一种并联型R轴扩展机械臂
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102126208A

    公开(公告)日:2011-07-20

    申请号:CN201110062722.6

    申请日:2011-03-16

    Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的并联型R轴扩展机械臂,用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径变化不大而行走轨迹较为复杂时,采用并联型R轴扩展机械臂能够简化R轴的工作路径和行走轨迹,化简程序编制的难度及工作量,并能有效的提高工作效率。并联型R轴扩展机械臂的动力由独立的W/T轴电机和两个W/R轴电机提供,由计算机统一控制其工作程序;当R轴的工作轨迹在其回转半径内变化不大且呈现较为复杂状态时,并联型R轴扩展机械臂的W/T轴电机和两个W/R轴电机按计算机程序的控制,驱动执行机构开始作不同角度、不同方向的旋转,带动两个FORK组合按工作位置行进,从而额外获得以W/T轴和W/R轴为旋转中心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹,以完成特殊位置的取放硅片工作流程。

    大升降伸缩比双臂晶圆传输机械手

    公开(公告)号:CN101436562A

    公开(公告)日:2009-05-20

    申请号:CN200810209690.6

    申请日:2008-12-12

    Abstract: 大升降伸缩比双臂晶圆传输机械手,它涉及一种晶圆传输机械手。本发明解决了现有的晶圆传输机械手存在的线路及气管连接的可靠性低、使用寿命短、竖直方向行程受限制而不能满足竖直方向大伸缩比运动的需求和拆装维修不便的问题。本发明的辅助丝杠驱动总成的辅助丝杠轴的上端穿过中法兰盘并保持悬浮状态,主丝杠驱动总成的主丝杠轴的上端穿过中法兰盘、Z轴滑动支架、T轴下法兰盘、T轴上法兰盘和R轴下法兰盘并保持悬浮状态,主花键导轨总成的主花键导轨花键轴的下端与中法兰盘固接,走线模块总成设置在T轴上法兰盘和R轴下法兰盘之间。本发明具有线路及气管连接的可靠性高、使用寿命长、实现了竖直方向较大的行程和拆装维修极方便的优点。

    宏/微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位系统

    公开(公告)号:CN1731081A

    公开(公告)日:2006-02-08

    申请号:CN200510010286.2

    申请日:2005-08-26

    Abstract: 宏/微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位系统,它涉及一种平面定位系统。本发明的目的是为解决现有高速高精度定位系统在行程、速度/加速度和精度各有不足,而又各自独立的问题。本发明的X轴微动平台19与X轴宏动平台16之间设有X轴柔性铰链17,X轴压电陶瓷18设置在X轴微动平台19内,内导向板28和外导向板30之间固定有缓冲铰链29,Y轴压电陶瓷24的一端与Y轴微动平台23相连接,两个轴承34分别与Y轴宏/微动平台8上的内导向板28和外导向板30滚动连接。本发明的系统既满足了厘米级的运动范围和高速、高加速度的要求,又达到了纳米级的定位精度。工作范围为25mm×25mm,分辨率为10nm,重复定位精度为±20nm,X轴和Y轴的最大加速度分别为50m/s2和100m/s2。

    一种适用于室外大规模场景的高精度激光SLAM方法

    公开(公告)号:CN118836844A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202410807493.3

    申请日:2024-06-21

    Abstract: 一种适用于室外大规模场景的高精度激光SLAM方法,本发明涉及一种SLAM方法,本发明为解决在室外大规模场景下建图容易出现累积漂移和回环失败等情况,导致现有的大多数激光SLAM方法在室外大规模场景下存在建图精度低,建图结果与实际一致性差等问题。本发明在LIO‑SAM研究基础上,通过前端对激光点云进行聚类分割和特征筛选来提取准确可靠的特征点,在后端引入Scan Context算法进行回环检测,增强激光SLAM算法在室外大规模场景中回环检测能力,校正累积漂移,从而提高建图精度和效率。本发明属于机器人软件技术领域,可以用于移动机器人、无人驾驶、工业领域和社会服务领域。

    一种基于两自由度变形轮的两轮平衡移动机器人

    公开(公告)号:CN118182669A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410468968.0

