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公开(公告)号：CN110052916A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910325216.8
申请日：2019-04-22
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置及加工方法，包括床身，X方向传动机构沿X轴方向固定于床身上；工作台沿X轴方向与X方向传动机构可滑动连接；真空吸盘固定于工作台顶部，用于吸附固定元件；Y方向传动机构沿Y轴方向固定于床身上；Z方向传动机构沿Y轴方向可滑动于Y方向传动机构上；B轴旋转机构一端沿Z轴方向可滑动于Z轴方向传动机构上；主轴机构一端固定于B轴旋转机构另一端，且其轴线与B轴旋转机构轴线垂直；主轴机构另一端绕Y轴方向可摆动，磨削部固定于主轴机构另一端上，且与工作台位置对应；X方向传动机构、真空吸盘、Y方向传动机构、Z方向传动机构、B轴旋转机构及主轴机构均与控制系统电性连接。
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公开(公告)号：CN109759957A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201910129998.8
申请日：2019-02-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B57/02
Abstract: 本发明涉及环抛中抛光液的循环供液装置和供液方法，装置包括供液器；供液管路，其与供液器可转换连通或截止，且其固定于环抛机的多工位桥架上；多个喷嘴，按照预设间距布置于供液管路上，且与供液管路可转换连通或截止；其中预设间距指根据光学元件在环抛机上的位置对应设置喷嘴的位置；回收桶，其连接于环抛机的抛光盘底部；回收泵，其通过管路与回收桶连通，且与供液器可转换连通或截止；及控制柜，供液器、喷嘴和回收泵均与控制柜电性连接。解决了单点供给抛光液造成的抛光液分布不均匀，导致元件表面散热速度不同，引起变形的技术问题，从而改善元件内部的非均匀温度场及其引起的变形，提高加工精度；同时循环利用抛光液可以降低加工成本。
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公开(公告)号：CN109676155A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910079068.6
申请日：2019-01-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B23B1/00
Abstract: 本发明提供一种高精度的大口径金属锡盘的位移补偿车削方法。金属锡盘的位移补偿车削方法，车刀在平移过程中增加竖直方向的位移，并通过位移补偿来实现车削结果的主动控制。本发明针对一般精度的平面研磨抛光设备，通过增加车刀在竖直方向的位移功能，实现车刀进给过程中的位移补偿，进而实现车削结果的主动控制，能通过2-3次迭代实现盘面的高精度车削；低精度的平面研磨抛光设备可以达到和高精度设备同等的车削精度，并能够适应不同尺寸抛光盘的车削要求，车削原理简单，效率较高。
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公开(公告)号：CN108908124A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810930250.3
申请日：2018-08-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B53/053 , B24B53/095 , B24B41/02 , B24B47/04
Abstract: 本发明公开了一种圆弧金刚石砂轮离线修整装置，包括：金刚石砂轮、修整砂轮、金刚石砂轮回转驱动装置、修整砂轮回转驱动装置、修整液供给装置、X轴向直线驱动装置、Y轴向直线驱动装置、Z轴向直线驱动装置和数控系统，通过数控系统实现对X轴向直线驱动装置、Y轴向直线驱动装置和Z轴向直线驱动装置的高精度圆弧插补进刀运动，和对金刚石砂轮回转驱动装置和修整砂轮回转驱动装置的稳定旋转运动控制，在修整过程中通过修整液供给装置输送过滤水修整液或含有碳化硅磨料的修整液，实现对金刚石砂轮的修形和修锐。本发明结构紧凑，利用三轴联动圆弧插补运动实现对金刚石砂轮的修形和修锐，不仅修整精度高，且加工效率高。
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公开(公告)号：CN107160242A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710604702.4
申请日：2017-07-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B1/00
Abstract: 本发明提供了一种用于控制非球面元件全频段误差的加工方法涉及非球面元件加工技术领域。一种用于控制非球面元件全频段误差的加工方法，其包括磨削成型、保形抛光、修正抛光、匀滑抛光四个步骤。磨削成型：采用超精密磨削方法进行非球面元件的直接成型，同时将亚表面缺陷控制在较低水平；保形抛光：采用高稳定性、高去除效率的子口径抛光技术，实现非球面元件的快速保形抛亮，以去除亚表面缺陷；修正抛光：采用高稳定性的子口径抛光技术快速修正非球面元件低频误差；匀滑抛光：采用匀滑抛光技术，在低频误差不被恶化的情况下，控制非球面元件中高频误差。本发明加工方法的特点在于通过多种技术耦合实现非球面元件全频段误差控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106926134A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710181800.1
