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公开(公告)号：CN108302113A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201810085757.3
申请日：2018-01-29
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种带冷却功能的空心轴装置，包括空心轴，所述空心轴的外壁套装的密封套，密封套上装接有进水快速接头和出水快速接头，空心轴内设有进水槽、回水槽、上水通道和下水通道，上水通道与进水槽连通，下水通道与回水槽连通，空心轴上部设有与上水通道和下水通道连通的冷却水槽，进水槽和进水快速接头连通，回水槽和出水快速接头连通，进水快速接头和出水快速接头均与冷却介质连通。本发明对轴进行有效的冷却，延长使用寿命，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN101879657A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200910136457.4
申请日：2009-05-08
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/0648 , B23K26/082 , B23K26/40 , B23K2101/40 , B23K2103/172 , B23K2103/50 , H01L33/0079 , Y10T156/1917
Abstract: 本发明提供了一种固体激光剥离设备，其中包括固体激光器，光束整形镜，振镜电机，振镜镜片和场镜，还包括移动平台和工控电脑及控制软件。本发明以固体激光器为激光光源，激光器下方是光束整形镜，振镜镜片，振镜电机和场镜，光束整形镜位于激光器之后，将激光器发出的激光束整形为本发明所需的光束形状。振镜电机位于场镜之前，依控制软件发出的指令控制振镜镜片的动作，从而实现多种不同的光束扫描路径。本发明还提供了一种采用上述固体激光剥离设备的剥离方法。本发明实现了GaN和蓝宝石衬底的无损剥离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101879657B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN200910136457.4
申请日：2009-05-08
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/0648 , B23K26/082 , B23K26/40 , B23K2101/40 , B23K2103/172 , B23K2103/50 , H01L33/0079 , Y10T156/1917
Abstract: 本发明提供了一种固体激光剥离设备，其中包括固体激光器，光束整形镜，振镜电机，振镜镜片和场镜，还包括移动平台和工控电脑及控制软件。本发明以固体激光器为激光光源，激光器下方是光束整形镜，振镜镜片，振镜电机和场镜，光束整形镜位于激光器之后，将激光器发出的激光束整形为本发明所需的光束形状。振镜电机位于场镜之前，依控制软件发出的指令控制振镜镜片的动作，从而实现多种不同的光束扫描路径。本发明还提供了一种采用上述固体激光剥离设备的剥离方法。本发明实现了GaN和蓝宝石衬底的无损剥离。
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公开(公告)号：CN101882578B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN200910136458.9
申请日：2009-05-08
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: H01L21/304 , H01L21/78 , B28D5/04 , B23K26/00
Abstract: 本发明提供了一种兼具固体激光剥离功能和激光切割功能的一体化新型设备，其中包括固体激光器，光束整形镜，扩束镜，振镜电机，振镜镜片、场镜和机器视觉系统，还包括移动平台和工控电脑及控制软件。本发明以固体激光器为激光光源，激光器下方是光束整形镜，扩束镜，振镜镜片，振镜电机和场镜，光束整形镜位于激光器之后，将激光器发出的激光束整形为本发明所需的光束形状。振镜电机位于场镜之前，依控制软件发出的指令控制振镜镜片的动作，从而实现光束的运动控制，完成多种不同的扫描路径。本发明具有GaN和蓝宝石衬底的无损剥离和对剥离后的芯片的切割双重功能。
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公开(公告)号：CN101882578A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200910136458.9
申请日：2009-05-08
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: H01L21/304 , H01L21/78 , B28D5/04 , B23K26/00
Abstract: 本发明提供了一种兼具固体激光剥离功能和激光切割功能的一体化新型设备，其中包括固体激光器，光束整形镜，扩束镜，振镜电机，振镜镜片、场镜和机器视觉系统，还包括移动平台和工控电脑及控制软件。本发明以固体激光器为激光光源，激光器下方是光束整形镜，扩束镜，振镜镜片，振镜电机和场镜，光束整形镜位于激光器之后，将激光器发出的激光束整形为本发明所需的光束形状。振镜电机位于场镜之前，依控制软件发出的指令控制振镜镜片的动作，从而实现光束的运动控制，完成多种不同的扫描路径。本发明具有GaN和蓝宝石衬底的无损剥离和对剥离后的芯片的切割双重功能。
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公开(公告)号：CN202479706U
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201220004381.7
申请日：2012-01-06
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: B23K26/42
Abstract: 本实用新型提供一种设计合理的自动送料装置，其高可靠性、低成本，能有效提高生产效率和品质的机械手。本实用新型包含工作台，工作台上端设有顶板，顶板上设有取料盒、卸料盒和载物平台，工作台内设有传输机构，传输机构包括水平直线移动机构与垂直直线移动机构，该水平直线移动机构上设有垂直直线移动机构，垂直直线移动机构上设有一个取料臂，取料臂上部设有一个取料头。本实用新型采用传输机构使得取料和卸料一套机构完成，减少了运动机构，降低了成本，提高了机构可靠性，同时减少了可能因人工装片造成的产品污染，提高了产品质量。
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公开(公告)号：CN302844034S
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201330477184.7
申请日：2013-10-10
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Designer： 何明坤
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：雾灯。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于汽车雾灯。3．本外观设计产品的设计要点：雾灯的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
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