制造半导体芯片的方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105590898A

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201510764757.2

    申请日:2015-11-10

    CPC classification number: H01L33/0095 B28D5/022 B28D5/029 H01L21/78 H01S5/0202

    Abstract: 本发明提供了一种制造半导体芯片的方法,所述方法包括步骤:形成位于衬底正面一侧的沟槽;以及利用旋转切割件从衬底背面一侧形成位于所述衬底背面一侧的与所述位于正面一侧的沟槽连通的沟槽并将所述衬底划片为多个半导体芯片,所述旋转切割件具有比所述位于正面一侧的沟槽的入口部分的宽度更厚的厚度,其中在具有不含顶面的锥形末端形状的所述切割件的顶部在沟槽宽度方向上的变化范围随着所述切割件的磨损而从被包括在所述位于正面一侧的沟槽中的范围变为离开所述位于正面一侧的沟槽的范围的制造条件下,在所述变化范围从被包括在所述位于正面一侧的沟槽中的范围变为离开所述位于正面一侧的沟槽的范围之前,停止使用所述切割件。

    制造半导体芯片的方法以及定位切割部件的方法

    公开(公告)号:CN105702626B

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201510756077.6

    申请日:2015-11-09

    Abstract: 本发明提供一种制造半导体芯片的方法以及定位切割部件的方法,制造半导体芯片的方法包括:沿着基板的切割区域在正面侧形成沟槽以及比正面侧的沟槽深的凹部,并且凹部用作用于切割部件的定位标记,切割部件沿着正面侧的沟槽从基板的背面执行切割;在基板的背面,使基板变薄以到达凹部而不到达正面侧的沟槽;利用在基板的背面露出的凹部作为定位标记,从基板的背面定位切割部件;以及利用被定位的切割部件从基板的背面侧朝向基板的正面侧的沟槽来执行切割。

    制造半导体芯片的方法
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105590898B

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201510764757.2

    申请日:2015-11-10

    Abstract: 本发明提供了一种制造半导体芯片的方法,所述方法包括步骤:形成位于衬底正面一侧的沟槽;以及利用旋转切割件从衬底背面一侧形成位于所述衬底背面一侧的与所述位于正面一侧的沟槽连通的沟槽并将所述衬底划片为多个半导体芯片,所述旋转切割件具有比所述位于正面一侧的沟槽的入口部分的宽度更厚的厚度,其中在具有不含顶面的锥形末端形状的所述切割件的顶部在沟槽宽度方向上的变化范围随着所述切割件的磨损而从被包括在所述位于正面一侧的沟槽中的范围变为离开所述位于正面一侧的沟槽的范围的制造条件下,在所述变化范围从被包括在所述位于正面一侧的沟槽中的范围变为离开所述位于正面一侧的沟槽的范围之前,停止使用所述切割件。

    发光装置、光学装置及信息处理装置

    公开(公告)号:CN111834887A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN202010080557.6

    申请日:2020-02-05

    Abstract: 一种发光装置、光学装置及信息处理装置,与在发光元件阵列的驱动元件侧设置电路元件的结构相比,容易使驱动元件与发光元件阵列靠近。发光装置具备:配线基板;发光元件阵列,具有彼此对置的第1侧面及第2侧面和连接该第1侧面与该第2侧面的彼此对置的第3侧面及第4侧面,且设置于所述配线基板上;驱动元件,设置于所述第1侧面侧的所述配线基板上,并驱动所述发光元件阵列;第1电路元件及第2电路元件,在所述第2侧面侧的所述配线基板上向沿该第2侧面的方向排列设置;及配线部件,设置于所述第3侧面侧及所述第4侧面侧,且从所述发光元件阵列的上表面电极朝向该发光元件阵列的外侧延伸。

Patent Agency Ranking