟槽设置于第一沟槽之间；栅叠层结构，填充于所述第一沟槽的下部；沟槽隔离结构，设置于所述第二沟槽内，且所述沟槽隔离结构包括空气隙。由于空气的介电常数较小，这样所述空气隙可以使所述沟槽隔离结构的介电常数减小，从而降低相邻字线的耦合作用，达到降低了相邻的有源区之间的行锤击效应，提高了半导体器件的可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114678360A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202011553616.3
申请日：2020-12-24
Applicant: 中国科学院微电子研究所 , 真芯(北京)半导体有限责任公司
IPC: H01L27/108 , H01L21/8242
Abstract: 本发明提供的一种掩埋沟道阵列晶体管及其制造方法，涉及半导体技术领域，包括衬底，衬底上包括栅沟槽；栅介质层位于栅沟槽的内壁上；功函数层位于栅沟槽的下部且位于栅介质层的表面上；栅电极层位于栅沟槽的下部，并且栅电极的顶面低于功函数的顶面；盖层位于栅沟槽中且位于栅电极层上。在上述技术方案中，在该掩埋沟道阵列晶体管中，功函数层在沟槽深度方向的高度大于栅电极层的高度，因此可以有效的改善栅极诱导漏极泄漏电流的增加，改善动态随机存储器的刷新特性。
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公开(公告)号：CN114566422A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202011358807.4
申请日：2020-11-27
Applicant: 中国科学院微电子研究所 , 真芯(北京)半导体有限责任公司
IPC: H01L21/02 , H01L27/108
Abstract: 本发明涉及一种半导体结构及其有源区的制备方法。一种半导体结构中有源区的制备方法，包括：在蚀刻有沟槽的半导体基底上沉积非晶硅，形成从沟槽底部至顶部的非晶硅层；对所述非晶硅层进行原位低温氧化；所述原位低温氧化的温度为600～700℃，氧化气体采用H2与O2以1:2～10的体积比混合而成；在所述原位低温氧化之后再所述沟槽上沉积氧化物层。本发明在沉积非晶硅之后和沉积氧化层之前对非晶硅进行低温氧化，可以避免沉积氧化层时非晶硅残留的问题，从而避免引起的器件缺陷，还省去了沉积氧化层后氧化非晶硅的工序。
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公开(公告)号：CN104934325A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201410105802.9
申请日：2014-03-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H01L21/336 , H01L21/265
Abstract: 本发明提供一种半导体器件的掺杂方法，其特征在于，包括：提供半导体结构；在半导体结构上形成氧化物薄膜，所述氧化物薄膜为B2O3或P2O5；进行热退火，退火温度高于600℃，以使得氧化物薄膜中的掺杂粒子扩散至半导体结构中；去除残余氧化物薄膜。本发明在实现保型掺杂的同时，不会对半导体结构造成损伤，减少不必要的损伤，减少漏电，提高了器件的性能。
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公开(公告)号：CN103578942A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310559750.8
申请日：2013-11-12
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H01L21/266
CPC classification number: H01L21/266
Abstract: 本发明公开了一种带有选择性截止层的碳化硅高温离子注入掩模的制造方法，包括：清洗碳化硅衬底；在碳化硅衬底上采用热氧化的方法生长离子注入牺牲层薄膜；采用LPCVD方法在得到的离子注入牺牲层薄膜上生长用于控制刻蚀工艺的选择性截止层；采用外延或者生长的方法，在选择性截止层上形成绝缘介质掩蔽层；在绝缘介质掩蔽层上匀光刻胶，并光刻显影出选择性离子注入区域窗口；从选择性离子注入区域窗口对绝缘介质掩蔽层进行干法刻蚀或者腐蚀直至选择性截止层的表面；继续刻蚀或腐蚀直至离子注入牺牲层表面，并去掉光刻胶，获得超薄离子注入牺牲层薄膜。此种制作掩模的方法适用于碳化硅SBD、JBS二极管、MOSFET器件以及其他需要使用高温高能量离子注入的碳化硅器件。
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公开(公告)号：CN103560078A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310570937.8
申请日：2013-11-13
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H01L21/04 , H01L21/266
CPC classification number: H01L21/0465
Abstract: 本发明公开了一种精确控制碳化硅高温离子注入掩模陡直性的方法，包括：清洗碳化硅外延衬底；在碳化硅外延衬底表面生长足以抵挡高温高能量离子注入的高温离子注入掩蔽层；在高温离子注入掩蔽层上生长用于控制刻蚀工艺的刻蚀阻挡层；在刻蚀阻挡层上涂敷光刻胶，采用光刻显影技术在刻蚀阻挡层表面形成选择性高温离子区域窗口；从选择性高温离子区域窗口依次对刻蚀阻挡层和高温离子注入掩蔽层进行刻蚀直至碳化硅外延衬底的表面；去除光刻胶及剩余的刻蚀阻挡层，得到侧壁光滑、陡直、可控的厚介质离子注入掩蔽层。本发明精确的对刻蚀面进行角度控制，得到侧壁光滑、陡直的厚介质离子注入掩蔽层，保证了选择性离子注入区域内的均一性良好、可控性强。
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