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公开(公告)号：CN102331241A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110196297.X
申请日：2011-07-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤：向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案，接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案，将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化，以检测受光图像的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案的亮暗周期的偏离，根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状，在该表面形状的评价方法中，在位于上述第一表面相反侧的第二表面配置抑制到达该第二表面的光发生反射的反射抑制层。
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公开(公告)号：CN106946465A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201611027590.2
申请日：2016-11-17
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种从衬纸向玻璃基板表面的异物的转印(附着)得到抑制的玻璃基板。所述玻璃基板是由硅酸盐玻璃构成的玻璃基板，其特征在于，从该玻璃基板的表面的Zeta电位减去通过对该玻璃基板进行蚀刻处理而得到的外部标准的玻璃基板的表面的Zeta电位而得到的值(ΔZeta电位)为－15mV以上。
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公开(公告)号：CN106233433A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201580019805.3
申请日：2015-04-15
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/6776 , H01L21/67086 , H01L21/67173
Abstract: 蚀刻装置(100)包括：蚀刻槽(110)，具有基板搬入口(111)及基板搬出口(112)；搬运装置(112)搬运基板(500)；喷嘴(130)，设置在蚀刻槽(110)的内部，向由搬运装置(120)搬运的基板500的背面(510)喷吹反应气体；及气流控制装置(140)，设置在蚀刻槽(110)的内部，抑制从基板搬入口(111)及基板搬出口(112)流入到蚀刻槽(110)的内部的外部气体向基板(500)的背面(510)与喷嘴(130)之间的间隙(131)的流入。(120)，从基板搬入口(111)朝向基板搬出口
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104620306A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201380046986.X
申请日：2013-08-19
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G09F9/30 , B32B7/02 , B32B17/06 , G02F1/1333
CPC classification number: C03C17/007 , C03C17/002 , C03C2217/42 , C03C2217/77 , G02B1/00 , G02B2207/121 , G09F9/30 , B32B7/02 , B32B17/068 , G02F1/1333 , G02F2001/133302
Abstract: 本发明提供一种与吸附台接触的一侧的表面与吸附台的接触面积足够小的显示器用玻璃基板及其制造方法。一种显示器用玻璃基板，其具有在玻璃基板(2)上附着有微粒(3)的一面(21)，且所述一面(21)的粗糙度Ra为0.5～10nm。微粒(3)的平均粒径优选为50nm以下。微粒(3)优选为包含金属氧化物的微粒。
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公开(公告)号：CN102666010A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080057688.7
申请日：2010-12-15
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B24B7/06 , B24B7/24 , B24B27/033 , B24B29/00
Abstract: 不影响玻璃板（G）的被研磨面上的表面缺陷（17）的产生状况地改善研磨工序的运转效率。提供一种研磨方法，关于在工作台（2）上由吸附片（3）吸附的玻璃板（G）的表面缺陷（17），预先检查其面内的Y轴方向的分布状态，与表面缺陷（17）少的区域即研磨道（LA）相比，在表面缺陷（17）更多存在的区域即研磨道（LB）上配置更多个对玻璃板（G）的表面进行研磨的研磨头（5），使玻璃板（G）沿着X轴方向移动，而对其表面进行研磨的研磨方法。
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公开(公告)号：CN102589474A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110420450.2
申请日：2011-12-13
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤：向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案，接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案，将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化，以检测受光图像中的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期的偏离，根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状，在该表面形状的评价方法中，向上述第一表面照射的上述图案的光的波长是200nm～380nm。
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公开(公告)号：CN102458766A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080024409.7
申请日：2010-06-01
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 在使板状体沿着规定的方向移动并利用自转的研磨工具对板状体进行研磨的板状体的研磨方法中，使所述研磨工具的自转方向在规定时间反转。
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公开(公告)号：CN102445168A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010502721.4
申请日：2010-09-30
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种以廉价的装置结构，能够除去背面反射图像的影响，高精度地检查表面形状的特性的检查方法及检查装置。首先，作为透明板状体(3)(被检查物体)适用的条纹图案，决定以透明板状体的表面形成的反射图像和透明板状体的背面形成的反射图像在通过拍摄而得到的图像信号分离的方式设定的、具有明暗图案的条纹图案(1)。其后，使用所决定的条纹图案(1)，只用条纹图案(1)的由透明板状体(3)的表面形成的反射图像，通过图像分析对透明板状体(3)的表面形状进行评价。
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