公开(公告)号：CN104011447A

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201280046172.1

申请日：2012-09-11

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 冈部庸之 ,  守谷修司 ,  佐藤健一 ,  中田知宏 ,  筱原努 ,  山路道雄

IPC: F16L19/03 ,  F16J15/08 ,  F16L23/16

CPC classification number: F16L19/0212 ,  F16L19/0286

Abstract: 本发明提供一种管接头，防止在将外螺纹部件和内螺纹部件螺合时产生的微粒进入到流体通路内而能够维持高清洁度。通过设置在一方接头部件（2）上的外螺纹部件（6）和设置在另一方接头部件（3）上的内螺纹部件（7）而使接头部件（2、3）彼此结合。在外螺纹部件（6）上设有将两接头部件（2、3）的对接部外周面覆盖的罩部（16）。

公开(公告)号：CN103620241A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280023466.2

申请日：2012-03-06

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 筱原努 ,  松田隆博 ,  中田知宏 ,  山路道雄

IPC: F16B39/24 ,  F04B39/00 ,  F16K27/00

CPC classification number: F16L19/00 ,  F16B5/0241 ,  F16B5/0258 ,  F16B43/001 ,  F16K27/003

Abstract: 本发明提供一种使调平作业变得容易且将基于弹性部件的振动吸收效果进一步提高的下层部件的固定装置、以及具有该固定装置的流体控制装置，该调平作业使下层部件的上表面彼此成为同一平面。该下层部件的固定装置构成为，一旦将下层部件（2）固定后，使所需要的下层部件（2）以抵抗弹性部件（21）的弹力的方式向上方移动，由此，能够将多个下层部件（2）的上表面位置微调整。弹性部件（21）是由橡胶或者合成树脂构成的环状体，在弹性部件的内周面的上部以及下部设有用于能够使弹性部件（21）相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口（21a）、（21b）。

公开(公告)号：CN101680561B

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN200880017711.2

申请日：2008-05-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  株式会社富士金

Inventor： 大加濑亘 ,  守谷修司 ,  中田知宏 ,  筱原努 ,  山路道雄

IPC: F16K27/00 ,  H01L21/02 ,  F17D1/04 ,  C23C16/455

CPC classification number: F16K27/003 ,  Y10T137/598 ,  Y10T137/87885 ,  Y10T137/87917

Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，能够实现零件数量的削减和组装作业效率的提高。相对的拆卸频率较高的压力显示器(4)通过来自上方的螺钉部件(17)与位于下方的基座块(5)结合。相对的拆卸频率较低的开闭阀(6)在下方具有一体设置的块状主体(6a)。开闭阀(6)的主体(6a)被前后方向上的螺钉部件(18)结合在基座块(5)上。

公开(公告)号：CN1678857A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN03820757.5

申请日：2003-08-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 谷川毅 ,  药师神忠幸 ,  中田知宏

IPC: F16K31/126

CPC classification number: F16K31/165

Abstract: 本发明提供一种控制器。将施加在活塞(10)上的力放大后向阀杆(9)传递的增力装置(11)具有被支承在壳体(7)、(8)上的摆动体(25)，所述摆动体，其外侧端部和内侧端部分别从下方抵接在活塞外周部和设置在阀杆上的法兰部(22a)上；并且该摆动体(25)可以绕位于靠近内侧端的水平轴(26)进行摆动。在壳体顶壁(8b)外周部与活塞(10)外周部之间，夹设有密封用于导入压缩空气的空间的金属波纹管(16)。

公开(公告)号：CN113366251A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202080011998.9

申请日：2020-01-21

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  相川献治 ,  执行耕平 ,  中田知宏 ,  松田隆博 ,  篠原努

IPC: F16K27/00 ,  F16K47/08 ,  F16K1/52 ,  G01F1/42 ,  F16L55/00

Abstract: 提供一种流路组件，其组装有节流件、过滤件等功能部件，其中，功能部件与流路部件之间被长期可靠地密封。第1流路构件(51)具有对环状密封构件(54)的中心轴线(Ct)方向上的一端面进行支承的第1密封面(51f)，所述第2流路构件具有对板状构件的表面进行支承的由平坦面形成的第2密封面、以及对环状密封构件的外周面进行支承的第3密封面，对于环状密封构件，该环状密封构件的另一端面被按压于板状构件的背面，该环状密封构件的一端面被按压于第1流路构件的第1密封面，该环状密封构件的外周面被按压于第2流路构件的第3密封面，板状构件被环状密封构件的另一端面按压而该板状构件的表面被按压于第2流路构件的第2密封面。

