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公开(公告)号：CN113957397A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111232287.7
申请日：2021-10-22
Applicant: 埃频(上海)仪器科技有限公司 , 复旦大学
Abstract: 本发明公开一种脉冲激光分子束外延装置，包括靶台及控制模块。其中，靶台安装于安装法兰盘上，且包括无磁材料制成的公转平台及垂直设置于公转平台上的至少一个靶位，公转平台及靶位能够在控制模块的控制下分别绕各自的中心轴旋转，此外，各靶位之间互不干涉。同时，控制模块还可以驱动靶台的运动。
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公开(公告)号：CN113405270A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110535735.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 复旦大学
IPC: F25B9/00 , F25B49/00 , F16F15/02 , F16F15/023 , F16F15/03
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统。本发明制冷系统包括闭循环制冷机、主动式振动衰减系统、低温运行设备、低温屏蔽罩和真空腔体；主动式振动衰减系统包括固定支架、振动传感器、主动式振动衰减器和振动衰减系统控制器;主动式振动衰减器、振动传感器均与振动衰减系统控制器电连接；闭循环制冷机的制冷头伸入制冷隔振界面内，制冷头和制冷隔振界面间填充氦气，闭循环制冷机与制冷隔振界面的之间通过密封波纹管连接密封；低温运行设备放置在真空腔体内并与制冷隔振界面的低温端连接。本发明有效降低振动对低温设备运行的影响，大大提高低温设备的运行精度，且成本低，占地面积小。
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公开(公告)号：CN106679217B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201611170525.5
申请日：2016-12-16
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，液氦再凝聚致冷隔振系统和温度反馈控制系统。本发明采用闭循环制冷机系统，在几乎无氦气和液氦消耗的条件下实现低至4.2 K的低温。本发明通过液氦再凝聚致冷隔振系统生成和维持液氦，不但有效隔绝了闭循环制冷机运行时产生的低频振动，还解决了传统闭循环制冷机温度波动大的问题。本发明通过温度反馈控制系统，不但能控制再凝聚产生液氦的液面高度，还能够实现变温调控。本发明适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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公开(公告)号：CN106169416B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201610736893.5
申请日：2016-08-29
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L21/027
Abstract: 本发明属于微纳加工技术领域，具体为一种极紫外掩模的制造方法。本发明首先将极紫外掩模的总版图拆分并且添加电子束光刻对准标记，在基板衬底上旋涂光刻胶后使用激光直写技术制作大面积微米尺度胶掩蔽图形和电子束光刻对准标记胶掩蔽图形，然后刻蚀铬金属膜吸收层，之后去除光刻胶并清洗基板，再旋涂电子束光刻胶，利用对准标记进行精确定位的电子束直写得到纳米尺度图形的胶掩蔽图形，然后用反应离子各向异性刻蚀吸收体材料铬，之后去除电子束光刻胶，最后清洗并检测掩模板。本方法能制造出同时拥有高分辨率的纳米尺度图形和低分辨率的大面积微米尺度图形的极紫外掩模，弥补了单纯依靠激光直写低分辨率的缺点，解决了单纯依靠电子束直写低效率的问题。
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公开(公告)号：CN106679217A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201611170525.5
申请日：2016-12-16
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: F25B9/14 , F25B49/02 , F25B2309/1428 , F25B2500/13 , F25B2700/04 , F25B2700/21 , F25B2700/2116
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，液氦再凝聚致冷隔振系统和温度反馈控制系统。本发明采用闭循环制冷机系统，在几乎无氦气和液氦消耗的条件下实现低至4.2 K的低温。本发明通过液氦再凝聚致冷隔振系统生成和维持液氦，不但有效隔绝了闭循环制冷机运行时产生的低频振动，还解决了传统闭循环制冷机温度波动大的问题。本发明通过温度反馈控制系统，不但能控制再凝聚产生液氦的液面高度，还能够实现变温调控。本发明适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105572423A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610042953.3
