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公开(公告)号：CN102859735B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201180019864.2
申请日：2011-04-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/1136 , B81B2201/032 , B81C1/00658 , G01J5/04 , G01J5/046 , G01J5/34 , G01P15/09 , G01P2015/0828 , H01L37/02 , H01L41/0815 , H02N2/186
Abstract: 一种强电介质器件，具备：下部电极（第1电极）（14a），形成在硅基板（第1基板）（10）的一表面侧；强电介质膜（14b），形成在下部电极（14a）的与第1基板（10）侧相反的一侧；以及上部电极（第2电极）（14c），形成在强电介质膜（14b）的与下部电极（14a）侧相反的一侧，强电介质膜（14b）由与硅之间存在晶格常数差的强电介质材料形成。在下部电极（14a）的正下方设置有缓冲层（14d），缓冲层（14d）由与强电介质膜（14b）之间的晶格匹配性比硅好的材料形成，在第1基板（10）上形成有空洞（10a），该空洞（10a）使缓冲层（14d）的与下部电极（14a）侧相反的一侧的表面露出。
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公开(公告)号：CN102792170B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201180012940.7
申请日：2011-02-24
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0837
Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够抑制可动部即可动电极与固定电极层间的电短路的物理量传感器。物理量传感器具备：基材，其具有锚定部(29)及在锚定部上经由弹簧部被支承成能够沿高度方向上变位的可动部(34)；对置部(20)，其与基材在高度方向上对置且固定支承锚定部，并且与可动部在高度方向上空出间隔地对置；固定电极层(28)，其形成在对置部的表面上；突起部(23)，其表面为对可动部限位的限位面；固定支承部(22)，其设置在对置部的表面上；接合部(26)，其由将固定支承部和锚定部间接合的金属层构成。突起部(23)从对置部(20)的表面突出，在下凹的对置部的表面上配置有固定电极层(28)，突起部(23)的表面比固定电极层(28)的表面在高度方向上突出。
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公开(公告)号：CN103091509A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210440050.2
申请日：2012-11-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 渡边润
CPC classification number: G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备，其能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。物理量检测装置(100)包括：基部(10)；可动部(13)，其经由连接部(12)而被设置在基部(10)上，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件(40)，其以跨接基部(10)与可动部(13)的方式而被固定；质量部(50、52)，其被固定在可动部(13)上，可动部(13)包括：第一固定部(14)，其上固定有物理量检测元件(40)；第二固定部(16a、16b)，其上固定有质量部(50、52)；切口部(20a、20b)，其与连接部(12)分离，且具有从可动部(13)的侧面(13e)起到达至与连结第一固定部(14)和第二固定部(16a、16b)的线段(L1、L2)交叉的部位处的切口形状。
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公开(公告)号：CN102859735A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180019864.2
申请日：2011-04-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/1136 , B81B2201/032 , B81C1/00658 , G01J5/04 , G01J5/046 , G01J5/34 , G01P15/09 , G01P2015/0828 , H01L37/02 , H01L41/0815 , H02N2/186
Abstract: 一种强电介质器件，具备：下部电极（第1电极）（14a），形成在硅基板（第1基板）（10）的一表面侧；强电介质膜（14b），形成在下部电极（14a）的与第1基板（10）侧相反的一侧；以及上部电极（第2电极）（14c），形成在强电介质膜（14b）的与下部电极（14a）侧相反的一侧，强电介质膜（14b）由与硅之间存在晶格常数差的强电介质材料形成。在下部电极（14a）的正下方设置有缓冲层（14d），缓冲层（14d）由与强电介质膜（14b）之间的晶格匹配性比硅好的材料形成，在第1基板（10）上形成有空洞（10a），该空洞（10a）使缓冲层（14d）的与下部电极（14a）侧相反的一侧的表面露出。
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公开(公告)号：CN101133332B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200680006882.6
申请日：2006-11-16
Applicant: 凯奥尼克公司
IPC: G01P15/00
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0828
Abstract: 在本发明的一个实施例中，提供一种微机电(MEMS)加速度计，包括衬底、第一传感器和第二传感器。第一传感器配置成测量沿着平行于衬底平面的第一轴的加速度。第二传感器配置成测量沿着垂直于衬底平面的轴的加速度。第二传感器包括第一横梁、第二横梁和单支撑结构。单支撑结构相对于衬底支撑第一和第二横梁，其中第一和第二横梁围绕第一传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1938593B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200580009428.1
