干式真空泵装置和真空排气系统

    公开(公告)号:CN107237752A

    公开(公告)日:2017-10-10

    申请号:CN201710586825.X

    申请日:2013-09-30

    CPC classification number: F04C23/02 F04C25/02 F04C28/08

    Abstract: 本发明提供干式真空泵装置和真空排气系统,在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置(5)的干式真空泵装置(1),泵单元具有干式真空泵(2)、驱动干式真空泵(2)的马达(3)、和控制马达(3)的转速的逆变器(4),控制装置(5)具有将逆变器(4)的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能,第1电流限制值是逆变器(4)能够连续流向马达(3)的电流的最大值即连续额定电流值,第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。

    真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统

    公开(公告)号:CN101111680B

    公开(公告)日:2010-12-01

    申请号:CN200680003883.5

    申请日:2006-04-07

    Abstract: 本发明提供了一种能够进行干式真空泵的自诊断的真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统。真空泵自诊断方法确定故障的发生,并且当预定的警报设定值被用于旋转所述真空泵的转子的马达的电流的积分值或平均值超过时产生警报。在用于进行真空泵的自诊断的真空泵自诊断系统中,该真空泵包括外壳和设置在外壳内的可旋转的转子,以通过转子的旋转吸入和排出气体,转子包括多级,且压力传感器设置在转子级之间。设置一自诊断单元,以计算用于旋转所述转子的马达的电流的积分值或平均值,并且当积分值或平均值超过预定警报设定值时进行真空泵的自诊断。该自诊断单元基于由所述压力传感器检测的压力值从一种自诊断计算方法转换到另一种自诊断计算方法或中断自诊断计算。

    流量计
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100514007C

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:CN200610077837.1

    申请日:2006-05-10

    CPC classification number: G01F1/28 G01F1/22

    Abstract: 本发明公开了一种流量计,其可以以高测量精度测量流体的小流量,尺寸小,可处理各种类型的试剂,且容易制造,成本低。所述流量计包括:壳体,其具有增大部分,并垂直布置;浮子,其封闭在所述壳体的增大部分中,且至少部分具有检测表面,所述检测表面从下面流过而进入壳体中以及向上流入壳体中的流体向上推;以及至少一个位移传感器,其设置在壳体的增大部分的外面,用于通过使浮子的检测表面磁化而检测浮子的轴向位移。

    流量计
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1862236A

    公开(公告)日:2006-11-15

    申请号:CN200610077837.1

    申请日:2006-05-10

    CPC classification number: G01F1/28 G01F1/22

    Abstract: 本发明公开了一种流量计,其可以以高测量精度测量流体的小流量,尺寸小,可处理各种类型的试剂,且容易制造,成本低。所述流量计包括:壳体,其具有增大部分,并垂直布置;浮子,其封闭在所述壳体的增大部分中,且至少部分具有检测表面,所述检测表面从下面流过而进入壳体中以及向上流入壳体中的流体向上推;以及至少一个位移传感器,其设置在壳体的增大部分的外面,用于通过使浮子的检测表面磁化而检测浮子的轴向位移。

    干式真空泵装置和真空排气系统

    公开(公告)号:CN107237752B

    公开(公告)日:2019-05-28

    申请号:CN201710586825.X

    申请日:2013-09-30

    Abstract: 本发明提供干式真空泵装置和真空排气系统,在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置(5)的干式真空泵装置(1),泵单元具有干式真空泵(2)、驱动干式真空泵(2)的马达(3)、和控制马达(3)的转速的逆变器(4),控制装置(5)具有将逆变器(4)的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能,第1电流限制值是逆变器(4)能够连续流向马达(3)的电流的最大值即连续额定电流值,第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。

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