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公开(公告)号：CN102077051B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200980124818.1
申请日：2009-01-16
Applicant: 株式会社SNU精密
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/0675
Abstract: 本发明涉及厚度或表面形貌检测方法，根据本发明的厚度或表面形貌检测方法，利用白色光干涉计检测层叠在基底层上的薄膜层的厚度或表面形貌，其包括以下步骤：设置多个具有不同厚度的假想的薄膜层样品，并对各个薄膜层样品模拟出干涉信号，以形成与每一个厚度对应的模拟干涉信号的步骤；向所述薄膜层照射白色光，获得相对于入射到所述薄膜层的光轴方向的实际干涉信号的步骤；根据所述实际干涉信号，形成可能成为所述薄膜层厚度的多个厚度估算值的步骤；对具有与所述厚度估算值对应的厚度的模拟干涉信号与所述实际干涉信号进行比较并判断是否基本一致的步骤；以及将与所述实际干涉信号基本一致的模拟干涉信号的厚度确定为所述薄膜层的厚度的步骤。
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公开(公告)号：CN101641178B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200780046687.0
申请日：2007-06-15
Applicant: 株式会社SNU精密
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/067
Abstract: 本发明涉及一种通过使用激光束来加工工件表面的激光加工装置。该激光加工装置包括：用于发射激光束的激光束发生单元；以及具有多个微镜的微镜器件，这些微镜被配置成以将所述工件的表面加工成所需形状的模式，将从所述激光束发生单元发射的激光束中的至少一部分激光束反射和传递到工件的表面。其中，所述微镜器件的微镜能够有选择地转换由所述激光束发生单元发射的激光束的光路。根据本发明，可用激光束将工件表面加工成二维或三维的所需形状。
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公开(公告)号：CN101802545B
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200880104955.4
申请日：2008-08-11
Applicant: 株式会社SNU精密
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2518
Abstract: 提供了一种利用LCD的三维形貌测量装置，将正弦波图案形成在测量物上，借此用摄像机及上述正弦波图案获得测量物的影像信息，然后分析影像信息来测得测量物的形貌，所述装置包括LCD投影仪，该LCD投影仪包括：向前方照射光的光源；位于光源的前方，产生具有多个相位和多个周期的正弦波图案的LCD面板；配置在LCD面板的前方及后方的偏转板；隔开配置在LCD面板的前方，使由LCD面板产生的正弦波图案成像在测量物上的第一聚焦透镜；以及支承上述光源、LCD面板、偏转板及第一聚焦透镜的壳体。
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公开(公告)号：CN101836153A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200980100216.2
申请日：2009-01-16
Applicant: 株式会社SNU精密
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G01N21/956 , G01N2021/8822 , G01N2021/9513 , G02F1/1303
Abstract: 本发明涉及暗场检测装置，包括：照明单元，向基板上的被检物体发射光线；反射单元，将被所述被检物体反射后射入的光线或者透射所述基板射入的光线重新反射到所述被检物体；及摄像单元，利用从所述被检物体散射过来的光线拍摄所述被检物体。其中，所述照明单元、反射单元及摄像单元的配置要满足：由所述照明单元发射的光线中部分光线被所述被检物体散射到所述摄像单元，由所述照明单元发射的光线中另一部分光线则射入所述反射单元，而被所述反射单元重新反射到所述被检物体的光线则被所述被检物体散射后射入所述摄像单元。
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公开(公告)号：CN101802543A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200880106944.X
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社SNU精密
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及一种厚度测定装置，包括：第一分光器，用于反射或透射从光源照射的光或者由被测对象反射的光；第一透镜部，用于向被测对象会聚光，并生成与所述由被测对象反射到的光存在光路径差的基准光；第二透镜部，用于向被测对象会聚光；干涉光检测器，其与所述第一透镜部相对应形成光路径，并测出通过由所述被测对象反射的光和所述基准光所产生的干涉信号；分光检测器，其与所述第二透镜部相对应形成与通过所述干涉光检测器形成的光路径不同的光路径，并分光由所述被测对象反射的光，以检测出被分光的光的强度和波长；及光路径变换部，有选择地向干涉光检测器或者分光检测器中的其中一侧传送光。第一透镜部和第二透镜部可在光路径上交换位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105301015B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201510435019.3
