用于制造碳纳米管的催化剂的制备方法

    公开(公告)号:CN1883807A

    公开(公告)日:2006-12-27

    申请号:CN200510079413.4

    申请日:2005-06-21

    Inventor: 韩仁泽 金夏辰

    CPC classification number: D01F9/12 B82Y30/00

    Abstract: 本发明提供一种以更高的均匀性形成催化剂颗粒的新方法,该催化剂用于生长碳纳米管;以及一种均匀性得到提高的碳纳米管的合成方法。所述形成催化剂颗粒的方法包括:将催化金属前体溶液涂布到基材上;冷冻干燥涂布到基材上的催化金属前体溶液;及还原冷冻干燥的催化金属前体为催化金属。该形成催化剂颗粒的方法,在通过冷冻干燥催化剂金属前体溶液形成催化剂颗粒时,可以使催化剂颗粒的结块和/或重结晶最小化。通过该方法形成的催化剂颗粒,具有非常均匀的颗粒尺寸,并非常均匀地分布在基材上。

    生长碳纳米管的方法及形成半导体器件的导电线的方法

    公开(公告)号:CN1992198A

    公开(公告)日:2007-07-04

    申请号:CN200610153696.7

    申请日:2006-09-14

    Inventor: 韩仁泽 金夏辰

    Abstract: 提供了一种生长碳纳米管的方法和一种使用该碳纳米管形成半导体器件的导电线的方法。形成半导体器件的导电线的方法包括:制备衬底;在所述衬底上形成具有多个突起的电极;在电极上形成催化剂层,其覆盖突起并促进碳纳米管的生长;形成覆盖催化剂层的绝缘层;在绝缘层中形成通孔,其暴露催化剂层的表面的一部分;以及通过在催化剂层的表面上方向通孔内注入含碳气体,在催化剂层的表面上生长碳纳米管,从而形成导电线。该形成导电线的方法可以用于减小半导体器件的电阻并提高半导体器件的电流密度,并实现半导体器件的超高度集成,因为碳纳米管导电线可以应用于微小通孔。

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