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公开(公告)号:CN1989610A
公开(公告)日:2007-06-27
申请号:CN200580025371.4
申请日:2005-07-13
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/8238 , H03B5/12 , H01L27/092 , H03K3/354
CPC classification number: H01L27/088 , H01L27/0617 , H01L27/092 , H03B5/1203 , H03B5/1215 , H03B5/1228 , H03K3/0315 , H03K3/0322 , H03K3/354
Abstract: 在本发明的振荡器中,作为放大器件而含有的场效应晶体管(12)、(13)是具有在半导体基板上所形成的基极区域、在所述基极区域上所形成的与所述基极区域不同的导电型源极区域以及漏极区域、在所述源极区域以及漏极区域之间所形成的埋沟层、和在所述埋沟层的上方通过删极绝缘膜而形成的删极电极的埋沟型晶体管,并且与所述基极区域电连接的基极端子(b12)、(b13)与用来供给电源电位(Vdd)的电源配线连接。
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公开(公告)号:CN1260595A
公开(公告)日:2000-07-19
申请号:CN00100291.0
申请日:2000-01-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L29/02 , H01L29/772 , H01L21/335
CPC classification number: H01L21/26506 , H01L21/2658 , H01L29/1054 , H01L29/165 , H01L29/167
Abstract: 一种半导体器件及其制造方法是在半导体基片上设置含C的下部Si间隙层118、i-Si1-yGey层119(0
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公开(公告)号:CN103339681A
公开(公告)日:2013-10-02
申请号:CN201280006650.6
申请日:2012-12-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11C13/00
CPC classification number: G11C13/0069 , G11C13/0007 , G11C2013/0073 , G11C2013/0083 , G11C2213/73 , G11C2213/74 , G11C2213/79
Abstract: 一种电阻变化元件的驱动方法,具有初始过程,其在第一次写入过程之前,通过施加第一极性的初始电压脉冲使金属氧化物层的电阻值从初始状态的电阻值向其他的电阻值变化,设初始状态的电阻值为R0,写入状态的电阻值为RL,消去状态的电阻值为RH,其他的电阻值为R2,设初始电压脉冲施加时的电流的最大值为IbRL,设写入电压脉冲施加时的电流的最大值为IRL,设消去电压脉冲施加时的电流的最大值为IRH,满足R0>RH>R2≥RL,且满足|IRL|>|IbRL|。
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公开(公告)号:CN102047422B
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201080001662.0
申请日:2010-03-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11C13/0007 , G11C13/0069 , G11C2013/0083 , G11C2213/72 , G11C2213/79 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/1625
Abstract: 具有:写入过程,将第一极性的写入电压脉冲施加到金属氧化物层(3),从而使金属氧化物层(3)的电阻状态从高向低发生变化,以成为写入状态;消除过程,将与第一极性不同的第二极性的消除电压脉冲施加到金属氧化物层(3),从而使金属氧化物层(3)的电阻状态从低向高发生变化,以成为消除状态;以及初始过程,在第一次的写入过程之前,将第二极性的初始电压脉冲施加到金属氧化物层(3),从而使金属氧化物层(3)的初始状态的电阻值发生变化,在金属氧化物层(3)的初始状态的电阻值为R0、写入状态的电阻值为RL、消除状态的电阻值为RH、初始电压脉冲的电压值为V0、写入电压的电压值为Vw、消除电压脉冲的电压值为Ve的情况下,满足R0>RH>RL、且满足|V0|>|Ve|≥|Vw|。
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公开(公告)号:CN102804278A
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN201180014829.1
申请日:2011-03-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11C13/0007 , G11C13/0069 , G11C2013/0073 , G11C2013/0083 , G11C2213/32 , G11C2213/79 , H01L27/101 , H01L27/2436 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/16
Abstract: 本发明提供一种电阻变化型非易失性存储元件的塑造方法及电阻变化型非易失性存储装置,与以往相比能够降低塑造电压且能够回避塑造电压在每个电阻变化元件中的偏差。该塑造方法是电阻变化元件(100)初始化的塑造方法,包括:判断1T1R型存储器单元电流是否大于基准电流的步骤(S24);在判断为并不大的情况下(S24中“否”),施加脉冲宽度(Tp(n))上升的塑造用正电压脉冲的步骤(S22);以及施加具有脉冲宽度(Tp(n))以下的脉冲宽度(Tn)的负电压脉冲的步骤(S23),重复步骤(S24)、施加步骤(S22)及施加步骤(S23),直到塑造完成为止。
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公开(公告)号:CN102790073A
公开(公告)日:2012-11-21
申请号:CN201210287006.2
申请日:2009-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L45/147 , G11C13/0007 , G11C13/0069 , G11C2013/009 , G11C2213/15 , G11C2213/32 , G11C2213/34 , G11C2213/79 , H01L27/2436 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1675
