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公开(公告)号：CN108321115A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810063388.8
申请日：2018-01-23
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆外延衬底材料生长的托舟结构，包括支撑底座和托舟，所述托舟为具有上表面和下表面的圆环形板，托舟的边缘设有分别与上表面和下表面连接的斜面，托舟设在支撑底座的上表面，上表面、下表面和斜面位于不同的高度上，支撑底座的上表面设有定位凸台，托舟的上表面和下表面分别设有与定位凸台匹配的定位凹槽。本发明双面可用，提高了托舟的有效利用次数，减少清洗次数，提高生长效率。
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公开(公告)号：CN103367209B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201310318526.X
申请日：2013-07-26
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: H01L21/67 , B23K26/122 , B23K26/36
Abstract: 本发明公开了一种液体辅助激光剥离方法，优化激光剥离技术，促使激光剥离技术更广泛的应用。本发明的激光剥离系统产生激光束扫描样品台，样品台内盛有辅助溶液，待剥离样品放置在样品台盛有的辅助溶液内，激光剥离系统使用激光透射到待剥离样品的蓝宝石到达蓝宝石与GaN的界面，促使界面GaN材料分解为Ga金属与氮气，从而使蓝宝石与GaN分离。本发明将待剥离的蓝宝石衬底GaN材料样品置于液体中进行激光剥离，使激光剥离副产物与空气阻隔而不被氧化，还使该副产物被融解，从而实现蓝宝石衬底与氮化镓材料的完整分离。
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公开(公告)号：CN103367209A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310318526.X
申请日：2013-07-26
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种液体辅助激光剥离方法，优化激光剥离技术，促使激光剥离技术更广泛的应用。本发明的激光剥离系统产生激光束扫描样品台，样品台内盛有辅助溶液，待剥离样品放置在样品台盛有的辅助溶液内，激光剥离系统使用激光透射到待剥离样品的蓝宝石到达蓝宝石与GaN的界面，促使界面GaN材料分解为Ga金属与氮气，从而使蓝宝石与GaN分离。本发明将待剥离的蓝宝石衬底GaN材料样品置于液体中进行激光剥离，使激光剥离副产物与空气阻隔而不被氧化，还使该副产物被融解，从而实现蓝宝石衬底与氮化镓材料的完整分离。
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公开(公告)号：CN108321115B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201810063388.8
申请日：2018-01-23
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆外延衬底材料生长的托舟结构，包括支撑底座和托舟，所述托舟为具有上表面和下表面的圆环形板，托舟的边缘设有分别与上表面和下表面连接的斜面，托舟设在支撑底座的上表面，上表面、下表面和斜面位于不同的高度上，支撑底座的上表面设有定位凸台，托舟的上表面和下表面分别设有与定位凸台匹配的定位凹槽。本发明双面可用，提高了托舟的有效利用次数，减少清洗次数，提高生长效率。
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公开(公告)号：CN202479706U
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201220004381.7
申请日：2012-01-06
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: B23K26/42
Abstract: 本实用新型提供一种设计合理的自动送料装置，其高可靠性、低成本，能有效提高生产效率和品质的机械手。本实用新型包含工作台，工作台上端设有顶板，顶板上设有取料盒、卸料盒和载物平台，工作台内设有传输机构，传输机构包括水平直线移动机构与垂直直线移动机构，该水平直线移动机构上设有垂直直线移动机构，垂直直线移动机构上设有一个取料臂，取料臂上部设有一个取料头。本实用新型采用传输机构使得取料和卸料一套机构完成，减少了运动机构，降低了成本，提高了机构可靠性，同时减少了可能因人工装片造成的产品污染，提高了产品质量。
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