液态微机电系统部件及其射频应用

    公开(公告)号:CN103684511B

    公开(公告)日:2016-01-13

    申请号:CN201310409833.9

    申请日:2013-09-10

    Abstract: 本发明公开了一种液态微机电系统部件及其射频应用。本发明公开了一种无线电电路,包括:前端模块,板,液态MEMS部件,以及耦接部件。前端模块被实现在至少一个集成电路(IC)晶方上,并且包括可变电路。对于无线电电路的给定操作情况,可变电路可调整以有助于前端模块的操作调整。板支撑液态微机电系统部件并且至少间接地支撑该至少一个集成电路晶方。耦接部件将液态MEMS部件电气耦接至可变电路,其中,基于控制信号,液态MEMS部件的一个或多个特性被改变,从而调整可变电路。

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