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公开(公告)号：CN108321115A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810063388.8
申请日：2018-01-23
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆外延衬底材料生长的托舟结构，包括支撑底座和托舟，所述托舟为具有上表面和下表面的圆环形板，托舟的边缘设有分别与上表面和下表面连接的斜面，托舟设在支撑底座的上表面，上表面、下表面和斜面位于不同的高度上，支撑底座的上表面设有定位凸台，托舟的上表面和下表面分别设有与定位凸台匹配的定位凹槽。本发明双面可用，提高了托舟的有效利用次数，减少清洗次数，提高生长效率。
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公开(公告)号：CN106435524A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610598446.8
申请日：2016-07-27
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: C23C16/448 , H01L21/67
CPC classification number: C23C16/448 , H01L21/67011
Abstract: 一种垂直式HVPE生长设备用温场装置，包括反应器和加热器，该反应器下部套装在加热器内，加热器内设置有升降杆，该升降杆顶端安装有衬底支撑盘，升降杆上活动套装有隔热层，隔热层与衬底支撑盘之间设置有伸缩式连接器，该伸缩式连接器上端与升降杆上部连接，下端与隔热层连接，该隔热层由至少两层隔热层间隔设置构成，该升降杆升降运动的同时还能转动。本发明中，利用升降杆和伸缩式连接器，实现伸缩连接器与升降杆在加热器内所占的高度空间最小，减低设备制造高度，节约了成本，利用隔热层具有的多层隔热层结构，将隔热层区域的温场分为多个温度梯度带，增大恒温区范围，减少温区内部热量的散失，恒温区温场更加稳定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108302113A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201810085757.3
申请日：2018-01-29
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种带冷却功能的空心轴装置，包括空心轴，所述空心轴的外壁套装的密封套，密封套上装接有进水快速接头和出水快速接头，空心轴内设有进水槽、回水槽、上水通道和下水通道，上水通道与进水槽连通，下水通道与回水槽连通，空心轴上部设有与上水通道和下水通道连通的冷却水槽，进水槽和进水快速接头连通，回水槽和出水快速接头连通，进水快速接头和出水快速接头均与冷却介质连通。本发明对轴进行有效的冷却，延长使用寿命，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN106499904A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611206352.8
申请日：2016-12-23
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 一种耐高温的密封结构，包括流量管和支架座，所述支架座上设有通孔和密封腔，该密封腔具有窄口端和广口端，广口端的端口面积大于窄口端的端口面积，该密封腔的窄口端沿着通孔的端口边缘固定连接，流量管具有竖直段和密封部，该密封部的外侧表面的形状与密封腔的内侧表面的形状一致，流量管的竖直段从支架座的通孔中穿过，该流量管的密封部卡装在支架座的密封腔内且密封部的外侧表面与密封腔的内侧表面形成贴合密封，流量管的竖直段的外壁与支架座的通孔的内壁之间具有间隙。本发明为分离式安装，可单独更换部件，便于运输，不易破损，降低安装难度。
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公开(公告)号：CN108321115B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201810063388.8
申请日：2018-01-23
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆外延衬底材料生长的托舟结构，包括支撑底座和托舟，所述托舟为具有上表面和下表面的圆环形板，托舟的边缘设有分别与上表面和下表面连接的斜面，托舟设在支撑底座的上表面，上表面、下表面和斜面位于不同的高度上，支撑底座的上表面设有定位凸台，托舟的上表面和下表面分别设有与定位凸台匹配的定位凹槽。本发明双面可用，提高了托舟的有效利用次数，减少清洗次数，提高生长效率。
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公开(公告)号：CN106435524B
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201610598446.8
申请日：2016-07-27
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: C23C16/448 , H01L21/67
Abstract: 一种垂直式HVPE生长设备用温场装置，包括反应器和加热器，该反应器下部套装在加热器内，加热器内设置有升降杆，该升降杆顶端安装有衬底支撑盘，升降杆上活动套装有隔热层，隔热层与衬底支撑盘之间设置有伸缩式连接器，该伸缩式连接器上端与升降杆上部连接，下端与隔热层连接，该隔热层由至少两层隔热层间隔设置构成，该升降杆升降运动的同时还能转动。本发明中，利用升降杆和伸缩式连接器，实现伸缩连接器与升降杆在加热器内所占的高度空间最小，减低设备制造高度，节约了成本，利用隔热层具有的多层隔热层结构，将隔热层区域的温场分为多个温度梯度带，增大恒温区范围，减少温区内部热量的散失，恒温区温场更加稳定。
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公开(公告)号：CN205893458U
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201620797442.8
申请日：2016-07-27
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 一种提高氯化氢转化为氯化镓效率的装置，用于氢化物气相外延生长材料，包括反应器、风车以及盛装容器，反应器内设置有容纳液体镓源的反应室，进气孔以及出气孔，风车安装在反应器内，盛液容器安装在风车上。本实用新型中，利用空气动力学原理，从进气孔进入的含有氯化氢的混合气体，通过液体镓源上方时带动风车及盛装容器做圆周运动，盛装容器运动时将液体镓源舀起，然后液体镓源通过盛装容器撒漏或者渗漏出来，撒漏或者渗漏出来的液体镓源将与混合气体中氯化氢发生反应，加大了氯化氢与镓源的接触面积，提高氯化氢生成氯化镓的转化率，提高了氮化镓单晶生长过程中氯化氢气体利用率。
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