申请日：2005-04-28
Applicant: 爱知制钢株式会社
IPC: G01P15/105 , G01P15/18
CPC classification number: G01P1/006 , G01P1/023 , G01P15/105 , G01P15/18 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明所提出的加速度传感器(1)，具有悬臂梁结构，包括了以其固定端(221)为中心作往复弹性变形运动的悬臂(22)和、在悬臂(22)的自由端(222)上设置的磁铁体(21a(b))、以及在悬臂(22)的往复动作领域的外周面上配置了磁性检出头部(23(b))的加速度检测单元(2a(b))。并且，本发明所提出的加速度传感器(1)，为了补正磁性检出头部(23a)、(23b)输出的检出信号，配备了分别检测作用于磁性检出头部(23a)、(23b)和磁铁体(21a)、(21b)的周边外界磁场的周边外界磁场检出部(43a)、(43b)。
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公开(公告)号：CN101927977A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200910168952.3
申请日：2009-09-02
Applicant: 鑫创科技股份有限公司
CPC classification number: B81C1/00246 , B81B2201/0235 , B81C2203/0714 , G01L9/0042 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明是有关于一种用于制造MEMS装置的方法包含提供衬底。随后，在衬底上在第一侧形成结构介电层，其中隔膜嵌入于结构介电层中。从第二侧图案化衬底以在衬底中形成对应于隔膜的腔和多个通风孔。经由通风孔从衬底的第一侧和第二侧执行各向同性蚀刻工艺，以移除结构介电层的介电部分以暴露隔膜的中央部分，同时端部由结构介电层的残余部分固持。本发明的CMOS微机电系统(MEMS)装置的制造方法，可以减少的底切形成通风孔且还减少对隔膜的损坏。
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公开(公告)号：CN100373162C
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN02824702.7
申请日：2002-10-16
Applicant: 基翁尼克公司
Inventor： 斯科特·G·亚当斯 , 斯科特·A·米勒 , 温迪·约·H·约翰逊
IPC: G01P15/125 , G01P15/08 , G01P9/04 , H01L29/00
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , G01P2015/0828
Abstract: 一种加速度传感器，包括蚀刻硅片形成固定部分(400)，活动部分(300)，和两者间弹性联结器(120)，固定和活动部分一般设置在硅片平面内，活动部分块集中在弹性联结器一侧。硅结构固定和活动部分中一个包括第一电极。固定和活动部分中另一部分包括方向平行于加速度轴线的第二电极，作为第三电极电连接的导电层，其与第二电极共平面并机械连接。第二和第三电极与第一电极电容性相对设置，当活动部分沿加速度轴线方向相对于固定部分移动时，第一电极和第三电极之间电容增加，当活动部分沿相反方向移动时，电容减少。弹性联结器保持第一和第三电极跨过电容间隙彼此电容性相对，同时使第一电极相对第二和第三电极运动，响应垂直于硅片平面的沿加速度轴线方向的加速度，并且当该加速度停止时，使第一电极弹性回复到平衡位置。当电极处于平衡位置时，第二电极与所述第一电极的大部分表面区域相对。通过获得沿轴线方向加速度测量值测定第一和第三电极间的电容。
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公开(公告)号：CN1603842A
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN200410083382.5
申请日：2004-10-08
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 野添利幸
IPC: G01P15/125 , G01C21/16
CPC classification number: G01P15/18 , G01C19/5607 , G01C19/5614 , G01P15/125 , G01P21/00 , G01P2015/0828 , G01P2015/084
Abstract: 本发明所提供的惯性传感器，包括有提供诊断信号的自我诊断电路，通过在同步解调器之前施加交流偏压信号电压，检测出检测元件和检测电路的至少其中之一所发生的异常，只要监视是否从惯性传感器的传感器输出端子获得预先指定的DC偏置信号，就可以主动地诊断传感器自身是否有异常。
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公开(公告)号：CN1469100A
公开(公告)日：2004-01-21
申请号：CN03138275.4
申请日：2003-05-30
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01B7/16
CPC classification number: G01P15/123 , B81B3/0021 , B81B3/0086 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , G01L9/0055 , G01P2015/0828 , Y10S977/956
Abstract: 本发明涉及机械形变量检测传感器。传感器构造体1由硅基片构成，通过对里面一侧的一部分进行各向异性刻蚀形成凹部3，备有矩形框状的支持部分1a、和占据支持部分1a的框内的薄的隔片2。玻璃制的台座4，其中设置用于将流体压力导入凹部3的压力导入孔5，与传感器构造体1的里面接合。在传感器构造体1的表面上在与隔片2两侧的周边部分的中央对应的位置上，为了跨在隔片2和支持部分1a的边界上而设置炭毫微管电阻元件61，62。与这些炭毫微管电阻元件61，62一起，将组成用于取出检测信号的电桥电路的用作基准的电阻元件63，64配置固定在支持部分1a的表面上。
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