公开(公告)号：CN112955685A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201980070752.6

申请日：2019-10-21

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 松田隆博 ,  相川献治 ,  原田章弘 ,  渡边一诚 ,  中田知宏 ,  篠原努

IPC: F16K27/00

Abstract: 提供一种具有更适合于小型化、集成化的构造的用于半导体制造工艺等的阀装置。该阀装置具有：阀体(3)，其收纳于截面形状为圆形的收纳凹部(35)，并且在底面形成有第1端口(3p1)和第2端口(3p2)；以及阀盖螺母(20)，其外螺纹部(20a)与形成于收纳凹部(35)的内周的内螺纹部(35s)螺纹结合，由此，将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压，并且将该阀体(3)固定于流路块(30)，阀体(3)具有外周面部(3f)，该外周面部(3f)嵌入流路块(30)的收纳凹部(35)的内周面部(35a)，在外周面部(3f)形成有定位用的凸部(3a)，该凸部(3a)规定阀体(3)相对于流路块(30)的绕轴线(Ct)的旋转位置。

公开(公告)号：CN109952459B

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：CN201780069196.1

申请日：2017-11-02

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 吉田俊英 ,  中田知宏 ,  篠原努 ,  稻田敏之 ,  船越高志

IPC: F16K31/02 ,  F16K31/122

Abstract: 提供一种流量调整用工时被大幅度地削减了的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12)；阀芯(20)，其被设为能够开闭阀体的流路(12)；操作构件(40)，其用于操作阀芯，被设为能够在使阀芯(20)开闭流路(12)的开闭方向(A1、A2)上在预先设定的使阀芯(20)关闭流路的关闭位置(CP)与使阀芯(20)打开流路(12)的打开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其用于使操作构件(40)向打开方向(A1)移动；以及压电致动器(100)，其用于调整被定位于打开位置(OP)的操作构件(40)的位置。

公开(公告)号：CN110023659B

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN201780073803.1

申请日：2017-11-02

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 吉田俊英 ,  中田知宏 ,  篠原努 ,  稻田敏之 ,  船越高志 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F16K1/00 ,  F16K7/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/205 ,  F16K31/02

Abstract: 提供一种流量控制范围较大且通用性得到提高的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12、13)；隔板(20)，其以能够开闭流路(12、13)的方式设于阀体(10)；操作构件(40)，其用于操作隔板(20)，被设为能够在使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)上移动；主致动器(60)，其赋予操作构件(40)以与沿着开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向赋予的操作压力相对应的驱动力；切换机构，其能够根据操作压力的大小选择将限定流路的开度的操作构件(40)的位置切换至彼此不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；以及调节机构(70、80)，其能够分别独立地调节第1打开位置(P1)和第2打开位置(P2)。

公开(公告)号：CN111819383A

公开(公告)日：2020-10-23

申请号：CN201880091025.3

申请日：2018-03-09

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 近藤研太 ,  吉田俊英 ,  滝本昌彦 ,  篠原努 ,  中田知宏 ,  三浦尊 ,  中泽正彦

IPC: F16K31/02 ,  F16K31/122

Abstract: 本发明提供能够确保流体的流量并且能够精密地调整流量的阀装置。该阀装置具有：主致动器(60)，其承受所供给的驱动流体的压力，并且使操作构件(40)向开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其配置为主致动器(60)产生的力的至少一部分作用于该调整用致动器(100)，用于对定位于开位置的操作构件的位置进行调整；以及压力调节器(200)，其设于驱动流体向主致动器(60)的供给路径，对所供给的所述驱动流体的压力进行调压，以便抑制向主致动器(60)供给的驱动流体的压力的变动。

公开(公告)号：CN111316026A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201880071444.0

申请日：2018-10-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 渡边一诚 ,  执行耕平 ,  相川献治 ,  中田知宏 ,  松田隆博 ,  篠原努

IPC: F16K27/02 ,  F16K7/12

Abstract: 提供一种能够确保所需的流量并且能够飞跃性地提高阀体的流路的配置自由度的小型化了的阀装置。所述阀装置具有：阀座支承件(50)，其设于收纳凹部(22)内，具有与阀座(16)的密封面(16f)抵接并且对来自该密封面(16f)的按压力进行支承的支承面(50f1)；以及隔膜(14)，其以能够与阀座(16)的座面(16s)抵接和分离的方式设置在收纳凹部(22)内，将收纳凹部(22)的开口侧密闭，阀座支承件(50)具有与收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b1、50b2、50b3)、以及连接初级侧流路(21)和阀座(16)的流通流路(16a)的迂回流路(50a)。