申请日：2017-03-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B49/12
Abstract: 本发明提供一种非球面磨削圆弧金刚石砂轮三维形状误差的在位精密测量方法，该方法包含：1)螺旋式连续扫描测量砂轮表面各点的高度数据；2)将数据按螺旋轨迹模型进行插值拟合处理，得到砂轮表面三维几何形貌矩阵，并进行最小二乘圆弧拟合，得到砂轮圆弧半径、圆弧中心坐标和圆弧中心偏差；3)建立砂轮表面的平均三维几何形貌矩阵，并与形貌矩阵相减，得到三维误差分布矩阵、圆弧度误差和径向跳动误差；4)测量砂轮外圆周高度数据，通过最小二乘圆弧拟合，得到砂轮基础部分半径。本发明实现对圆弧金刚石砂轮所有重要几何参数的高效精密非接触式测量，测量结果可直接用于非球面光学元件超精密磨削加工砂轮运动控制点坐标的精确插补计算。
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公开(公告)号：CN109333234B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN201811476382.X
申请日：2018-12-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/005 , B24B13/00 , B24B37/27
Abstract: 本发明提供一种稳定性好的小口径光学元件的装夹装置及其方法。小口径光学元件的装夹装置，包括基板、陶瓷环、之形连接板、挡块、调节螺钉、陪抛片和分离器，所述陪抛片的数量与元件的侧面数量相匹配；所述挡块的数量与所述陪抛片的数量一致；所述陪抛片平放在基板上；所述挡块侧面设置有调节螺钉，用于固定陪抛片与元件的相对位置；所述陶瓷环和分离器通过之形连接板连接在一起；所述分离器的中心开孔，用以放置所述挡块。本发明通过陪抛片将元件紧密联合，可以实现小口径元件的快速装夹，能够适应不同外形及尺寸的元件，稳定性好，改善了小口径元件加工精度控制难、效率低的问题。
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公开(公告)号：CN109955148B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201910204249.7
申请日：2019-03-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，该装置搭载在磨削机床上，将待测光学元件放置磨削机床的工作台上，通过调节倾角调节装置使平面标准镜沿待测轮廓的倾斜角度等于待测轮廓的弦倾角，位移传感器一从待测轮廓的起始点运动至终止点，同时位移传感器二从平面标准镜的起始端运动至终端，将两位移传感器采集的数据输送至数据处理系统，通过数据处理系统计算得到待测轮廓的全频段误差，去除待测轮廓的非球面理论形貌、低频形状误差和高频粗糙度误差，得到中频波纹误差。该检测装置实现了在原有加工成形磨削机床上的在位检测，无需购置专用高精密测量仪器，也无需拆装元件，节约检测成本和检测时间。
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公开(公告)号：CN114290177B
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202111453340.6
申请日：2021-12-01
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/00 , B24B49/12 , B24B27/02 , B24B13/005 , B24B47/22
Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件磨削加工非接触式精密对刀方法，在机床工作台上安装固定光学元件的同时，在元件的旁边不影响加工的位置固定一块油石；然后使用砂轮在元件表面磨削凹坑，将激光传感器固定在机床主轴上，测量凹坑最低点在第一坐标系中的坐标，由此计算得到测头光点和砂轮最低点之间的偏移距离；并进一步获取非球面光学元件位置并建立元件‑砂轮空间位置关系。本发明砂轮和元件没有直接接触，保证了元件表面的质量，并且对刀精度达到微米级别，提高了非球面的加工精度，避免后续停机检测进行误差修整而造成的工时增加，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN114660804A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210355353.8
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于光学加工技术领域，提供了一种频域光学元件面形误差的计算方法、系统和介质，频域光学元件面形误差的计算方法，包括如下步骤：获取体积谱密度函数，所述体积谱密度函数为光学元件面形误差在各频率下所含残余误差材料体积的密度；通过在预设空间频段上对体积谱密度函数进行积分，得到光学元件在该预设空间频段下的面形误差体积。本发明提供的一种频域光学元件面形误差的计算方法、系统和介质具有效率高、精确度高的优势。
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