-
公开(公告)号:CN103368311A
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201310117645.9
申请日:2013-03-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H02K5/12
CPC classification number: H02K5/128 , F04D17/08 , F04D25/06 , F04D29/60 , H02K3/18 , H02K3/487 , H02K2005/1287
Abstract: 本发明提供一种封闭电动机,能够将树脂制的容器的厚度降低。与真空泵连结且作为真空泵的旋转驱动源而使用的封闭电动机具有:定子铁心;配置在定子铁心的内侧的转子;和非导电性的容器,该容器配置在定子铁心与转子之间,且将定子铁心和转子隔离,并以树脂、陶瓷、或者这些的复合材料为材料。容器通过粘结剂与定子铁心粘结。
-
公开(公告)号:CN107237752A
公开(公告)日:2017-10-10
申请号:CN201710586825.X
申请日:2013-09-30
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供干式真空泵装置和真空排气系统,在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置(5)的干式真空泵装置(1),泵单元具有干式真空泵(2)、驱动干式真空泵(2)的马达(3)、和控制马达(3)的转速的逆变器(4),控制装置(5)具有将逆变器(4)的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能,第1电流限制值是逆变器(4)能够连续流向马达(3)的电流的最大值即连续额定电流值,第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。
-
公开(公告)号:CN104214101A
公开(公告)日:2014-12-17
申请号:CN201410234030.9
申请日:2014-05-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D53/74 , B01D53/005 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , Y10T137/85978
Abstract: 本发明提供带除害功能的真空泵,不需要为了将废气处理至容许浓度以下而进行除害部的定制(根据规格改变),能够大幅缩短设计时间、验证时间,能够削减交货期,而且,与安全容许浓度相符地提供最低限度的规格,由此能够以最小限度的初始成本、使用成本来提供带除害功能的真空泵。在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理使之无害化的除害部(10),在该真空泵(1)中,准备多个类型的、废气的处理形式以及/或者废气的处理量不同的除害部,并根据从真空泵(1)排出的废气的气体量以及气体种类而从多个类型的除害部(10)中选定1台或者多台除害部(10),将所选定的除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。
-
公开(公告)号:CN101111680B
公开(公告)日:2010-12-01
申请号:CN200680003883.5
申请日:2006-04-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B49/10
CPC classification number: F04B51/00 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C2220/10 , F04C2270/80 , F04C2280/02
Abstract: 本发明提供了一种能够进行干式真空泵的自诊断的真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统。真空泵自诊断方法确定故障的发生,并且当预定的警报设定值被用于旋转所述真空泵的转子的马达的电流的积分值或平均值超过时产生警报。在用于进行真空泵的自诊断的真空泵自诊断系统中,该真空泵包括外壳和设置在外壳内的可旋转的转子,以通过转子的旋转吸入和排出气体,转子包括多级,且压力传感器设置在转子级之间。设置一自诊断单元,以计算用于旋转所述转子的马达的电流的积分值或平均值,并且当积分值或平均值超过预定警报设定值时进行真空泵的自诊断。该自诊断单元基于由所述压力传感器检测的压力值从一种自诊断计算方法转换到另一种自诊断计算方法或中断自诊断计算。
-
公开(公告)号:CN100514007C
公开(公告)日:2009-07-15
申请号:CN200610077837.1
申请日:2006-05-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G01F1/24
Abstract: 本发明公开了一种流量计,其可以以高测量精度测量流体的小流量,尺寸小,可处理各种类型的试剂,且容易制造,成本低。所述流量计包括:壳体,其具有增大部分,并垂直布置;浮子,其封闭在所述壳体的增大部分中,且至少部分具有检测表面,所述检测表面从下面流过而进入壳体中以及向上流入壳体中的流体向上推;以及至少一个位移传感器,其设置在壳体的增大部分的外面,用于通过使浮子的检测表面磁化而检测浮子的轴向位移。
-
公开(公告)号:CN1862236A
