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公开(公告)号：CN101086620B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN200710108240.3
申请日：2007-06-04
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，X表示n-价连接基团，Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，n表示2或3，并且A+表示有机抗衡离子。本发明进一步提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101003591B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200610168220.0
申请日：2006-12-26
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C08F220/38 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08J3/075
Abstract: 本发明提供一种树脂，该树脂通过照射产生酸并且是有机阳离子和阴离子聚合物的盐，其中阴离子聚合物没有碳-碳不饱和键。本发明还提供包含该树脂的化学放大光刻胶组合物。
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公开(公告)号：CN102033426A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010291997.2
申请日：2010-09-21
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种光刻胶组合物，其包含具有酸敏基团且不溶或难溶于碱性水溶液但通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液中的树脂、产酸剂和式(I)表示的化合物：其中Z1表示C7-C20亚烷基、C3-C20二价饱和环基或通过结合至少一个C1-C6亚烷基与至少一个C3-C20二价饱和环基而形成的二价基团。
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公开(公告)号：CN1955844B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200610121843.2
申请日：2006-08-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐，式中X表示含有1至30个碳原子的无环烃的二价或三价残基，或者含有单环或双环的含有3至30个碳原子的烃的二价或三价残基，其中所述烃中的-CH2-可以被-O-取代，并且X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；Y表示羟基、氰基或甲氧基；并且n表示1或2。本发明还提供一种包含式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101125823A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200710140073.0
申请日：2007-08-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/02 , C07C381/12 , G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07D307/93 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , Y10S430/122
Abstract: 一种式(I)表示的盐，其中，X表示C1－C12二价直链或支链烃基，Y表示可以被至少一个取代基取代的C1－C30烃基，并且在所述C1－C30烃基中的至少一个－CH2－可以被－O－或－CO－取代，Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。本发明还提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN102955359A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210297407.6
申请日：2012-08-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , C07C381/12 , C07C309/17 , C07D307/00 , C07C309/12 , C07D327/08 , C07D333/46 , C07D335/02
CPC classification number: C07C381/12 , C07C309/06 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C309/17 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D307/00 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。一种光致抗蚀剂组合物，其包含在碱水溶液中难溶或不溶但是通过酸的作用可溶的树脂和由式(I)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示C1-C30三价脂族饱和烃基，其中氢原子可以用氟原子替换并且其中亚甲基可以用氧原子、-NR3-或羰基替换，其中R3表示氢原子或C1-C6烷基，W1和W2各自独立地表示C3-C36脂环烃环，其中亚甲基可以用氧原子、硫原子、-NR4-、磺酰基或羰基替换，其中R4表示氢原子或C1-C6烷基，R1和R2各自独立地表示羟基或C1-C6烷基，t1和t2各自独立地表示0至2的整数，并且Z+表示有机阳离子。
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公开(公告)号：CN101125823B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN200710140073.0
申请日：2007-08-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/02 , C07C381/12 , G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07D307/93 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , Y10S430/122
Abstract: 一种式(I)表示的盐，其中，X表示C1-C12二价直链或支链烃基，Y表示可以被至少一个取代基取代的C1-C30烃基，并且在所述C1-C30烃基中的至少一个-CH2-可以被-O-或-CO-取代，Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。本发明还提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN1955846B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200610142477.9
申请日：2006-10-26
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C381/12 , C07C25/18 , C07C309/17 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或双环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有2至6个碳原子的烯基、含有2至6个碳原子的烷氧基或含有1至4个碳原子的全氟烷基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示1至12的整数。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN102167684A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110038165.4
申请日：2011-02-12
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07D233/60 , C07D233/56 , C07D333/46 , C07C381/12 , C07C25/18 , C07C17/35 , C07C309/17 , C07C303/32 , G03F7/004
CPC classification number: C07D233/14 , C07C303/22 , C07C381/12 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C07C309/17
Abstract: 本发明公开了一种盐以及用于制备酸生成剂的方法，所述盐由式(I0)表示，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示其中一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替的二价C1-C17烃基，m表示1或2，Zm+表示m价的有机或无机阳离子。
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公开(公告)号：CN1841200B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200610077419.2
申请日：2006-03-28
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: C07C309/17 , C07C2603/74
Abstract: 适合作为酸生成剂的盐和包含该盐的化学放大型抗蚀组合物本发明提供一种式(L)的盐式(L)的盐其中Q代表-CO-基团或-C(OH)-基团；环X代表含有3-30个碳原子的单环或多环烃基，其中当Q是-C(OH)-基团时，在Q位置上的一个氢原子被一个羟基取代，或者当Q是-CO-基团时，在Q位置上的两个氢原子被＝O基取代，并且单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1-6个碳原子的烷基、含有1-6个碳原子的烷氧基、含有1-4个碳原子的全氟烷基、含有1-6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；R10和R20各自独立地表示氟原子或含有1-6个碳原子的全氟化烷基；A+表示有机平衡离子。本发明还提供一种包含式(L)的盐的化学放大型抗蚀组合物。
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