申请日：2016-01-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于扫描探针显微镜技术领域，具体是一种基于无液氦消耗室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜。本发明包括无液氦消耗的室温孔超导磁体、扫描探针显微镜和计算机控制系统；所述室温孔超导磁体包括无液氦消耗的闭循环制冷机、超导磁体和具备室温孔的腔室；所述扫描探针显微镜包括扫描头、真空腔室、隔振平台。本发明采用由制冷机制冷的室温孔超导磁体，摆脱了强磁场运行对液氦的依赖；与制冷机相连的超导磁体和扫描探针显微镜之间无物理接触，制冷机的机械振动不会直接传到扫描探针显微镜上，可以实现扫描探针显微镜的原子级分辨能力；扫描探针显微镜的温度不受制于超导磁体工作运行时要求的低温条件；扫描探针显微镜及其真空腔体可以独立于超导磁体进行高温烘烤，满足实现超高真空的条件。
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公开(公告)号：CN105571190A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610002349.8
申请日：2016-01-06
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: F25B9/14 , F25B9/002 , F25B9/145 , F25B49/02 , F25B2309/001 , F25B2309/14 , F25B2309/1428
Abstract: 本发明属于极低温制冷设备技术领域，具体为一种机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统。本发明系统包括：闭循环制冷机系统，氦气热交换气致冷隔振系统，极低温节流阀制冷系统和温度反馈控制系统。本发明提供的制冷方式能够在不需要消耗液氦的条件下实现低至1.4 K（基于氦4媒质）或0.2 K（基于氦3媒质）的极低温，同时能够非常有效的隔离闭循环制冷机系统固有的机械振动；通过温度反馈控制系统能够实现变温调控。本发明还可适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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公开(公告)号：CN118748907A
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202410785257.6
申请日：2024-06-18
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于N型碲单质半导体的非线性霍尔整流器及其制备方法。本发明制备方法包括水热法生长碲纳米片，微纳工艺将样品制成霍尔长条，蒸镀镍/金作为接触电极，整体覆盖有氧化铝薄膜用于载流子浓度调节与器件保护。本发明的整流器依托于非线性霍尔效应产生的谐振信号与整流信号，在经过氧化铝调节后，可以将P型碲调控为N型碲，进一步通过施加背栅压，费米能级接近导带底Weyl点，得到很强的非线性霍尔整流信号。本发明得到的碲的器件在室温下表现出很高性能的整流电压响应度，可达1.7×106 V/W。
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公开(公告)号：CN113957406A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111231934.2
申请日：2021-10-22
Applicant: 埃频(上海)仪器科技有限公司 , 复旦大学
Abstract: 本发明公开一种用于制备氧化物薄膜的加热装置，其采用连续光纤激光器作为光源，包括真空腔体以及激光调节模块。其中，真空腔体至少包括设置于其内部的样品架、放置于样品架上的样品托、以及设置于真空腔体表面的视窗。样品托上设置有碳化硅吸收片，其用于放置样品。激光调节模块包括光纤准直镜以及扩束透镜。光纤准直镜、扩束透镜、视窗以及样品托沿激光光路依次设置，且光纤准直镜设置于扩束透镜的焦点处。
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公开(公告)号：CN108417709B
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201810111023.8
申请日：2018-02-05
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于多值存储和逻辑运算技术领域，具体为一种集多值存储与逻辑运算于一体的器件单元及其操作方法。本发明器件单元包括由复杂强关联氧化物薄膜制备成的微纳米线、生长薄膜的衬底以及在其表面微纳加工得到的多对侧栅电极。当在侧栅电极上施加多对电压，可局域调控复杂强关联氧化物微纳米线金属绝缘体转变，实现多值信息存储。同时在该器件上可实现“非”、“与非”、“或非”等逻辑运算。采用电场调控读写数据，有利于降低器件存储单元功耗，同时将多值存储和逻辑运算集于同一器件单元，可简化器件结构，提高集成度。采用不同对电极写入数据，有利于独立的对各对电极进行调控和优化。
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