工具更换装置
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100336638C

    公开(公告)日:2007-09-12

    申请号:CN200380105428.2

    申请日:2003-12-04

    Abstract: 本发明的工具更换装置,在工具(1)的本体部(2)两侧,设有具有垂直的限制面(6)及水平的卡合面(7)的、且截面为L字形的台阶部(5a,5b),在载放保持更换用工具(1)的保持部(11)的一侧设有第1卡合构件(13),该第1卡合构件(13)具有与一方的台阶部(5a)的卡合面(7)相对且端面(12a)与限制面(6)抵接的第1卡合突片(12),在保持部(11)的另一侧设有第2卡合构件(15),该第2卡合构件(15)具有中间部与另一方的台阶部(5b)的卡合面(7)相对且两侧部的端面(14a)在台阶部(5b)的两侧位置与本体部(2)的外周部抵接的第2卡合突片(14),将所述第1和第2卡合构件(13,15)在相对于所述台阶部(5a,5b)的卡合位置与避让位置之间进行移动。

    部件供给装置
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1720609A

    公开(公告)日:2006-01-11

    申请号:CN200380104683.5

    申请日:2003-11-28

    CPC classification number: H01L21/67144 H01L21/67132

    Abstract: 一种部件供给装置,通过根据配置在部件供给装置(4)的板配置装置(12)的板(6、6w、6t)的种类,对托盘供给用板(6t)限制板推压体(61)的下降位置,而可靠进行其保持,另一方面,对晶圆供给用板(6w)通过解除上述下降位置的限制,而一边可靠保持上述晶圆供给用板,一边进行晶圆的扩展,根据上述板的种类有选择地自动进行适当的保持动作及扩展动作。

    电子元件装配方法及装置
    26.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1091341C

    公开(公告)日:2002-09-18

    申请号:CN96103443.2

    申请日:1996-02-14

    Abstract: 一种电子元件装配方法及装置,该装置具有吸住电子元件并把其装着在电路基片上的吸嘴、为吸住及装着电子元件而吸嘴上下移动的装置、在电子元件的吸住及装着位置对吸嘴的空气压进行切换的机械操纵阀、以及在吸住及装着电子元件时分别独立地进行各机械操纵阀的切换控制的吸住·释放切换机构,利用该吸住·释放切换机构与装配速度相对应地分别独立地控制当进行电子元件吸住时和装着时对吸嘴的空气压的切换定时,所以,即使电子元件装配速度发生变化,也能稳定地进行吸住和装着动作。

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