弹性波元件
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101669285B

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN200880013992.4

    申请日:2008-05-09

    CPC classification number: H03H9/0222

    Abstract: 本发明的弹性波元件,具备:压电基板、设置于压电基板上的梳形电极、覆盖梳形电极的氧化硅膜、设置于氧化硅膜上的氮氧化硅膜。氧化硅膜的膜厚H和在压电基板传播的弹性波的波长λ满足H/λ≥0.15的关系。该弹性波元件抑制弹性波的传播特性的变动,具有高可靠性。

    弹性波元件
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101669285A

    公开(公告)日:2010-03-10

    申请号:CN200880013992.4

    申请日:2008-05-09

    CPC classification number: H03H9/0222

    Abstract: 本发明的弹性波元件,具备:压电基板、设置于压电基板上的梳形电极、覆盖梳形电极的氧化硅膜、设置于氧化硅膜上的氮氧化硅膜。氧化硅膜的膜厚H和在压电基板传播的弹性波的波长λ满足H/λ≥0.15的关系。该弹性波元件抑制弹性波的传播特性的变动,具有高可靠性。

    电子部件以及采用该电子部件的电子器械

    公开(公告)号:CN1736025A

    公开(公告)日:2006-02-15

    申请号:CN200380107526.X

    申请日:2003-12-24

    Abstract: 本发明涉及一种电子部件,以改善温度特性及电特性为目的。为了达到所述目的,本发明的电子部件具有基片(1)、设置在基片(1)上表面的梳状电极(2)和覆盖该梳状电极(2)且顶面有凹凸形状的保护膜(4)。设定各参数,使得当设保护膜(4)的凹凸形状的每组凹凸的间距宽度为L,保护膜(4)的凹凸形状的每组凹凸的凸部(4a)宽度为L1,凹部(4b)宽度为L2,梳状电极(2)的每组电极的间距宽度为p,构成梳状电极(2)的每根电极指的宽度为p1,电极指间的宽度为p2时,满足L1≤p1且L2≥p2(此时,满足L≒p、p1+p2=p、L1+L2=L的关系)。

    弹性表面波元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1977451B

    公开(公告)日:2011-11-30

    申请号:CN200580021291.1

    申请日:2005-06-29

    CPC classification number: H03H3/10 Y10T29/49002

    Abstract: 本发明提供一种电子元件及其制造方法,通过在电极上形成保护膜而具有良好的温度特性及电特性。该电子元件包括,基片;被设置在基片的上面、具有相互平行排列的多根电极指的梳型电极;以及形成于基片的上面可覆盖该梳型电极的保护膜。保护膜为凹凸形状,具有在与各电极指相对应的位置为向上方凸出的凸部、和在这些凸部之间为向下方凹陷的凹部。而且,与电极指的延伸方向相垂直的方向的保护膜的剖面形状,在各凸部的顶部彼此之间为向下凸的曲线。

    声表面波器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101379700B

    公开(公告)日:2012-04-04

    申请号:CN200780004897.3

    申请日:2007-02-14

    Abstract: 本发明提供一种声表面波器件(10),其具有:含有铌酸锂的基板(1);设置在基板的上表面且由多个电极指(22a)构成的梳型电极(22);以及覆盖梳型电极(22)并且上表面具有凹凸形状的保护膜(4)。而且,当梳型电极(22)的每个间距的间距宽度为p,每个电极指(22a)的宽度为p1,电极指(22a)间的宽度为p2,梳型电极(22)的厚度为h时,满足如下关系:p1+p2=p和h/(2×p)≥4.5%。根据此结构,可以获得能够实现适当的反射特性且具有良好的温度特性和电特性的声表面波器件(10)。

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