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公开(公告)号：CN101139078A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710149027.7
申请日：2007-09-04
Applicant: 索尼株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B7/0038 , B81B2201/0271 , B81C2203/0145
Abstract: 提供一种通过使成膜时的影响不波及到功能部而能提高元件可靠性的功能元件。基板(10)的表面上具备可动部(11)、密封层(12)和壁部(13)。密封层(12)具有在可动部(11)周围形成内部空间(14)的拱顶状形状，在密封层(12)中与可动部(11)相对区域以外的区域设置开口部(15)。壁部(13)形成在可动部(11)与开口部(15)之间而不把内部空间(14)分离，在内部空间(14)内形成有贯通开口部(15)且由不贯通密封层(12)和壁部(13)的直线不横穿的空间(阴影空间(19))。可动部(11)被配置在该阴影空间(19)内。
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公开(公告)号：CN101077766A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710092329.5
申请日：2007-02-17
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: B81C1/00896 , B81B2207/015 , B81C2201/056
Abstract: 一种电子机械元件，实现解决因在电子机械元件的制造过程中的可动元件上产生负荷而导致可动元件的变形、破损等课题。在牺牲层(23)上形成可动元件(5)，在此可动元件(5)中形成暴露出牺牲层(23)的多个孔(5h)，对于牺牲层从可动元件中形成的孔和可动元件的周边进行残留牺牲层的一部分的第一腐蚀，利用此牺牲层的残留部进行可动元件的机械支承，在此状态下，进行对可动元件施加负荷的作业，此后进行第二腐蚀，去除牺牲层的残留部，如此，在利用牺牲层的一部分进行加强的状态下，进行对上述可动元件施加负荷的作业，从而避免由于此负荷等所导致的制造过程中的可动元件的变形、破损等。
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公开(公告)号：CN1977453A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200580021692.7
申请日：2005-03-25
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/525 , H03H9/2463
Abstract: 由多个微谐振器构成的具有宽的特定带宽的滤波器。在用于平衡输入的两个输入端(11、12)和用于平衡输出的两个输出端(13、14)之间，以格状电连接具有梁结构的多个微谐振器(15、16、17、18)。多个微谐振器(15、16、17、18)均包括谐振器组，该谐振器组包括具有不同的谐振频率的多个谐振器。
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公开(公告)号：CN1822428A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200510003461.5
申请日：2005-10-08
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/2463 , H03H9/462 , H03H9/525 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明提供一种微谐振器，该微谐振器包括设置在基底多个列上的多个谐振器元件。每一个谐振器元件都具有输入电极、输出电极、和在特定方向延伸的膜片，并且每个都通过特定频率的信号。多个谐振器元件包括设置在位于在多个列中每隔一列的第一列上的多个第一谐振器元件，其具有第一相位，及设置在位于多个列中每隔一列但不是第一列的第二列的多个第二谐振器元件，其具有与第一相位相反相位的第二相位。
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公开(公告)号：CN101139078B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN200710149027.7
申请日：2007-09-04
Applicant: 索尼株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B7/0038 , B81B2201/0271 , B81C2203/0145
Abstract: 提供一种通过使成膜时的影响不波及到功能部而能提高元件可靠性的功能元件。基板(10)的表面上具备可动部(11)、密封层(12)和壁部(13)。密封层(12)具有在可动部(11)周围形成内部空间(14)的拱顶状形状，在密封层(12)中与可动部(11)相对区域以外的区域设置开口部(15)。壁部(13)形成在可动部(11)与开口部(15)之间而不把内部空间(14)分离，在内部空间(14)内形成有贯通开口部(15)且由不贯通密封层(12)和壁部(13)的直线不横穿的空间(阴影空间(19))。可动部(11)被配置在该阴影空间(19)内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101054157B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200710096509.0
申请日：2007-04-11
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/1057 , H03H9/462 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明涉及一种电子机械元件，其谋求封壳密封的电子机械元件的高可靠性。其特征在于，具有包含有下部电极(62)、(63)及可动件(35)的电子机械元件主体(64)、以及保持空间(37)而密封电子机械元件主体(64)的外敷膜(38)，在外敷膜(38)与可动件(35)之间设有支柱(52)。
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公开(公告)号：CN1993887A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200580026644.7
申请日：2005-06-07
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/2463 , H03H3/0073 , H03H3/0075 , H03H9/2426 , H03H9/505 , H03H9/525
Abstract: 本发明提供实现了对静电驱动型振子施加的直流偏置电压的稳定化的高频元件、能够供给稳定的直流偏置电压的电源供给元件。而且本发明提供具有上述高频元件构成的滤波器的通信装置。本发明的高频元件具有高频信号元件，该高频信号元件包含通过施加直流偏置电压而动作的静电驱动型的振子，在供给直流偏置电压的焊盘和振子之间附加具有使直流偏置电压稳定的功能的电路。电源供给元件是用于驱动高频振动元件的电源供给元件，通过附加具有使直流偏置电压稳定的功能的电路而构成。本发明的通信装置使用上述高频元件构成的滤波器作为滤波器。
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公开(公告)号：CN100514746C
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200510003461.5
申请日：2005-10-08
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/2463 , H03H9/462 , H03H9/525 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明提供一种微谐振器，该微谐振器包括设置在基底多个列上的多个谐振器元件。每一个谐振器元件都具有输入电极、输出电极、和在特定方向延伸的膜片，并且每个都通过特定频率的信号。多个谐振器元件包括设置在位于在多个列中每隔一列的第一列上的多个第一谐振器元件，其具有第一相位，及设置在位于多个列中每隔一列但不是第一列的第二列的多个第二谐振器元件，其具有与第一相位相反相位的第二相位。
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公开(公告)号：CN1720193A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200380105115.7
申请日：2003-11-25
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/2405 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明公开了一种微机械，用于高频滤波器，其具有高Q值且适用于高频段。微机械(1)包括：输出电极(7)，形成于衬底(5)上；层间绝缘膜(9)，其覆盖衬底(5)且包括开口(9a)，开口的底部是输出电极(7)；和带状谐振器电极(11)，形成于层间绝缘膜(9)以在上面横跨开口(9a)中的空间(A)，而谐振器电极(11)沿开口(9a)的侧壁向开口(9a)凹入。
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公开(公告)号：CN1977453B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200580021692.7
申请日：2005-03-25
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/525 , H03H9/2463
Abstract: 由多个微谐振器构成的具有宽的特定带宽的滤波器。在用于平衡输入的两个输入端(11、12)和用于平衡输出的两个输出端(13、14)之间，以格状电连接具有梁结构的多个微谐振器(15、16、17、18)。多个微谐振器(15、16、17、18)均包括谐振器组，该谐振器组包括具有不同的谐振频率的多个谐振器。
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