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公开(公告)号：CN108604008B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201680081520.7
申请日：2016-12-13
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 反射镜驱动装置(100)的一对梁部在俯视观察下以夹着反射体(11M)的方式与反射体(11M)相连。一对梁部包括：以夹着反射体(11M)的方式与反射体直接相连的一对第一梁(11BL1、11BR1)；以及与一对第一梁(11BL1、11BR1)的与反射体(11M)相反的一侧连结的一对第二梁(11BL2、11BR2)。在第一梁(11BL1、11BR1)的主表面上隔着压电材料相互空出间隔地排列多个电极(14)。第一梁(11BL1、11BR1)沿着与主表面交叉的方向能够相互向反方向位移。一对第二梁(11BL2、11BR2)在将第一梁(11BL1、11BR1)与第二梁(11BL2、11BR2)连结的沿着第二梁(11BL2、11BR2)的主表面的方向上能够位移。
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公开(公告)号：CN101231303B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200710306261.6
申请日：2007-11-09
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01P15/125
Abstract: 提供一种加速度传感器。第1和第2检测框以能够以第1和第2扭转轴为中心转动的方式被支撑在基板上。第1连接梁，在与第1扭转轴交叉且向着第1检测框的其中一端部方向移动第1扭转轴而得到的轴上，连接到第1检测框。第2连接梁，在与上述方向相反的方向偏移第2扭转轴而得到的轴上，连接到第2检测框。惯性质量块分别通过第1和第2连接梁与第1和第2检测框连接，由此，可在基板的厚度方向产生位移地被支撑在基板上。从而能够得到基本免受外界干扰影响的高精度的加速度传感器。
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公开(公告)号：CN110709752B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201880037019.X
申请日：2018-01-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(1)具备光源(10)、基板(13)、反射构件(20)、驱动部(25)及控制部(30)。在基板(13)一体化有扫描镜(15)和姿态检测部(18)。姿态检测部(18)输出与基板(13)的姿态角对应的第一信号(31)。反射构件(20)反射由扫描镜(15)反射后的光束(11)。驱动部(25)能够调整反射构件(20)相对于基板(13)的主面(13m)的斜率。控制部(30)基于第一信号(31)控制驱动部(25)。因此，能够与光扫描装置(1)相对于水平面(45)的斜率无关地稳定地维持来自光扫描装置(1)的光束(11)相对于水平面(45)的出射角度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111819486A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201880090386.6
申请日：2018-12-17
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 提供即使使扫描范围变化也能够将空间分辨率保持成恒定的光扫描装置(100)。光扫描装置(100)具备：光源(101)，发出光；扫描镜(106)，为利用反射面反射从光源入射的光的扫描镜(106)，能够绕通过反射面内的第1轴以及与第1轴正交且通过反射面内的第2轴分别独立地振动；以及控制部(103)，控制扫描镜(106)的绕第1轴振动的第1频率以及第1振幅以及绕第2轴振动的第2频率以及第2振幅，扫描被扫描镜(106)的反射面反射的光。控制部(103)根据副扫描方向的最大扫描角来控制第2频率。
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公开(公告)号：CN110892306A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201880030193.1
申请日：2018-03-16
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(100)具备：镜部(1)，具有对光进行反射的镜面(1B)；N个支撑梁(2-1)～(2-4)，能够摇动地支撑镜部(1)；N个驱动梁(3-1)～(3-4)；以及驱动用的多个压电元件(5-i-a～d(i＝1～4))，被粘结到N个驱动梁上。通过将对多个压电元件(5-i-a、b、c、d)的各个提供的交流电压的频率设为确定的共同的值，将对多个压电元件(5-i-a、b、c、d)的各个提供的交流电压的相位设为与各压电元件的位置对应的确定的值，镜部(1)进动。
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公开(公告)号：CN110462485A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201780088680.9
申请日：2017-12-01
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(1)具备镜子(3)和驱动梁(7)。驱动梁(7)具备压电部(12)。在压电部(12)中，利用多个第一槽将压电体(15)划分为多个。形成为：随着接近与锚定件(11)连接的一端侧，压电体(15)的X轴方向上的长度变短，且形成为：随着接近与连杆梁(9)连接的另一端侧，压电体(15)的X轴方向上的长度变短。
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公开(公告)号：CN108604008A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201680081520.7
申请日：2016-12-13
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 反射镜驱动装置(100)的一对梁部在俯视观察下以夹着反射体(11M)的方式与反射体(11M)相连。一对梁部包括：以夹着反射体(11M)的方式与反射体直接相连的一对第一梁(11BL1、11BR1)；以及与一对第一梁(11BL1、11BR1)的与反射体(11M)相反的一侧连结的一对第二梁(11BL2、11BR2)。在第一梁(11BL1、11BR1)的主表面上隔着压电材料相互空出间隔地排列多个电极(14)。第一梁(11BL1、11BR1)沿着与主表面交叉的方向能够相互向反方向位移。一对第二梁(11BL2、11BR2)在将第一梁(11BL1、11BR1)与第二梁(11BL2、11BR2)连结的沿着第二梁(11BL2、11BR2)的主表面的方向上能够位移。
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公开(公告)号：CN102216789A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200980145175.9
申请日：2009-08-13
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 绀野伸显
IPC: G01P15/125 , H01L29/84
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P2015/0831 , G01P2015/0837
Abstract: 加速度传感器具备基板(1)和被基板(1)支承的多个加速度检测部(10)。多个加速度检测部(10)分别具有：扭转梁(11、12)，被基板(1)支承且以扭转轴线(T1、T2)为中心扭转；检测框(21、22)，以能够以扭转轴线(T1、T2)为中心进行旋转的方式被扭转梁(11、12)支承；检测电极(40)，以与检测框(21、22)相向的方式形成在基板(1)上；链接梁(31、32)，当俯视时在从扭转轴线(T1、T2)偏离了的轴线上的位置处被检测框(21、22)支承；和惯性质量体(2)，以能够在基板(1)的厚度方向上移位的方式被链接梁(31、32)支承。多个加速度检测部(10)包括第一和第二加速度检测部(10)。第一和第二加速度检测部(10)沿第一扭转轴线(T1)方向排列配置。由此能够得到对高频高加速度的振动进行抑制的高精确度的加速度传感器。
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