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公开(公告)号：CN1782714A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510131515.6
申请日：2005-10-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明涉及一种角速度传感器，其具备振动元件，该振动元件包括相互平行延伸的一对驱动臂、连接设置这些驱动臂的一个端部的基部、从该基部向与所述驱动臂相反方向延伸的弯曲臂。另外在该角速度传感器上还设置有：使得所述一对驱动臂在相互接近或者离开的方向上振动的驱动装置；检测所述驱动臂振动方向上的所述弯曲臂畸变的畸变检测装置。
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公开(公告)号：CN104114977A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201380009979.2
申请日：2013-02-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/5776 , G01P3/44 , G01P15/00
CPC classification number: G01P15/08 , G01C19/5776 , G01P15/036 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/135 , G01P15/18
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器，具有第一传感器元件、第二传感器元件、第一信号处理部、第二信号处理部和电力控制部。第一传感器元件将第一惯性力变换为电信号，第二传感器元件将第二惯性力变换为电信号。第一信号处理部与第一传感器元件连接并输出第一惯性力值。第二信号处理部与第二传感器元件连接并输出第二惯性力值。电力控制部与第一信号处理部以及第二信号处理部连接，基于第一惯性力值而使向第二信号处理部供给的电力变化。
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公开(公告)号：CN101405569B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200780009646.4
申请日：2007-04-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器，其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器，在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部，从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。
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公开(公告)号：CN101501505B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200780029100.5
申请日：2007-08-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5719 , G01P15/0922 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 本发明的复合检测元件(6)的结构是：将加速度检测元件(2)和角速度检测元件(4)相互层叠配置，且使其与加速度检测元件(2)的锤部(12)隔开地将角速度检测元件(4)配置在加速度检测元件(2)的上方，并且，角速度检测元件(4)在与加速度检测元件(2)的锤部(12)相对的相对面上设置有使其与加速度检测元件(2)的锤部(12)隔开的凹部(26)。该凹部(26)的至少一部分的深度不超过锤部(12)的运动范围，抑制加速度检测元件(2)的锤部(12)的上方运动。
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公开(公告)号：CN101529607B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200780040507.8
申请日：2007-11-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/09 , G01C19/56 , H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5628 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/29 , Y10T29/42
Abstract: 一种电子部件及其制造方法，该电子部件具备形成有电极部的元件，电极部具有上部电极(74)、下部电极(72)及密合层(76)，压电体(70)介于上部电极(74)与下部电极(72)之间，密合层(76)层叠于上部电极(74)与压电体(70)之间，压电体(70)具有由含铅的压电材料构成的压电层(80)，密合层(76)具有以钨为主要成分的钨层，通过将压电层(80)和所述钨层层叠而可以抑制温度上升引起的压电常数的下降及基点电压的变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1782714B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200510131515.6
申请日：2005-10-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明涉及一种角速度传感器，其具备振动元件，该振动元件包括相互平行延伸的一对驱动臂、连接设置这些驱动臂的一个端部的基部、从该基部向与所述驱动臂相反方向延伸的弯曲臂。另外在该角速度传感器上还设置有：使得所述一对驱动臂在相互接近或者离开的方向上振动的驱动装置；检测所述驱动臂振动方向上的所述弯曲臂畸变的畸变检测装置。
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公开(公告)号：CN1764822B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200580000041.X
申请日：2005-02-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器，其包括：音叉型振子；设于音叉型振子上的驱动部；检测音叉型振子的挠变量的检测部。音叉型振子包括：具有第一端和第二端并具有基本振动频率的第一振动腕部、具有第一端和第二端并具有所述基本振动频率的第二振动腕部、以及将所述第一振动腕部的第一端和所述第二振动腕部的第一端连结的连结部。驱动部设置在所述第一振动腕部上，使所述第一振动腕部振动，具有驱动阻抗。检测部设置在所述第一振动腕部和所述第二振动腕部中的一个上，由所述音叉型振子上施加的角速度来检测第一振动腕部和第二振动腕部中的一个的挠变量。所述基本振动频率中驱动阻抗的值R1与同所述基本振动频率不同的频率的所述驱动阻抗的值R2的比R1/R2小于1。该角速度传感器即使受到外部干扰也不会输出不需要的信号。
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公开(公告)号：CN100543418C
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200580007123.7
申请日：2005-03-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种可实现音叉的稳定驱动和角速度传感器的小型化并且即使在高温环境下使用也可对车体进行高精度控制的角速度传感器用音叉型振荡器、一种使用此振荡器的角速度传感器、和一种使用此角速度传感器的车辆。由电流放大器(40a)、(40b)分别对从设置在音叉臂(10b)上的上部电极(13a)、(14a)得到的电荷进行放大。由第一差动放大器(41)差动放大上述已放大的信号，并将此已放大的信号用作音叉驱动用的监测信号。将由加法部(60)对来自电流放大器(40a)、(40b)的输出信号进行加法运算后得到的加法信号，用作角速度检测用的信号。
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公开(公告)号：CN1596362A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN02823621.1
申请日：2002-11-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607 , H03H9/21 , H03H9/2484 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供一种提高了驱动效率的薄膜微型机械式谐振器(谐振器)、改善了对所加的角速度的检测灵敏度的谐振器陀螺仪、使用该谐振器陀螺仪的导航系统及汽车。谐振器包括由非压电材料制成的音叉、设于音叉的臂的主平面的内侧和外侧的第1和第2电极。在分别设于第1和第2电极上的第1和第2压电薄膜之上，分别设有第3和第4电极。通过在第3、第4电极上加上相互反相的交流电压，音叉就会以与中心线成直角的方向作为谐振方向而进行谐振。谐振器陀螺仪利用由其他电极和其他压电薄膜构成的检测部检测出与施加在该谐振器上的角速度对应的哥氏力。
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公开(公告)号：CN103278147B
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201310162684.0
申请日：2007-01-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5642 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结，支承部支承第1臂。而且，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力，也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。
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