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公开(公告)号：CN107631712A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710592508.9
申请日：2017-07-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明涉及测量探针和测量装置。一种探针，其包括：可动板，其上安装有能够接触被测量物的触针，可动板能够沿X方向移位；静止板，其配置成与可动板重叠；对置板，其面对可动板和静止板；具有弹性的可动侧连接板，可动侧连接板利用第一端连接器和第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接对置板，其中，第一端连接器定位在可动板的在X方向上的第一端侧，第二端连接器定位在可动板的在X方向上的第二端侧；以及静止侧连接板，其连接静止板和对置板。第一端连接器的在与X方向正交的Y方向上的全长与第二端连接器的在Y方向上的全长尺寸相同。
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公开(公告)号：CN108662996A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810259347.6
申请日：2018-03-27
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明提供一种能够发挥不依赖于测量姿势的马达驱动特性的测头。测头(10)包括以能够相对于外部的移动装置(100、200)装拆的方式设置的第1测量轴线用的第1滑动机构(50)、以能够移动的方式保持于该第1滑动机构(50)的第2测量轴线用的第2滑动机构(60)、以能够移动的方式保持于该第2滑动机构(60)的第3测量轴线用的第3滑动机构(70)、以能够移动的方式保持于该第3滑动机构(70)的探头(20)、将各滑动机构(50、60、70)的滑动件部(51、61、71)和引导部(52、62)连接起来的气缸(55、65、75)、以及与该测头(10)的测量姿势相应地分别变更向各气缸(55、65、75)供给的空气压力的自动调压调节器(57、67、77)。
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公开(公告)号：CN1707248A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN200510076671.7
申请日：2005-06-13
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B11/2433 , G01B11/002
Abstract: 一种载物台装置，它具有：放置玻璃(210)，在其上表面上具有大致平面的载物面(211)，在该载物面(211)上放置有规定工件(W)；面状的面发光体(220)，它设置在放置玻璃(210)的下表面的大致整面上，透过放置玻璃(210)而对工件(W)进行透射照明；支承部(300)，它支承面发光体(220)下表面侧的多个点，并通过分别调整所支承各点的高度而调整载物面(211)的平面度。
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公开(公告)号：CN107121086A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710102550.8
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/30 , G01B5/003 , G01B5/012 , G01B5/061 , G01B5/12 , G01B9/02 , G01B9/02041 , G01B11/0608 , G01B11/12 , G01B11/2441 , G01B11/303 , G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种表面构造测量装置，该表面构造测量装置包括：使具有内壁的可测物体沿XY平面位移的X轴位移机构和Y轴位移机构；以非接触方式测量内壁的表面构造的测量传感器；使测量传感器沿与XY平面正交的Z轴方向位移并使测量传感器面向内壁的Z轴位移机构；使面向内壁的测量传感器沿内壁的法向位移的W轴位移机构；以及使面向内壁的测量传感器沿内壁位移的θ轴位移机构。
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公开(公告)号：CN102564368A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110294229.7
申请日：2011-09-26
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供坐标测量用测头单元及坐标测量机。坐标测量用测头单元(10)小型、廉价，能够进行高速的高精度测量，机床中的机上测量、输送线等中的现场(观察)测量容易，坐标测量用测头单元(10)具有：驱动部件(X轴驱动部14、Y轴驱动部16、Z轴驱动部18)，用于通过计算机数值控制使探头(12)沿相互正交的多个驱动轴线移动，使探头与测量对象(8)抵接来测量测量对象(8)的尺寸；一体化而成的壳体(13)，用于容纳该驱动部件(14、16、18)；安装部件(安装面20)，设置在该壳体(13)的任一侧面上，用于将上述驱动部件(14、16、18)的任一个安装在支承体(固定在基座30上的支架32上的支承件34)上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108662996B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN201810259347.6
申请日：2018-03-27
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明提供一种能够发挥不依赖于测量姿势的马达驱动特性的测头。测头(10)包括以能够相对于外部的移动装置(100、200)装拆的方式设置的第1测量轴线用的第1滑动机构(50)、以能够移动的方式保持于该第1滑动机构(50)的第2测量轴线用的第2滑动机构(60)、以能够移动的方式保持于该第2滑动机构(60)的第3测量轴线用的第3滑动机构(70)、以能够移动的方式保持于该第3滑动机构(70)的探头(20)、将各滑动机构(50、60、70)的滑动件部(51、61、71)和引导部(52、62)连接起来的气缸(55、65、75)、以及与该测头(10)的测量姿势相应地分别变更向各气缸(55、65、75)供给的空气压力的自动调压调节器(57、67、77)。
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公开(公告)号：CN107631712B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201710592508.9
申请日：2017-07-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明涉及测量探针和测量装置。一种探针，其包括：可动板，其上安装有能够接触被测量物的触针，可动板能够沿X方向移位；静止板，其配置成与可动板重叠；对置板，其面对可动板和静止板；具有弹性的可动侧连接板，可动侧连接板利用第一端连接器和第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接对置板，其中，第一端连接器定位在可动板的在X方向上的第一端侧，第二端连接器定位在可动板的在X方向上的第二端侧；以及静止侧连接板，其连接静止板和对置板。第一端连接器的在与X方向正交的Y方向上的全长与第二端连接器的在Y方向上的全长尺寸相同。
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公开(公告)号：CN102564368B
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201110294229.7
申请日：2011-09-26
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供坐标测量用测头单元及坐标测量机。坐标测量用测头单元(10)小型、廉价，能够进行高速的高精度测量，机床中的机上测量、输送线等中的现场(观察)测量容易，坐标测量用测头单元(10)具有：驱动部件(X轴驱动部14、Y轴驱动部16、Z轴驱动部18)，用于通过计算机数值控制使探头(12)沿相互正交的多个驱动轴线移动，使探头与测量对象(8)抵接来测量测量对象(8)的尺寸；一体化而成的壳体(13)，用于容纳该驱动部件(14、16、18)；安装部件(安装面20)，设置在该壳体(13)的任一侧面上，用于将上述驱动部件(14、16、18)的任一个安装在支承体(固定在基座30上的支架32上的支承件34)上。
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公开(公告)号：CN100520375C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200510076671.7
申请日：2005-06-13
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B11/2433 , G01B11/002
Abstract: 一种载物台装置，它具有：放置玻璃(210)，在其上表面上具有大致平面的载物面(211)，在该载物面(211)上放置有规定工件(W)；面状的面发光体(220)，它设置在放置玻璃(210)的下表面的大致整面上，透过放置玻璃(210)而对工件(W)进行透射照明；支承部(300)，它支承面发光体(220)下表面侧的多个点，并通过分别调整所支承各点的高度而调整载物面(211)的平面度。
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