受激准分子灯装置
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1750230A

    公开(公告)日:2006-03-22

    申请号:CN200510099983.X

    申请日:2005-09-13

    Abstract: 提供一种即使对超过1000mm的长尺寸灯,也可简单且安全地进行更换,而可避免灯室内或输送室内被污染,可靠度较高的受激准分子灯装置。一种在灯室内收容受激准分子灯,而将来自灯的紫外线照射往外部的受激准分子灯装置,其特征在于,具备在灯室(10)内部平行排列的多个板状框架(110)、成形为大致矩形箱型且底部形成有灯收容部(125)的单元(120)和被收容于灯收容部的受激准分子灯(121),所述单元(120)被插入相对配置的框架(110、110)之间,同时可取出地被该框架(110、110)支撑。

    光清洗处理装置
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109414849A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201780041541.0

    申请日:2017-06-16

    Abstract: 本发明目的在于提供能够在短时间内执行由石英玻璃构成的模板的表面的清洗处理的光清洗处理装置。本发明的光清洗处理装置是通过紫外线对纳米压印中所使用的由石英玻璃构成的模板的表面进行清洗处理的光清洗处理装置,其特征在于,具备:处理室形成件,配置作为处理对象的模板,并形成被供给处理用气体的处理室;壳体,具有窗部件,该窗部件隔着间隙而与配置于上述处理室的上述模板相向设置并使紫外线透过;紫外线光源,配置于上述壳体内,经由上述窗部件而向上述模板照射紫外线;及加热单元,对上述模板进行加热。

    紫外线照射装置
    24.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1808686B

    公开(公告)日:2011-04-27

    申请号:CN200610006433.3

    申请日:2006-01-20

    Inventor: 广濑贤一

    Abstract: 本发明提供一种可确实检测受激准分子灯的点灯或未点灯的、具备受激准分子灯的紫外线照射装置。该紫外线照射装置,具备:放电容器,至少一部分由透射紫外线的电介质材料构成,在其内部的放电空间中填充放电用气体;受激准分子灯,具有隔着构成该放电容器的电介质材料而对置的一对电极;以及供电装置,与该一对电极电连接,并向受激准分子灯供电,其特征在于,供电装置至少与任一个电极的一端侧电连接;该紫外线照射装置具备:导光部,在有效发光区域中,与比连接了供电装置的电极一端更接近该电极另一端的区域对应地配置,使从一端入射的由受激准分子灯放射的光,从另一端射出;接收从该导光部射出的光的受光部;以及点灯检测部件。

    受激准分子灯
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100449680C

    公开(公告)日:2009-01-07

    申请号:CN200410028264.4

    申请日:2004-03-10

    Inventor: 广濑贤一

    Abstract: 本发明提供一种大尺寸的受激准分子灯,该受激准分子灯由以下部分构成:放电容器,将一端封闭、另一端开口的外侧管和内侧管配置在同轴上,并且具有在外侧管和内侧管的开口侧端部形成的侧壁部;放电用气体,被填充在形成于上述放电容器内的放电空间中;以及一对电极,其中至少一个配置在放电空间之外,该一对电极相向配置,从而将上述放电空间夹在中间,其特征在于,上述放电容器具有用于支持上述内侧管的至少一个以上的支持装置,该支持装置被固定在上述外侧管或上述内侧管的任何一个上,在该支持装置与另一个管之间具有间隙。

    受激准分子灯
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1716515A

    公开(公告)日:2006-01-04

    申请号:CN200510079181.2

    申请日:2005-06-28

    Abstract: 本发明提供一种受激准分子灯,其在外表面设置了外侧电极的放电容器内设置了内部电极,防止在从设置成在上述放电容器内覆盖内部电极的内侧管的至少一端的开放部露出的内部电极、和外侧电极之间的不期望的沿面放电。其特征在于,在放电容器内覆盖内部电极地设置的内侧管的端部,设置沿面放电防止单元,该沿面放电防止单元防止从该内侧管突出的内部电极和外侧电极之间的沿面放电。

    受激准分子灯
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1713336A

    公开(公告)日:2005-12-28

    申请号:CN200510079113.6

    申请日:2005-06-24

    Abstract: 本发明提供一种受激准分子灯,防止支撑板所致的照度降低或均匀性恶化,该支撑板用于防止双重圆筒型放电容器的内侧管的弯曲。在设于构成放电容器的内侧管与外侧管之间的、支撑该内侧管并防止其弯曲的支撑板上,朝光取出方向形成缺口。

    准分子灯泡
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1591769A

    公开(公告)日:2005-03-09

    申请号:CN200410068636.6

    申请日:2004-09-03

    Abstract: 提供一种构造简单且在放电容器处无因热膨胀所产生的破损,具有放电稳定生成的新颖的构造的准分子灯泡。由使紫外线透过的材料所构成且在内部封入放电用气体的放电容器、使此放电容器的内部朝长度方向延伸的同时对于放电容器的端部气密地封止的内侧电极、配置于放电容器的外面的外侧电极构成的准分子灯泡,其特征为:上述内侧电极,其至少在与外侧电极之间进行放电的部位的外表面,被至少一端是由在放电空间内开放的电介质材料构成的内侧管所覆盖。

    受激准分子灯
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1551289A

    公开(公告)日:2004-12-01

    申请号:CN200410028264.4

    申请日:2004-03-10

    Inventor: 广濑贤一

    Abstract: 本发明提供一种大尺寸的受激准分子灯,该受激准分子灯由以下部分构成:放电容器,将一端封闭、另一端开口的外侧管和内侧管配置在同轴上,并且具有在外侧管和内侧管的开口侧端部形成的侧壁部;放电用气体,被填充在形成于上述放电容器内的放电空间中;以及一对电极,其中至少一个配置在放电空间之外,该一对电极相向配置,从而将上述放电空间夹在中间,其特征在于,上述放电容器具有用于支持上述内侧管的至少一个以上的支持装置,该支持装置被固定在上述外侧管或上述内侧管的任何一个上,在该支持装置与另一个管之间具有间隙。

    电介质阻挡层放电灯光源装置及其供电装置

    公开(公告)号:CN1175713C

    公开(公告)日:2004-11-10

    申请号:CN99800288.7

    申请日:1999-03-04

    CPC classification number: H05B41/24 H05B41/2806 Y02B20/22

    Abstract: 一种电介质阻挡层放电灯光源装置,具有电介质阻挡层放电灯(2)和供电装置(1),所说的电介质阻挡层放电灯(2)具有填充有因电介质阻挡层放电而生成了受激准分子的放电用气体的放电等离子空间(3),并具有在用以在上述放电用气体中诱发放电现像的两电极(4,5)中的至少一个电极与上述放电用气体之间存在电介体(6,7)的结构,所述供电装置(1)用以对上述电介质阻挡层放电灯的上述电极(4,5)施加大体周期性交流高电压。其特征在于:在结束1次的放电,而灯施加电压进行朝向接下来的放电而变化时,在灯施加电压波形(Vs(t))中,在灯施加电压,经过有效放电开始电压(+Ei,-Ei)之前,具有灯施加电压进行缓慢变化的期间,而有关在结束1次放电时的电压VA与在下一次放电结束时之电压VB的电压差ΔVX,以及上述电压VA与上述灯施加电压进行缓慢变化期间结束时的电压VF的电压差ΔVy,则满足以下的关系0.3≤ΔVy/ΔVX≤0.9。

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