半导体激光器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1440098A

    公开(公告)日:2003-09-03

    申请号:CN03106059.5

    申请日:2003-02-19

    CPC classification number: H01S5/028

    Abstract: 一种半导体激光器,它包括在衬底上形成的活性层和将活性层夹在中间的一对包层。在半导体激光器的谐振器端面102、104的至少一个面上有添加氢的第一介质膜109,在第一介质膜和谐振器端面之间设有防止氢扩散的第二介质膜108。这样当半导体激光器暴露于高温状态时,即使端面镀膜层中有添加氢的膜,端面镀膜脱离和端面镀膜变质的现象也能得到抑制。

    半导体激光器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1245788C

    公开(公告)日:2006-03-15

    申请号:CN03106059.5

    申请日:2003-02-19

    CPC classification number: H01S5/028

    Abstract: 一种半导体激光器,它包括在衬底上形成的活性层和将活性层夹在中间的一对包层。在半导体激光器的谐振器端面102、104的至少一个面上有添加氢的第一介质膜109,在第一介质膜和谐振器端面之间设有防止氢扩散的第二介质膜108。这样当半导体激光器暴露于高温状态时,即使端面镀膜层中有添加氢的膜,端面镀膜脱离和端面镀膜变质的现象也能得到抑制。

    半导体激光器的制造方法

    公开(公告)号:CN1319228C

    公开(公告)日:2007-05-30

    申请号:CN200410087416.8

    申请日:2004-09-01

    Abstract: 一种制造半导体器的方法。作为用电介质膜涂覆谐振腔的端面的制备步骤,对作为端面的半导体叠层结构的解理面进行等离子体清洗以阻止吸收激光的导电膜粘附在解理面。在等离子体清洗期间,将含有氩气和氮气的第一处理气体引入真空的ECR溅射装置。在不施加电压的情况下将解理面暴露于处于等离子体态的第一处理气体中一段时间之后,引入含有氩气和氧气的第二处理气体,并当对硅靶施加电压时,将解理面暴露于处于等离子体态的第二处理气体中。

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