公开(公告)号：CN1836371A

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：CN200480023407.0

申请日：2004-07-02

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 多田正裕

IPC: H03H9/24 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H03H3/0077 ,  H03H9/2457 ,  H03H9/2463 ,  Y10T29/42

Abstract: 一种能够利用第一振荡模同时提高输出信号的S/N比的MEMS型振荡器，其制造方法、滤波器和应用该滤波器的高度可靠的通信设备。该MEMS型振荡器包括输出电极、与所述输出电极相对设置的输入侧振荡梁以及输入电极，其中所述输出电极和所述输入电极(27)在DC方面与所述梁分开地形成。所述滤波器应用了该MEMS型振荡器。所述通信设备应用了本发明的滤波器，以限制发送信号和/或接收信号的频带。

公开(公告)号：CN1720193A

公开(公告)日：2006-01-11

申请号：CN200380105115.7

申请日：2003-11-25

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 多田正裕 ,  木下隆 ,  御手洗俊 ,  伊藤康幸

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H03H9/24

CPC classification number: H03H3/0072 ,  H03H9/2405 ,  H03H2009/02511

Abstract: 本发明公开了一种微机械，用于高频滤波器，其具有高Q值且适用于高频段。微机械(1)包括：输出电极(7)，形成于衬底(5)上；层间绝缘膜(9)，其覆盖衬底(5)且包括开口(9a)，开口的底部是输出电极(7)；和带状谐振器电极(11)，形成于层间绝缘膜(9)以在上面横跨开口(9a)中的空间(A)，而谐振器电极(11)沿开口(9a)的侧壁向开口(9a)凹入。