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公开(公告)号：CN111316026A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201880071444.0
申请日：2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够确保所需的流量并且能够飞跃性地提高阀体的流路的配置自由度的小型化了的阀装置。所述阀装置具有：阀座支承件(50)，其设于收纳凹部(22)内，具有与阀座(16)的密封面(16f)抵接并且对来自该密封面(16f)的按压力进行支承的支承面(50f1)；以及隔膜(14)，其以能够与阀座(16)的座面(16s)抵接和分离的方式设置在收纳凹部(22)内，将收纳凹部(22)的开口侧密闭，阀座支承件(50)具有与收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b1、50b2、50b3)、以及连接初级侧流路(21)和阀座(16)的流通流路(16a)的迂回流路(50a)。
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公开(公告)号：CN110730870A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN110730869A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN110709634A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201880036391.9
申请日：2018-05-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种小型并且对弯矩的耐力得到了改善的阀装置。具有：块状的阀体(30)；壳体(11)，其为筒状，其内置有驱动用于开闭流路的阀芯的驱动机构，该壳体与阀体(30)连接，自该阀体(30)的上表面(30t)朝向上方延伸；以及保护构件(50)，其与筒状的壳体(11)和阀体(30)抵接，用于抑制在弯矩作为外力作用于壳体(10)时在位于壳体(10)的根基部分的壳体构件(12)与阀体(30)之间产生的应力集中。
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公开(公告)号：CN106461097B
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201580033235.3
申请日：2015-06-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/12 , F16K7/14 , F16K7/16 , H01L21/205 , H01L21/3065
Abstract: 隔膜按压件(6)的与隔膜(5)抵接的面的曲率半径(SR2)设为30mm以上。相对于阀体(2)的凹处(2c)底面(14)的平坦部(14b)，按压接合件(8)的下表面的锥角(θ)设为10°以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116997993A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202280021823.5
申请日：2022-03-04
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
IPC: H01L21/02
Abstract: 提供一种能够节省空间且能够在短时间内向处理腔室供给稳定的浓度成分的混合气体的气体供给装置。该气体供给装置具有：多个流体控制单元(A1～D2)，其分别包括供气体(G)流通的流路(CH)、以及设于该流路(CH)的中途且对在该流路中流通的气体(G)的流动进行控制的流体控制设备(V1、FC、V2)；以及合流流路(MCH1)，其包括与多个流体控制单元(A1～D2)流体连接的多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)、以及将通过多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)导入的气体导出的单一的气体导出部(K1)，多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)在合流流路(MCH1)的流路方向上相对于气体导出部(K1)对称地配置，且在多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)分别流体连接有两个以上的流体控制单元。
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公开(公告)号：CN109863336B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN201780065702.X
申请日：2017-10-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供充分发挥手动阀型小型化的优点并解决其课题的电动阀型的流量调节阀。具有通过使旋转体(15)旋转而使上下移动体(6)上下移动的旋转装置。旋转装置包括在旋转体(15)的上端部设置的从动齿轮(14)和使与从动齿轮(14)啮合的驱动齿轮(13)的马达(11)。马达(11)采用步进伺服马达，配置在驱动齿轮(13)的下方，马达(11)的旋转轴(34)向上延伸，在其上端部固定有驱动齿轮(13)。
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公开(公告)号：CN112930454A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201980070726.3
申请日：2019-10-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种用于半导体制造工艺等的阀装置，该阀装置具有更适合于小型化、集成化的构造。该阀装置具有：阀体(3)，其收纳于收纳凹部(35)，并且在底面具有第1端口(3p1)和第2端口(3p2)；以及阀盖螺母(20)，其在外周形成螺纹部(20a)并且螺纹部(20a)与收纳凹部(35)的内周螺纹结合，由此，将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压，并且将该阀体(3)固定于流路块(30)，阀体(3)具有在第1端口(3p1)和第2端口(3p2)的周围自底面(3d)突出地形成的密封用的第1环状突起(4a)和第2环状突起(4b)，所述第1环状突起(4a)和所述第2环状突起(4b)形成为共用局部。
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公开(公告)号：CN111417809A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201880076979.7
申请日：2018-11-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种组装有节流孔并且能够以低成本进行制造的阀装置。阀体(20)划定在阀体(20)的表面开口并且内置有阀元件的收纳凹部(22)、以及与收纳凹部(22)连接的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)，阀元件(2)具有将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的通过收纳凹部(22)的直接的连通切断的密封部(50b2、50b3)、以及通过阀元件(2)而使初级侧流路(21)和次级侧流路(24)连通的贯通流路(50、16p)，在贯通流路(50、16p)形成有节流孔(16p)。
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公开(公告)号：CN111344510A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201880071291.X
申请日：2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够维持装置的小型化并且能够将向初级侧的流路流入的多个流体在次级侧分流为许多个的阀装置。阀元件(2A、2B)具有阀座(16)、阀座支承件(50)、以及设置为能够与阀座(16)的座面抵接和分离的隔膜(14)，隔膜(14)通过该隔膜(14)与阀座(16)之间的间隙而使阀座(16)的流通流路(16a)和对应的次级侧流路(24)连通，阀座支承件(50)具有与对应的收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将对应的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b2，50b3)、以及连接初级侧流路(21)和流通流路(16a)的迂回流路(50a)，阀体(20)划定使次级侧流路(24A、24B)彼此连通的连通流路(24C)。
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