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公开(公告)号：CN110752188A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201910663690.1
申请日：2019-07-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。
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公开(公告)号：CN108376673A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201810093784.5
申请日：2018-01-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C27/046 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03C3/06 , C03C17/10 , C03C17/40 , C03C21/008 , C03C27/00 , C03C27/048 , C03C2217/256 , C03C2217/268 , C03C2217/27 , C03C2217/77 , C04B37/045 , C04B2235/5454 , C04B2237/125 , C04B2237/343 , C04B2237/366 , H01L23/291 , H01L21/56
Abstract: 本发明涉及合成石英玻璃盖前体、合成石英玻璃盖及其制备方法。通过以下方法制备用于光学器件封装的合成石英玻璃盖：配置包括合成石英玻璃基底(1)和金属膜或金属化合物膜(2)的合成石英玻璃盖前体，和在金属膜或金属化合物膜(2)上形成金属系粘结层(3)。该金属膜或金属化合物膜含有Ag、Bi和选自P、Sb、Sn和In中的至少一种元素。
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公开(公告)号：CN106242311A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610402325.1
申请日：2016-06-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03C17/34
Abstract: 本发明涉及合成石英玻璃基板的制备方法。通过提供合成石英玻璃块体、用在双折射测定的波长下具有至少99.0％/mm的透射率的液体涂布该块体的两个相对表面、通过使光进入一涂布表面并且从另一涂布表面离开从而测定该块体上的双折射分布、和基于测定的双折射分布将该块体分类为可接受的组或不可接受的组，从而制备合成石英玻璃基板。
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公开(公告)号：CN102436136B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201110218545.6
申请日：2011-05-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03C19/00 , C03C2201/42 , C03C2204/08 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/0002 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底及其制备方法。该衬底具有包括132mm2中央表面区域的6平方英寸的表面。132mm2的中央表面区域具有最多50nm的平整度。通过从148mm2中央表面区域减去132mm2中央表面区域得到的框架区域具有最多150nm的平整度。
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公开(公告)号：CN105300663A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510320670.6
申请日：2015-06-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 合成石英玻璃衬底，其通过以下制备：提供合成石英玻璃砖；用液体涂覆所述砖的任意表面和相对表面，所述液体在双折射测量的波长下具有至少99.0％/mm的透射率；通过使光进入一个经涂覆的表面并离开另一经涂覆的表面测量所述砖的双折射，和基于所测量的双折射值，将所述砖分类为可接受的组或不可接受的组。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102516872B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201110286406.7
申请日：2011-07-26
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B1/00 , B24B37/044 , C03C19/00 , C09G1/02
Abstract: 一种包括胶原衍生物和胶体溶液的抛光浆料，其有效抛光合成石英玻璃基板。其防止具有可被高灵敏度缺陷探测仪检测到的尺寸的缺陷的形成。
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公开(公告)号：CN101804589B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201010173034.2
申请日：2010-01-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B7/241 , B24B13/0018 , B24B41/053
Abstract: 本发明公开了一种加工半导体用人造石英玻璃基板的方法，其中使小型旋转式加工工具的抛光部件接触人造石英玻璃基板的表面，接触面积为1～500mm2，并且旋转的同时在基板表面上扫描移动，从而抛光基板表面。当利用这种方法制造人造石英玻璃，如IC等制造中重要的光刻用光掩模基板时，可以比较容易和廉价地得到具有极好平整度并且甚至能用于EUV光刻的基板。
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公开(公告)号：CN103809371A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310533747.9
申请日：2013-11-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 矩形基板在其具有拓扑图案后用作模具。该基板具有A侧和B侧的相对表面，该A侧表面具有拓扑图案。该A侧表面包括具有至多350nm的平坦度的1～50毫米×1～50毫米的中心矩形区域。使用该形成模具用基板防止在形成模具用基板上形成团的步骤与转印步骤之间发生图案错排或图案错误。能够转印微小尺寸和复杂的图案。
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公开(公告)号：CN102179731A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010609290.1
申请日：2010-12-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24B1/00 , B24B37/00 , B24B37/04 , C03C15/00 , C03C15/02 , C09G1/02 , G03F1/14 , H01L21/027 , B08B3/08
CPC classification number: C03C15/02 , C03C19/00 , C03C23/0075 , C09G1/02 , C09K3/1463
Abstract: 本发明提供了一种合成石英玻璃衬底的制备方法。本发明还提供了一种合成石英玻璃衬底，其通过如下步骤制备：(1)使用抛光浆料抛光合成石英玻璃衬底，该浆料包含胶体颗粒、带有与胶体颗粒相同类型电荷的离子有机化合物、和水，及(2)将抛光的衬底浸入酸或碱溶液用以将衬底表面刻蚀到0.001-1nm的深度。本方法制备了合成石英玻璃衬底同时抑制了其尺寸通过高敏感度缺陷检测工具可检测的缺陷的形成，且提供了具有令人满意的表面粗糙度的衬底。
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公开(公告)号：CN102096311A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010582088.4
申请日：2010-12-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F1/14 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/60 , G03F1/14 , Y10T428/24488
Abstract: 提供了一种形成光掩模的玻璃基板，其具有方形主表面，其中在该主表面上限定两个条带区域，使得每一区域跨展在侧边内2mm至10mm之间并且不包括从该侧边的相对的端部向内延伸2mm的端部部分，对两个条带区域中的每一个计算最小二乘平面，两个条带区域的最小二乘平面的法线之间包括的角度在10秒内，并且两个条带区域之间高度差为直至0.5μm。
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