公开(公告)号：CN102754212A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201180001792.9

申请日：2011-03-17

Applicant: 松下电器产业株式会社 ,  松下液晶显示器株式会社

Inventor： 永井久雄 ,  堀田定吉 ,  河内玄士朗

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L29/78636 ,  H01L29/41733 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78666 ,  H01L29/78675 ,  H01L29/78696

Abstract: 本发明提供一种可得到充分的载流子迁移率的薄膜晶体管装置及其制造方法。将源电极(110)或漏电极(120)与硅层(130)及(140)层叠而成的膜厚是与将第1沟道层(150)和第2沟道层(160)层叠而成的膜厚相同的相同值或相同值的邻域值的范围内的膜厚，将第1沟道层(150)和第2沟道层(160)层叠而成的膜厚在源电极(110)及漏电极(120)之间的区域、以及源电极(110)及漏电极(120)的上方是相同膜厚，第1沟道层(150)和第2沟道层(160)沿着源电极(110)及漏电极(120)之间的形状在源电极(110)及漏电极(120)之间的区域凹陷，栅电极(180)具有与源电极(110)及漏电极(120)重叠的区域。

公开(公告)号：CN101258786B

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN200680032251.1

申请日：2006-09-01

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 奥村智洋 ,  伊藤裕之 ,  佐佐木雄一朗 ,  冈下胜己 ,  水野文二 ,  中山一郎 ,  置田尚吾 ,  永井久雄

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H01J37/321

Abstract: 实现了均匀性出色的等离子体掺杂。当预定气体从气体供应设备引入真空容器时，该真空容器通过排气孔藉由作为排气装置的涡轮分子泵被排气，且通过压力调节阀在真空容器内维持预定压力。通过将13.56MHz的高频功率从高频电源供应到置为与样品电极对立的介电质窗口附近的线圈，由此在真空容器内产生感应耦合等离子体。介电质窗口是由多个介电质板组成，且槽形成于相互对立的至少两个介电质板的至少一侧内。气体通道由该槽和其对立的平坦表面形成，且设置于最靠近样品电极的介电质板内的气体排出口被允许连通介电质窗口内的槽。从气体排出口引入的气体的流速可以独立地被控制，且处理的均匀性可以提高。

公开(公告)号：CN101111362A

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200680003303.2

申请日：2006-11-13

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 永井久雄 ,  吉田英博 ,  古川贵之 ,  井上隆史

IPC: B29C67/00 ,  B05C5/00 ,  B05C9/12 ,  B05D1/26 ,  B05D3/02 ,  B81C5/00

CPC classification number: B81C99/0095 ,  B01J19/0046 ,  B01J2219/00378 ,  B01J2219/00527 ,  B01J2219/00585 ,  B01J2219/00596 ,  B01J2219/00644 ,  B01J2219/00711 ,  B01L3/502707 ,  B29C64/112 ,  B41M3/006 ,  B41M7/0081 ,  B41M7/009 ,  B81B2203/0361 ,  B81C1/0046 ,  B82Y30/00 ,  H05K3/0079 ,  H05K2203/013

Abstract: 本发明的目的是使用喷墨印刷技术等，制造较高纵横尺寸比的三维结构物。具体地说，就是将含有溶剂以及分散在所述溶剂中的聚合物颗粒且粘度为100cps以下的溶液的液滴，从喷嘴朝向基板喷出；将光照射到所述液滴上，蒸发所述溶剂，并且，熔化所述聚合物颗粒；使所述已熔化的聚合物颗粒在基板上堆积，由此制造出三维结构物。本发明能够应用于生物芯片等的制造。