申请日：2015-07-22
Applicant: 株式会社SNU精密
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明涉及一种图案缺陷检查方法，该图案缺陷检查方法利用对主板通过光学系统多次拍摄后进行结合而成的主图像，能够容易地检查基板上形成的缺陷，其中包括：准备步骤，准备不存在缺陷的主板；登记步骤，利用光学系统，对所述主板的彼此不同的区域进行多次拍摄并进行结合后，登记为主图像；拍摄步骤，对在检查对象基板中推定为存在缺陷的检查区域，通过所述光学系统，以与所述主图像相同的倍率进行拍摄后，登记为检查图像；及匹配步骤，对所述主图像与所述检查图像进行匹配后，检索所述检查区域内的缺陷。
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公开(公告)号：CN105543778A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510707277.2
申请日：2015-10-27
Applicant: 株式会社SNU精密
IPC: C23C14/04
Abstract: 本发明涉及一种沉积用掩模安装装置，本发明的沉积用掩模安装装置为在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模的装置，其特征在于，包括：基底，用于在其上面的安装位置上安装所述掩模；及安装部，设置在所述基底上，形成有用于安装所述掩模的下面的安装面和对所述掩模的侧面进行加压的加压面，在所述安装部中，所述加压面与在安装所述掩模时下降的安装面联动而对所述掩模进行加压，从而将所述掩模移送至安装位置上。由此，本发明提供一种沉积用掩模安装装置，其结构简单，并且在无需额外动力的情况下，在安装部件上安装掩模时，将掩模自动安装在安装位置上。
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公开(公告)号：CN104205405A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201380009667.1
申请日：2013-02-14
Applicant: 株式会社SNU精密
Inventor： 尹铉植
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/5253
Abstract: 本发明涉及一种薄膜封装装置，通过喷嘴向基板上喷射从外界供给的单体而封装薄膜，其特征在于，包括：壳体，内部设置有收容空间，并且设置有供所述单体从所述喷嘴喷向基板的开口部；头部，接收所述单体并将所述单体收容在内部，能够旋转地设置在所述壳体的内部的所述收容空间中，所述头部的外周面形成有所述喷嘴，当所述喷嘴位于与所述开口部对应的位置上时，喷射所述单体；门部，在所述头部的外周面上与所述喷嘴在圆弧方向上隔开设置，在至少一个以上的表面上形成有斜面，被设置为能够在上下方向上移动，当位于与所述开口部对应的位置上时，关闭所述开口部；及导向件，设置在所述壳体和所述头部之间，隔开于所述开口部的一侧而被设置为至少一个以上，通过与形成在所述门上的斜面接触，沿所述开口部开放或者关闭的方向引导所述门。由此，提供一种随着头部在壳体内部的旋转，能够选择性地开放喷嘴而喷射单体，或者关闭形成在壳体上的开口部而将单体与外界隔离，从而防止单体固化的薄膜封装装置。
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公开(公告)号：CN102077051A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200980124818.1
申请日：2009-01-16
Applicant: 株式会社SNU精密
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/0675
Abstract: 本发明涉及厚度或表面形貌检测方法，根据本发明的厚度或表面形貌检测方法，利用白色光干涉计检测层叠在基底层上的薄膜层的厚度或表面形貌，其包括以下步骤：设置多个具有不同厚度的假想的薄膜层样品，并对各个薄膜层样品模拟出干涉信号，以形成与每一个厚度对应的模拟干涉信号的步骤；向所述薄膜层照射白色光，获得相对于入射到所述薄膜层的光轴方向的实际干涉信号的步骤；根据所述实际干涉信号，形成可能成为所述薄膜层厚度的多个厚度估算值的步骤；对具有与所述厚度估算值对应的厚度的模拟干涉信号与所述实际干涉信号进行比较并判断是否基本一致的步骤；以及将与所述实际干涉信号基本一致的模拟干涉信号的厚度确定为所述薄膜层的厚度的步骤。
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公开(公告)号：CN101946154A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200980105530.X
申请日：2009-02-10
Applicant: 株式会社SNU精密
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/245 , G01N21/89
Abstract: 公开了一种用于检测各种类型的检测目标的视觉检测系统以及使用该视觉检测系统对检测目标进行检测的检测方法。该视觉检测系统包括具有其上放置检测目标的台子的工件台、多个行扫描照相机和配置为处理检测目标的扫描图像的计算机。每一个具有标记台坐标值的多个标记提供于台子的上表面上，以使得行扫描照相机能够获得标记的扫描图像。每两个相邻的标记放置于每个行扫描照相机的视场内。第一和最末标记之间的标记以使得在每两个相邻的行扫描照相机的视场重叠内的方式分别放置。检测方法使用标记图像坐标值和工件图像坐标值计算工件图像-台坐标值，并当工件图像-台坐标值落入关于工件台坐标值的允许的容差范围内时，确定检测目标为合格。
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