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公开(公告)号：CN102589758A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210014848.0
申请日：2012-01-17
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/142 , G01L1/162 , G01P1/023 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明提供一种能够高精度且容易地检测施加于压电片的外力的外力检测装置。在容器(1)内用悬臂支承晶体片(2)。在晶体片(2)的例如中央部，在上表面和下表面分别形成激励电极(31、41)。在晶体片(2)的下表面侧的前端部形成经由引出电极(42)与下表面侧的激励电极(41)连接的可动电极(5)，在容器(1)的底部与该可动电极(5)相对地设置有固定电极(6)。将上表面侧的激励电极(31)和固定电极(6)与振荡电路(14)连接。当对晶体片(2)施加外力而弯曲时，可动电极(5)与固定电极(6)之间的电容发生变化，将该电容变化作为晶体片的振荡频率的变化而掌握。
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公开(公告)号：CN102336391A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110167456.3
申请日：2011-06-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： A.法伊
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明涉及一种用于制造用于惯性传感器的压阻的传感器装置（10）的方法，该传感器装置具有质量元件（12）、基体部件（14）以及连接该质量元件（12）和基体部件（14）的起到压阻作用的臂（16）。此外，本发明涉及一种相应的压阻的传感器装置（10）以及一种相应的惯性传感器。
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公开(公告)号：CN102331514A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110139088.1
申请日：2011-05-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 高木成和
IPC: G01P15/125 , G01C19/56
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B7/02 , B81B2201/025 , B81B2203/0118 , B81C1/00182 , B81C2201/019 , G01C19/5663 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0837 , G01P2015/0877 , G01P2015/088 , H01G5/18 , H01G5/38 , H01L28/60
Abstract: 本发明提供元件结构体、惯性传感器以及电子设备，使得包含电容元件的元件结构体的制造变得容易。元件结构体构成为包含：第1基板(BS1)，其具有第1支撑层(100)和第1可动梁(800a)，该第1可动梁的一个端部被支撑在该第1支撑层的上方，且在另一个端部的周围形成有空隙部；以及第2基板(BS2)，其与所述第1基板相对地配置，并具有第2支撑层(200)和形成于该第2支撑层上的第1固定电极(900a)，在所述第1可动梁(800a)上形成有第1可动电极，所述第1固定电极与所述第1可动电极隔着间隙相对地配置。
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公开(公告)号：CN102190284A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201010261039.0
申请日：2010-08-11
Applicant: 苏州敏芯微电子技术有限公司
CPC classification number: G01L9/0042 , B81B2201/0235 , B81B2201/0264 , B81B2203/0118 , B81B2203/0315 , B81B2203/0376 , B81C1/00182 , B81C2201/0132 , B81C2201/0177 , B81C2203/0118 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明揭示了一种MEMS传感器及其应用于多种MEMS传感器制造的薄膜、质量块与悬臂梁的制造方法，该方法采用硅片正面刻蚀工艺结合淀积、外延工艺、湿法腐蚀、背面刻蚀等工艺形成感压单晶硅薄膜、悬臂梁、质量块、前腔、后腔及深槽通道，能够有效控制单晶硅薄膜的厚度，可取代传统的只从硅片背面腐蚀形成背腔以及单晶硅薄膜的方法。
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公开(公告)号：CN102053168A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010528332.9
申请日：2010-10-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐藤健太
IPC: G01P15/10
CPC classification number: G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 一种加速度传感器，能实现高精度且高灵敏度的加速度测定。具备：由压电振动片(12)构成的感应元件，其具有振动梁(13)及形成于其表面的激励电极；支撑感应元件两端的支撑部(17、18)；位于振动梁的一方的基端部(14)与相邻的支撑部之间且具有薄壁部(19)的连接部(16)；施重部(20)，其配置在感应元件的宽度方向两侧，且从该一方的基端部起沿着感应元件的长度方向延伸到另一方的基端部侧。当在施重部的主面法线方向上作用了加速度时，感应元件的频率随加速度的方向和大小而变化。当追加了由沿着施重部的宽度方向两侧延伸的振动梁构成的第2和第3感应元件(42、43)时，能够进一步测定施重部的面内方向的加速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100416276C
