一种用于傅里叶叠层显微成像技术的光强校正方法

    公开(公告)号:CN111062889A

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201911299272.5

    申请日:2019-12-17

    Abstract: 一种用于傅里叶叠层显微成像技术的光强校正方法,能够实现图像亮度校正的效果,进而达到校正光强不一致误差的目的。包括:(1)采集原始图像,构成图像数据集;(2)设定一个图像强度倍数变化区间[A,B],将采集的原始图像对应的强度校正系数初始值定为1,变换强度校正系数数值,调整图像的强度;将初始图像强度校正系数值按照区间[A,B]内的值根据t依次变化,每次测量图像都乘以不同的强度校正系数,每次变化后都计算一次评价函数;经过若干次迭代,找到最合适的亮度倍数值;(3)对每张低分辨率图像都按照最合适的亮度倍数值调整,就完成了图像的亮度校正;(4)经过校正后的图像进行高分辨率重构,得到重构图像。

    结合可变形镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统

    公开(公告)号:CN110763139A

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201911161746.X

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 结合可变形镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统,通过部分补偿透镜和可变形镜,建立结合可变形镜共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统,可变形镜作为会聚反射镜,不需要移动会聚反射镜,避免了在非球面参数误差干涉测量方法中,需要通过移动消球差透镜组来确定被测非球面的初始位置,从而更加准确地确定被测面和部分补偿透镜的相对位置,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量,具有无需扫描系统、结构简单的优点。

    基于空间光调制器参考面的非球面干涉测量系统及方法

    公开(公告)号:CN107421436B

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201710340721.0

    申请日:2017-05-16

    Abstract: 本发明公开的基于空间光调制器参考面的非球面干涉测量系统及方法,涉及一种用于测量非球面面形的干涉测量系统及方法,属于光电检测领域。本发明的测量系统包括激光器、准直物镜、分光镜、参考镜、补偿器、待测非球面、成像物镜、CCD探测器。使用SLM作为非球面干涉测量系统的参考镜,定义为SLM参考镜。本发明还公开利用非球面干涉测量系统实现的测量方法。本发明公开要解决的技术问题为:产生与部分补偿后的非球面波前相等的非平面波前,实现零干涉测量,在继承部分补偿法对补偿器设计制造精度要求低的优点的同时,保留零补偿干涉测量法精度高的优点,此外还能够避免传统干涉测量系统中机械移相误差的引入。

    一种离轴折反式部分补偿器系统及设计方法

    公开(公告)号:CN109579739A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201910011881.X

    申请日:2019-01-07

    Abstract: 本发明涉及一种离轴折反式部分补偿器系统及设计方法,属于光电检测技术领域。该补偿器系统包括两级补偿器,系统设计优化方法利用三级像差理论建立系统全口径球差、像散关系式,结合近轴光线公式建立关于补偿器结构参数的方程组,之后结合遗传算法求解初始结构参数并在光学设计软件建模,设置优化目标、优化操作数及优化变量进行优化,实现对非旋转对称非球面表面形貌的检测。本发明系统结构简单易实现,可实现一对多的面形检测,降低补偿器的设计难度和加工成本,同时,该补偿器设计方法可有效获得初始结构全局最优值,有效避免现有光学设计软件的自身缺陷,提高非旋转对称非球面检测精度。

    一种基于非线性优化的数字莫尔条纹相位提取方法

    公开(公告)号:CN106931905B

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201710136277.0

    申请日:2017-03-09

    Abstract: 本发明涉及一种基于非线性优化的数字莫尔条纹相位提取方法,属于光学测量和图像处理技术领域。本发明建立莫尔合成光强分布图数学模型,将条纹相位作为优化变量,以实际莫尔合成图光强分布作为优化目标,将相位连续作为边界条件,经过非线性优化计算使数学模型的光强分布等同于实际莫尔合成图的光强分布,这时的条纹相位即实际莫尔合成图莫尔条纹相位。该方法无需进行低通滤波即可求得莫尔条纹相位,可避免频谱混叠情况下的滤波误差,提高相位测量精度。

    结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法

    公开(公告)号:CN109029291A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201810933104.6