Abstract: 电阻变化型非易失性存储装置包括半导体基板(301);电阻变化元件(309),由下部电极(309a)、上部电极(309c)以及电阻变化层(309b)构成,在所述电阻变化层中通过施加到两极之间的极性不同的电压信号,电阻值可逆地变化;以及N型MOS晶体管(317),构成于半导体基板(301)的主面;电阻变化层(309b)具有与下部电极(309a)相接的组成为MOx的缺氧型的过渡金属的氧化物层(309b-1)、与上部电极(309c)相接的组成为MOy的缺氧型的过渡金属的氧化物层(309b-2),其中x
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公开(公告)号:CN102227809A
公开(公告)日:2011-10-26
申请号:CN200980148165.0
申请日:2009-12-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L27/101 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/1625
Abstract: 本发明的非易失性存储元件具备:第一电极(103);第二电极(109);和电阻变化层(106),其配置在第一电极和第二电极之间,基于施加于第一电极和第二电极之间的电信号,电阻值可逆地变化;第一电极和第二电极中的至少一个具备含有铂的含铂层(107),电阻变化层至少具备不与含铂层物理接触的第一氧不足型过渡金属氧化物层(104)和配置在第一氧不足型过渡金属氧化物层与含铂层之间的、与含铂层物理接触的第二氧不足型过渡金属氧化物层(105),将第一氧不足型过渡金属氧化物层中所含的氧不足型过渡金属氧化物表示为MOx、将第二氧不足型过渡金属氧化物层中所含的氧不足型过渡金属氧化物表示为MOy时,满足x<y,含铂层的膜厚为1nm以上23nm以下,与电阻变化层物理接触。
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公开(公告)号:CN101542730B
公开(公告)日:2011-04-06
申请号:CN200880000421.7
申请日:2008-03-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L27/101 , G11C13/0007 , G11C13/004 , G11C13/0069 , G11C2013/0073 , G11C2213/32 , G11C2213/71 , G11C2213/72 , G11C2213/79 , H01L27/2409 , H01L27/2436 , H01L27/2481 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1675 , Y10S438/90
Abstract: 本发明提供具有高速且可逆的稳定的改写特性、良好的电阻值的保持特性并用于信息家电等电子设备的非易失性存储元件及其制造方法,以及使用了该非易失性存储元件的非易失性半导体装置。该非易失性存储元件包括:第一电极(103);第二电极(107);和存在于第一电极(103)与第二电极(107)之间、且电阻值根据施加在两电极(103)、(107)间的电信号可逆地变化的电阻变化层(106),该电阻变化层(106)具有叠层有具有由TaOx(其中,0≤x<2.5)表示的组成的第一含钽层、和具有至少由TaOy(其中,x<y)表示的组成的第二含钽层的叠层结构。
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公开(公告)号:CN101978496A
公开(公告)日:2011-02-16
申请号:CN200980100360.6
申请日:2009-07-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11C13/0069 , G11C13/0007 , G11C2213/32 , G11C2213/34 , G11C2213/71 , G11C2213/79 , H01L27/101 , H01L27/2409 , H01L27/2436 , H01L27/2481 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/1625
Abstract: 本发明提供非易失性存储元件和其制造方法、以及使用该非易失性存储元件的非易失性半导体装置。该非易失性存储元件包括:第一电极(103);第二电极(108);和介于第一电极(103)与第二电极(107)之间,电阻值根据施加于两电极(103)、(108)间的电信号可逆地变化的电阻变化层(107),该电阻变化层(107)至少具有叠层有第一含铪层和第二含铪层的叠层构造,该第一含铪层具有以HfOx(其中,0.9≤x≤1.6)表示的组成,该第二含铪层具有以HfOy(其中,1.8<y<2.0)表示的组成。
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公开(公告)号:CN101836296A
公开(公告)日:2010-09-15
申请号:CN200980100763.0
申请日:2009-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L45/147 , G11C13/0007 , G11C13/0069 , G11C2013/009 , G11C2213/15 , G11C2213/32 , G11C2213/34 , G11C2213/79 , H01L27/2436 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1675
Abstract: 电阻变化型非易失性存储装置包括半导体基板(301);电阻变化元件(309),由下部电极(309a)、上部电极(309c)以及电阻变化层(309b)构成,在所述电阻变化层中通过施加到两极之间的极性不同的电压信号,电阻值可逆地变化;以及N型MOS晶体管(317),构成于半导体基板(301)的主面;电阻变化层(309b)具有与下部电极(309a)相接的组成为MOx的缺氧型的过渡金属的氧化物层(309b-1)、与上部电极(309c)相接的组成为MOy的缺氧型的过渡金属的氧化物层(309b-2),其中x<y;将成为漏极的N型扩散层区域(302b)与下部电极(309a)连接来构成存储器单元(300),使得在使电阻变化层(309b)成为高电阻的极性的电压信号被施加到晶体管(317)和电阻变化元件(309)的时候,在晶体管(317)不发生基板偏置效果。
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