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200410083382.5
申请日：2004-10-08
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 野添利幸
IPC: G01P15/125 , G01C21/16
CPC classification number: G01P15/18 , G01C19/5607 , G01C19/5614 , G01P15/125 , G01P21/00 , G01P2015/0828 , G01P2015/084
Abstract: 本发明所提供的惯性传感器，包括有提供诊断信号的自我诊断电路，通过在同步解调器之前施加交流偏压信号电压，检测出检测元件和检测电路的至少其中之一所发生的异常，只要监视是否从惯性传感器的传感器输出端子获得预先指定的DC偏置信号，就可以主动地诊断传感器自身是否有异常。
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公开(公告)号：CN101133332A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200680006882.6
申请日：2006-11-16
Applicant: 凯奥尼克公司
IPC: G01P15/00
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0828
Abstract: 在本发明的一个实施例中，提供一种微机电(MEMS)加速度计，包括衬底、第一传感器和第二传感器。第一传感器配置成测量沿着平行于衬底平面的第一轴的加速度。第二传感器配置成测量沿着垂直于衬底平面的轴的加速度。第二传感器包括第一横梁、第二横梁和单支撑结构。单支撑结构相对于衬底支撑第一和第二横梁，其中第一和第二横梁围绕第一传感器。
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公开(公告)号：CN1938593A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200580009428.1
申请日：2005-04-28
Applicant: 爱知制钢株式会社
IPC: G01P15/105 , G01P15/18
CPC classification number: G01P1/006 , G01P1/023 , G01P15/105 , G01P15/18 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明所提出的加速度传感器(1)，具有悬臂梁结构，包括了以其固定端(221)为中心作往复弹性变形运动的悬臂(22)和、在悬臂(22)的自由端(222)上设置的磁铁体(21a(b))、以及在悬臂(22)的往复动作领域的外周面上配置了磁性检出头部(23(b))的加速度检测单元(2a(b))。并且，本发明所提出的加速度传感器(1)，为了补正磁性检出头部(23a)、(23b)输出的检出信号，配备了分别检测作用于磁性检出头部(23a)、(23b)和磁铁体(21a)、(21b)的周边外界磁场的周边外界磁场检出部(43a)、(43b)。
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公开(公告)号：CN1268899C
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN00818668.5
申请日：2000-05-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01P15/123 , F02D41/1454 , F02D41/182 , F02D41/187 , F02D2200/0414 , F02D2200/703 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01P2015/0828 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使长时间使用电阻值也不变化而且构造简单的物理量检测装置、其制造方法、及使用物理量检测装置提高可靠性的车辆控制系统。空气流量计(20)具有形成于半导体基板(11)的发热电阻(12H)和测温电阻(12C)。发热电阻(12H)形成于薄壁部(11A)。发热电阻(12H)的两端部分别通过第1引出导体(13H1、13H2)连接到电极(14H1、14H2)。连接于电极(14H1)的第2引出导体(15H1)延伸到空气流量传感器(10)的外周部。连接于电极(14H2)的第2引出导体(15H2、15H3)也延伸到空气流量传感器(10)的外周部，但在途中设置断线部(16)，成为电非导通的状态。
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公开(公告)号：CN1433513A
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN00818668.5
申请日：2000-05-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01P15/123 , F02D41/1454 , F02D41/182 , F02D41/187 , F02D2200/0414 , F02D2200/703 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01P2015/0828 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使长时间使用电阻值也不变化而且构造简单的物理量检测装置、其制造方法、及使用物理量检测装置提高可靠性的车辆控制系统。空气流量计20具有形成于半导体基板11的发热电阻12H和测温电阻12C。发热电阻12H形成于薄壁部11A。发热电阻12H的两端部分别通过第1引出导体13H1、13H2连接到电极14H1、14H2。连接于电极14H1的第2引出导体15H1延伸到空气流量传感器10的外周部。连接于电极14H2的第2引出导体15H2、15H3也延伸到空气流量传感器10的外周部，但在途中设置断线部16，成为电非导通的状态。
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