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公开(公告)号：CN106971931A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201610897868.5
申请日：2016-10-14
Applicant: 汉辰科技股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/3007 , H01J37/1471 , H01J37/3171 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/04924 , H01J37/3002
Abstract: 公开了离子植入系统和工艺。示范性的离子植入系统可以包括离子源、提取操纵器、磁分析仪以及电极组件。提取操纵器可以构造为通过从离子源提取离子而生成离子束。所生成的离子束的截面具有长维度以及与离子束的长维度正交的短维度。磁分析仪可构造为沿着平行于离子束的短维度的x方向聚焦离子束。电极组件可构造为加速或减速离子束。电极组件的一个或多个入口电极可限定第一开口，电极组件可相对于磁分析仪定位而使得随着离子束通过第一开口进入而使得离子束沿x方向收敛。
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公开(公告)号：CN106206229A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610146352.7
申请日：2016-03-15
Applicant: 汉辰科技股份有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/317 , H01J37/244
Abstract: 本发明是有关于离子布植机。所述离子布植机整合了用来夹持工作件的夹盘以及用来监控离子束的监控器。因此，可以在布植模式与监控模式之间来回切换，并且在不同模式间切换所需使用的装置及/或操作可以被简化。详细来说，夹盘与监控装置可以分别放在本体的不同表面，使得通过本体沿着与离子束的路径相交的一轴来旋转，夹盘跟监控器可以分别面向离子束。因此，可以确切地同步地监控在夹盘夹持工作件的位置(也是工作件被离子束布植的同一位置)的离子束的一个或多个特征植。监控器的细节不在此限制，任何可以被配置来测量离子束特征的既有及/或开发中的装置都可用来监控。本发明可改善数据采集的效率、准确度以及可靠度，并且减少颗粒污染的可能来源。
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公开(公告)号：CN105862006A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201510961990.X
申请日：2015-12-21
Applicant: 汉辰科技股份有限公司
IPC: C23C14/48
CPC classification number: C23C14/48
Abstract: 本发明是关于一种具有蒸发器的离子源，离子源可具有蒸发器并使用以下之一或更多方式减少蒸发器内的温差。首先，至少一个热绝缘体设置邻近于部分容器并且远离特别热源，其中蒸发器的容器由该特别热源加热。其次，至少一个热绝缘体设置在加热器周围，其中该容器设置在蒸发器内并由加热器加热。第三，至少一个辐射遮罩设置用于让热能通过外壳与通道元件，其中电弧室藉由通道元件机械连接至外壳。因此热绝缘体可减少热能损失，同时蒸发器内的温差亦减少。此外，具有多个开孔的中空的扩散器用于增加传导性并减少已蒸发材料的凝结。
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公开(公告)号：CN102290341B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201110257238.9
申请日：2007-09-27
Applicant: 汉辰科技股份有限公司
IPC: H01L21/265
Abstract: 一种离子植入方法，用于将离子植入一靶材，此离子植入方法，利用转动靶材并配合一等速率扫描将多个离子植入靶材；或，亦可在不转动靶材的前提下使用变动速率将多个离子植入靶材。不需提供浓度均匀分布的离子束即可制造出特殊剂量分布的离子植入结果，可减少制程时间且提高制程良率。
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公开(公告)号：CN102479655A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201110386245.9
申请日：2011-11-17
Applicant: 汉辰科技股份有限公司
Inventor： 沈政辉
IPC: H01J37/317 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J2237/24405 , H01J2237/2446 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542
Abstract: 本发明提供了一应用离子束截面特征分析仪的一离子注入方法及一离子注入机。该方法包含设定扫描条件、侦测离子束截面特征、依据侦测得到的离子束截面特征计算出离子注入剂分布以及扫描条件、测定位移距离用以进行离子注入，以及将离子簇注入在晶圆表面。该离子注入机运用了离子束截面特征分析仪来侦测离子束截面特征、计算离子注入剂分布以及测定位移距离，以及将位移距离应用在离子注入上使注入达到最佳化，其中该离子束截面特征分析仪包含了具有离子通道的主体，以及侦测单元配置在离子流道后方的侦测单元，用以侦测离子截面特征。该离子束截面特征分析仪可以是一维、二维或者斜角离子束截面特征分析仪。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102324383A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110257313.1
申请日：2007-09-27
Applicant: 汉辰科技股份有限公司
IPC: H01L21/265 , H01J37/317
Abstract: 一种离子植入方法，用于将离子植入一靶材，此离子植入方法，利用转动靶材并配合一等速率扫描将多个离子植入靶材；或，亦可在不转动靶材的前提下使用变动速率将多个离子植入靶材。不需提供浓度均匀分布的离子束即可制造出特殊剂量分布的离子植入结果，可减少制程时间且提高制程良率。
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公开(公告)号：CN101399147B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200710162318.X
申请日：2007-09-27
Applicant: 汉辰科技股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01L21/265
Abstract: 一种离子植入方法，用于将离子植入一靶材，此离子植入方法，利用转动靶材并配合一等速率扫描将多个离子植入靶材；或，亦可在不转动靶材的前提下使用变动速率将多个离子植入靶材。不需提供浓度均匀分布的离子束即可制造出特殊剂量分布的离子植入结果，可减少制程时间且提高制程良率。
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公开(公告)号：CN117073528A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311032686.8
申请日：2018-12-20
Applicant: 汉辰科技股份有限公司
Abstract: 本校正系统与本校正方法使用至少一摄像机，在真空或大气环境中对腔体内或设备中具有一或多特征的目标组件进行位置、角度、形状或距离等特征的辨识及计算，藉以达成校正与精准定位的目的。本发明或是测量目标组件本身的一或多种特征的特征消息及其变化，或是测量目标组件与参考组件间一或多种特征的特征消息及其变化，不论是通过多数张图像的相互比对或是通过一或多张图像与预载标准特征消息的比对，本发明可以判断目标组件的几何状态是否正确，也可以提供目标组件要怎样调整其几何状态的消息。
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公开(公告)号：CN115516601A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202180018921.9
申请日：2021-04-22
Applicant: 汉辰科技股份有限公司
IPC: H01J37/317
Abstract: 本发明提出一种机械手臂及一种离子布植装置，所述机械手臂包含第一臂、第二臂、第三臂、垂直臂及晶圆固持器。所述第一臂、第二臂及第三臂的长轴方向垂直于Z轴方向。所述第二臂的前端枢接于第一臂的后端。所述第三臂的前端枢接于第二臂的后端。所述垂直臂的下端固接于第三臂的后端。所述晶圆固持器沿一枢接方向枢接于垂直臂的上端，所述枢接方向垂直于垂直臂的长轴方向且所述枢接方向不平行于第三臂的长轴方向。
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公开(公告)号：CN113707366A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202010430045.8
申请日：2020-05-20
Applicant: 汉辰科技股份有限公司
IPC: H01B5/00
Abstract: 一种馈通装置，包括具有至少一个导线孔洞的一中介板，在此每一个导线孔洞都可以让至少一导线自中介板的一侧贯穿通过其间而抵达中介板的另一侧，也都可以再有一个由绝缘材料所形成弹性垫子位于其中并且隔离开中介板与通过此导线孔洞的至少一导线，并且每一条导线都包含了用以传递电流的导体线以及围绕包覆导体线的绝缘材料层。在每一个导线孔洞的内部，通过其间的一或多导线的绝缘材料层或者位于其间的弹性垫子，会受到压力而发生形变，进而使得导体线与中介板之间并不存在气体可以通过的空隙。
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