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公开(公告)号：CN101743607A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200880024514.3
申请日：2008-07-28
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J1/304
CPC classification number: H01J37/065 , H01J37/073 , H01J2237/0492 , H01J2237/06341 , H01J2237/1205 , H01J2237/28 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明涉及一种具有纳米结构针尖的电子发射体，以及使用该电子发射体的电子柱。具体而言，涉及一种电子发射体，其包括可容易地发射出电子的纳米结构针尖，该纳米结构针尖由纳米碳管(CNT)、氧化锌纳米管(ZnO纳米管)、氧化锌纳米棒、氧化锌纳米柱、氧化锌纳米线、氧化锌纳米粒子等等所组成；以及涉及使用该电子发射体的电子柱。
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公开(公告)号：CN1937165A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610139236.9
申请日：2006-09-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/073 , H01J37/28 , H01J2201/30469 , H01J2237/06341 , H01J2237/30 , Y10S977/743 , Y10S977/745
Abstract: 本发明提供一种具有不会破坏纤维状碳物质前端部，可去除其前端部存在的非晶碳的机构的场致发射型电子枪及其运转方法。为解决本发明的课题的机构的场致发射型电子枪，其包括：由单一的纤维状碳物质和支撑其的导电性基体材料构成的场致发射型阴极；使电子场致发射的引出装置；以及使电子加速的加速装置；该场致发射型电子枪具备：加热该场致发射型阴极的机构以及对该场致发射型阴极施加不使电子进行场致发射电的极性的电压的机构。
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公开(公告)号：CN1838362A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200610071790.8
申请日：2006-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 吉田真
CPC classification number: H01J9/025 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H01J2237/06341 , H01J2237/065 , H01J2237/2614
Abstract: 一种电子发射元件的制造方法，具有：将包含形成导电性膜(85)的材料的功能液(80)，由喷出头(15)作为液滴(63)向所述元件电极(81、82)之间喷出的液滴喷出工序；干燥液滴的干燥工序；在一对元件电极(81、82)之间进行通电处理，形成电子发射部(87)的电子发射部形成工序。在液滴喷出工序中，由液滴(63)形成的液膜(83)，在电子发射部形成工序中，利用产生的焦耳热，容易形成电子发射部(87)地形成具有缩颈部84的形状。提供能够使电子发射元件的制造更容易的电子发射元件及电子发射元件的制造方法、显示装置及电子机器。
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公开(公告)号：CN1407602A
公开(公告)日：2003-04-02
申请号：CN02144390.4
申请日：2002-06-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/00 , G03F7/20
CPC classification number: B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/16 , H01J3/022 , H01J2237/06341 , H01J2237/3175 , Y10S977/901
Abstract: 本发明提供了一种使用选择性生长的碳纳米管的电子发射光刻装置以及方法。该电子发射光刻装置将碳纳米管用作电子发射源，其包括：电子发射源，设置在一个腔室内；平台，以预定距离与电子发射源相隔，试样就安装在这个平台上。电子发射源是一个具有电子发射能力的碳纳米管。因此，因为用碳纳米管作为电子发射源，所以可以以精确的临界尺寸进行光刻处理。另外，由于从碳纳米管发出的电子减小了电子束抗蚀剂的与碳纳米管一一相对的部分，所以，可以防止衬底的中心和其边缘之间的偏差。因此，可以提供一种实现高产量的电子发射光刻装置。
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