公开(公告)日:2006-11-15
申请号:CN200610077837.1
申请日:2006-05-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G01F1/24
Abstract: 本发明公开了一种流量计,其可以以高测量精度测量流体的小流量,尺寸小,可处理各种类型的试剂,且容易制造,成本低。所述流量计包括:壳体,其具有增大部分,并垂直布置;浮子,其封闭在所述壳体的增大部分中,且至少部分具有检测表面,所述检测表面从下面流过而进入壳体中以及向上流入壳体中的流体向上推;以及至少一个位移传感器,其设置在壳体的增大部分的外面,用于通过使浮子的检测表面磁化而检测浮子的轴向位移。
-
公开(公告)号:CN107237752B
公开(公告)日:2019-05-28
申请号:CN201710586825.X
申请日:2013-09-30
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供干式真空泵装置和真空排气系统,在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置(5)的干式真空泵装置(1),泵单元具有干式真空泵(2)、驱动干式真空泵(2)的马达(3)、和控制马达(3)的转速的逆变器(4),控制装置(5)具有将逆变器(4)的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能,第1电流限制值是逆变器(4)能够连续流向马达(3)的电流的最大值即连续额定电流值,第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。
-
公开(公告)号:CN104074766B
公开(公告)日:2018-08-28
申请号:CN201410116543.X
申请日:2014-03-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F23J13/00 , B01D53/68 , B01D53/76 , B01D2251/102 , B01D2257/204 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , F04B37/14 , F04C25/02 , F04C2220/30 , F23G5/32 , F23G7/065 , F23J2219/00 , F23J2900/01007 , F23L17/00
Abstract: 本发明提供带有除害功能的真空泵,通过旋转地供给可将废气和燃料充分稀薄化的量的空气而使其燃烧,能够在处理副产物不熔融或不向除害部内附着的情况下以粉体状态直接排出。本发明提供的真空泵(1),在真空泵(1)的排气口上附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理而使其无害化的除害部(10),除害部(10)在筒状体(11)的一端部侧设有将作为处理对象的废气导入的废气导入口,在另一端部侧设有将处理结束的气体排出的气体出口,在筒状体(11)的周壁上设有喷出燃料的多个燃料喷嘴(16),在筒状体的周壁上设有以沿着周壁的内周面而形成旋转流方式喷出空气的多个空气喷嘴(15),多个空气喷嘴(15)沿筒状体的轴心方向隔开间隔地多级配置。
-
公开(公告)号:CN103595165B
公开(公告)日:2018-04-10
申请号:CN201310360446.0
申请日:2013-08-15
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04D29/08 , F04C15/008 , F04C29/0085 , H02K5/12 , H02K5/225
Abstract: 本发明公开一种密封结构、包括所述密封结构的真空泵马达、以及真空泵。具体地,为了提供用于真空泵马达的以确保方式保持真空泵马达的密封性能的密封结构,提供了一种用于真空泵马达(100)的密封结构,包括导线(151a),其穿过形成在待连接到马达定子(110)的马达框架(140)中的开口部分(143)和密封开口部分(143)的密封构件(145),其中,导线(151a)包括芯线部分(154a)和覆盖所述芯线部分(154a)的覆盖部分(155a),并且密封部分(153a)形成在芯线部分(154a)的至少一部分中。
-
公开(公告)号:CN104074717B
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201410118130.5
申请日:2014-03-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D53/343 , C23C16/4412 , F04B37/06 , F04B37/14 , F23G7/065 , Y02C20/30
Abstract: 本发明提供一种带除害功能的真空泵,其能够将通过真空泵的压缩热加热了的废气的热量利用于废气的无害化处理,且能够将在除害部中进行的无害化处理中所产生的热量用于向真空泵供给的惰性气体的加热。带除害功能的真空泵是通过在真空泵(1)的排气口附设对从真空泵(1)排出的废气进行处理而使之无害化的除害部而成的真空泵(1),该真空泵(1)设有热交换器(26),该热交换器(26)使用在除害部(10)中进行废气的无害化处理时产生的热量来加热惰性气体,将由热交换器(26)加热了的惰性气体导入真空泵(1)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-