    申请日:2024-04-18

    Abstract: 一种基于两自由度变形轮的两轮平衡移动机器人,它涉及一种两轮平衡移动机器人。本发明为了解决现有轮式移动机器人在面对高于车轮半径的台阶类障碍物时会被卡死,严重影响机器人工作效率的问题。本发明包括两个变形轮结构、机器人底盘和驱动系统;驱动系统安装在机器人底盘的下表面,两个变形轮结构分别安装在驱动系统的两端。本发明属于两轮平衡移动设备技术领域。

    一种立式自锁可折叠存储货笼

    公开(公告)号:CN104260969A

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201410508605.1

    申请日:2014-09-28

    Abstract: 一种立式自锁可折叠存储货笼,它涉及一种可折叠存储货笼。本发明解决了现有的可折叠货笼没有防倾翻机构,导致轮胎自动装货笼系统存在可靠性低的问题。每个立柱底端通过一个固定销与连接板的上部固定连接,连接板的下部与对应的一个支撑腿转动连接,每个立柱的下端和与其对应的支撑腿的上部各设置有一个插销套管,上下两个插销套管同轴设置,上下对应的两个插销套管上插装有一个插销;每个支腿的第二连接板和第三连接板之间固装第三挡块,第三挡块的上端面上有半球形凹槽,每个立柱的下端内部由上至下依次设置有第一挡块、第一弹簧和第二挡块,第二挡块的下端面加工有半球形凹槽,第二挡块的半球形凹槽上固装有钢珠。本发明用于轮胎自动装卸存放。

    一种磁力预紧的平面滚动支撑装置

    公开(公告)号:CN102720924B

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN201210145404.0

    申请日:2012-05-11

    Abstract: 本发明提出一种磁力预紧的平面滚动支撑装置,包括活动台组件(1)、滚动钢珠组件(2)、固定台组件(3),其中活动台组件(1)作为平面滚动支撑装置的运动平台,滚动钢珠组件(2)支撑活动台组件(1)的运动,固定台组件(3)作为运动范围的约束以及平面滚动支撑装置的机座,支撑活动台组件(1)和固定台组件(2)。本发明适用于二维平面无约束运动,结构合理、能够较好的平衡负载能力与灵敏度之间关系,具有灵敏度高、磨擦系数小、负载较大、易于拆装维护等特点。

    一种压电陶瓷抑振的XY精密运动平台

    公开(公告)号:CN102723299A

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN201210145440.7

    申请日:2012-05-11

    Abstract: 本发明提供一种压电陶瓷抑振的XY精密运动平台,在底板(5)上安装有X轴直线电机组件(2)、Y轴直线电机组件(3)、运动连接体组件(4),在X轴直线电机组件(2)中的X轴直线电机动子(16)的上、下表面上分别设有X轴动子压电陶瓷膜(15),在Y轴直线电机组件(3)中的Y轴直线电机动子(21)的上、下表面上分别设有Y轴动子压电陶瓷膜(20)。本发明对直线电机动子的机构振颤反应迅速、并以智能方式预以消除或减小直线电机动子的机构振颤,提高机构刚度;此外还具有重量轻、体积小等优势,适用在生产流水线等狭小空间进行的半导体集成芯片的高速封装作业。

    一种具有末端负载支撑且结构对称的XY精密运动平台

    公开(公告)号:CN102723297A

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN201210145423.3

    申请日:2012-05-11

    Abstract: 本发明提出一种具有术端负载支撑且结构对称的XY精密运动平台,包括底板组件(1)、底板组件(1)包括底板(5),在底板(5)上安装有X轴直线电机组件(2)、Y轴直线电机组件(3)、运动平台连接体组件(4),运动平台连接体组件(4)由磁力预紧滚动支撑机构和导向连接体机构两部分构成,磁力预紧滚动支撑机构包括4块高磁合金块。本发明具有更大的系统刚度、更好的运动精度、更简单适用的X/Y运动解耦方式、更小的结构尺寸,适用在生产流水线等狭小空间进行的半导体集成芯片的高速封装作业。

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