碳化硅晶片以及碳化硅晶片的制备方法

    公开(公告)号:CN112746324A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202010530643.2

    申请日:2020-06-11

    Abstract: 本发明涉及碳化硅晶片以及碳化硅晶片的制备方法。晶片是具有基于(0001)面呈从0度到15度中选择的角度的偏角的晶片,测量点是将所述晶片的表面以10mm以下的一定间隔划分的多个地点,目标区域是共享所述晶片的中心并且半径为所述晶片半径的70%圆的内部区域,所述测量点位于所述目标区域,所述测量点的摇摆曲线具有峰和半峰宽,ω角的平均值是目标区域中测量点的峰具有的ω角的平均值,所述半峰宽是基于所述ω角的平均值的值,所述目标区域包括95%以上的测量点,其半峰宽为‑1.5到1.5度。可以精确地控制晶体生长的温度梯度,并且可以提供具有优异特性的单晶碳化硅晶片。

    碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法以及其生长系统

    公开(公告)号:CN112746314A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202010530647.0

    申请日:2020-06-11

    Abstract: 本发明涉及碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法以及其生长系统。碳化硅晶锭的制备方法,其特征在于,包括:准备步骤,准备包括具有内部空间的坩埚本体的坩埚组件,原料装入步骤,将原料装入所述坩埚组件中,而将碳化硅晶种放置在距所述原料间隔规定距离的位置,及生长步骤,通过将所述坩埚组件的内部空间调整为晶体生长气氛,以蒸气的方式传输所述原料,使其沉积在所述碳化硅晶种,从而制备从所述碳化硅晶种生长的碳化硅晶锭,所述坩埚本体的密度的范围为1.70至1.92g/cm3。可以通过控制坩埚的特性来控制在晶锭生长过程中由蒸气传输的气体的过饱和度。本发明提供了能够制备具有更好特性的碳化硅晶锭的生长系统、碳化硅晶锭、由其制备的晶片等。

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