    申请日:2018-08-16

    Abstract: 本发明公开的结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法,属于非球面测量领域。本发明实现方法为,获取被测非球面名义参数,利用获取被测非球面名义参数,结合光学设计软件设计并加工部分补偿透镜与消球差透镜组;根据部分补偿透镜和消球差透镜组建立结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统;利用所述系统获得最佳补偿位置变化;测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化,并计算面形变化四次分量的系数;根据联立的方程组,计算非球面的面型参数误差,即实现对非球面的面型参数误差的测量。本发明能够提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量,具有无需扫描装置、结构简单的优点。

    基于FPM的立体显微系统和配套三维面形高分重构方法

    公开(公告)号:CN106767534B

    公开(公告)日:2018-12-11

    申请号:CN201611252168.7

    申请日:2016-12-30

    Abstract: 本发明涉及基于FPM的立体显微系统和配套三维面形高分重构方法,属于显微成像、立体图形学、微纳结构表面形貌检测领域。本发明的系统包括旁轴照明系统,根据需求调制发射不同角度照明光束;光学显微系统,对被测样本进行方法成像;光场成像系统,获取被测物体不同视角或方向下的图像;图像采集及处理系统,将图像转化为数字信号并进行处理。本发明利用光场成像系统和重聚焦算法获得被测物体的深度断层切片,利用FPM算法对断层切片进行高分重构,突破了光学系统的物理限制,提高了重构立体图像的空间分辨率。

    一种基于数字微镜器件的光束角度快速调制装置

    公开(公告)号:CN108061967A

    公开(公告)日:2018-05-22

    申请号:CN201711395656.8

    申请日:2017-12-21

    CPC classification number: G02B26/0833

    Abstract: 本发明涉及一种基于数字微镜器件的光束角度快速调制装置,属于光电仪器以及计算成像系统设计领域。本发明包括数字微镜器件,对入射的光束进行空间位置区域选通调制;扩束系统,对由微镜器件出射的光束进行在准直扩束;透镜阵列与物镜系统,通过焦点重合实现光束空间区域选通调制到角度二维调制的转换;光阑,实现对平行光束的空间剪切,获取特定区域尺寸的不同角度传播平行光。本发明利用数字微镜器件的快速空间调制特性以及透镜阵列的光场角度信息获取能力,实现了空间光束二维角度快速调节的功能,不受机械器件共振频率的限制,能够实现空间光束角度调制以及编码。

    基于空间光调制器参考面的非球面干涉测量系统及方法

    公开(公告)号:CN107421436A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201710340721.0

    申请日:2017-05-16

    Abstract: 本发明公开的基于空间光调制器参考面的非球面干涉测量系统及方法,涉及一种用于测量非球面面形的干涉测量系统及方法,属于光电检测领域。本发明的测量系统包括激光器、准直物镜、分光镜、参考镜、补偿器、待测非球面、成像物镜、CCD探测器。使用SLM作为非球面干涉测量系统的参考镜,定义为SLM参考镜。本发明还公开利用非球面干涉测量系统实现的测量方法。本发明公开要解决的技术问题为:产生与部分补偿后的非球面波前相等的非平面波前,实现零干涉测量,在继承部分补偿法对补偿器设计制造精度要求低的优点的同时,保留零补偿干涉测量法精度高的优点,此外还能够避免传统干涉测量系统中机械移相误差的引入。

    用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及设计方法

    公开(公告)号:CN105466351A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201510792305.5

    申请日:2015-11-17

    CPC classification number: G01B11/2441

    Abstract: 本发明涉及一种用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及其设计方法,属于非球面检测技术领域。该补偿器包括,一个用于部分地补偿被测凸非球面的三级像差的折射式透镜和一个中心开口的球面反射镜,球面反射镜顶点位置近似位于折射式透镜的像方焦平面上,并与折射式透镜组成同轴结构,被测凸非球面与折反式部分补偿器共轴。根据光线追迹和三级像差理论,推导并计算折反式部分补偿器在检验光路中的初始结构参数,采用光学设计仿真软件作为设计平台,设置系统初始参数、优化变量、优化目标和优化操作数并进行优化,实现凸非球面反射镜全口径面形误差的检测。本发明简单快速易实现;分析全面合理;凸非球面的像差得到了很好的补偿,部分补偿器的设计难度得以简化。

Patent Agency Ranking